CN208171209U - 一种点激光平面度检测装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及一种点激光平面度检测装置,其用于检测样品的平面度,包括冶具、三维调整装置和检测装置,冶具包括检测平台,三维调整装置包括X轴位移调整机构、Y轴位移调整机构和Z轴定位调整机构,Z轴定位检测机构包括定位装置,通过X轴位移调整机构和Y轴位移调整机构调整所述检测平台的位置,Z轴定位调整机构上的定位装置定位到待检测样品位置后所述检测装置位移到待检测样品位置开始进行检测。通过X轴位移调整机构和Y轴位移调整机构调整待检测样品的位置,定位装置开获取到定位位置,检测装置运动到定位位置点激光进行检测,实现检测的自动化和高效性,通过点激光检测样品的平面度进一步保证了检测结果的准确率和精准度。

Description

一种点激光平面度检测装置
技术领域
[0001] 本实用新型涉及一种平面度检测装置,尤其涉及一种点激光平面度检测装置。
背景技术
[0002]平面度检测装置是一款根据光学自准直原理设计的仪器,它可以精确地测量机床 或仪器导轨的直线度误差,也可以测量平板等的平面度误差,还可以测量垂直导轨的直线 度误差,以及垂直导轨和水平导轨之间的垂直度误差,与多面体联用可以测量圆分度误差, 可以测量导轨直线度和平面度和工作状态导轨直线度。
[0003]而现有的平面度检测装置大多数利用光学棱镜作为检测装置,其占用位置大,并 且检测时需要利用外界光束进行测量,检测环境要求高,而且检测时要进行相应防护措施, 非常不利于检测,因此有必要提供一种能够进行自动调整检测位置并且利用点激光进行检 测的平度度检测装置。 实用新型内容
[0004] 有鉴于此,有必要提供能够自动调整位置并且利用点激光进行检测的平面度检测 装置。
[0005] 一种点激光平面度检测装置,用于检测样品的平面度,其包括冶具、三维调整装置 和检测装置,所述冶具包括检测平台,所述三维调整装置包括X轴位移调整机构、Y轴位移调 整机构和Z轴定位调整机构,所述检测装置包括点激光,所述Z轴定位检测机构包括定位装 置,通过所述X轴位移调整机构和Y轴位移调整机构调整所述检测平台的位置,所述Z轴定位 调整机构上的定位装置定位到待检测样品位置后,所述检测装置位移到待检测样品位置利 用所述点激光开始进行检测。
[0006] 进一步地,所述检测平台包括真空吸装置,通过所述真空吸装置吸住待检测样品, 所述检测平台用于放置待检测样品。
[0007] 进一步地,所述冶具还包括X轴安装槽和Y轴安装平台,所述Y轴安装平台安装在X 轴安装槽上,所述X轴位移调整机构安装在x轴安装槽内,所述Y轴位移调整机构安装在Y轴 安装平台上。
[0008] 进一步地,所述X轴位移调整机构包括X轴滑块和X轴位移装置,所述X轴位移装置 包括X轴滚珠丝杆。
[0009] 进一步地,所述X轴滑块安装在X轴位移装置上,所述X轴位移装置贯穿X轴滑块并 安装在X轴安装槽内壁上,所述检测平台可移动地安装在X轴滑块上,当所述X轴滑块在X轴 位移装置的作用下运动并调整所述检测平台在x轴向上的位置时,所述Y轴位移调整机构保 持不动。
[0010] 进一步地,所述Y轴位移调整机构包括Y轴滑块和Y轴位移装置,所述Y轴位移装置 包括Y轴滚珠丝杆,所述检测平台安装在Y轴滑块上。
[0011] 进一步地,所述Y轴滑块安装在Y轴位移装置上,所述Y轴位移装置贯穿Y轴滑块并 固定在安装平台上,所述Y轴滑块安装在检测平台上,当所述Y轴滑块在Y轴位移装置的作用 下运动并调整所述检测平台在Y轴向上的位置时,所述X轴位移调整机构保持不动。
[0012]进一步地,所述定位装置包括安装板和拍摄装置,所述拍摄装置可拆卸地安装在 安装板上。
[0013] 进一步地,包括连接板,所述拍摄装置包括CCD拍摄装置,所述拍摄装置通过连接 板平行安装在Z轴平台上,所述检测装置可上下平行移动安装在Z轴平台上。
[0014] 进一步地,所述检测装置可拆卸地地安装在安装板上,所述检测装置通过定位装 置定位后运动到待检测样品位置通过点激光对待检测样品进行平面度检测。
[0015] 本实用新型通过将所述待检测物品放置到检测平台上,所述真空吸装置吸住待检 测样品并充当夹具夹住待检测样品并保持所述待检测样品的稳定,此时所述X轴调整机构 上的X轴步进电机开始工作,通过所述X轴丝杠滚珠调整待检测样品在X轴上的位置后,所述 Y轴调整机构上的Y轴步进电机开始工作,通过所述Y轴丝杠滚珠调整待检测样品在Y轴上的 位置,所述X轴调整机构和Y轴调整机构调整顺序可随意变化,所述待检测物品在X轴调整机 构和Y轴调整机构共同调整过后,所述定位装置开始进行定位并获取定位位置,所述检测装 置开始运动定位位置后通过点激光进行检测。通过所述真空吸装置保持待检测样品的稳 定,保证了检测的准确率和精准度,整个样品的检测过程有序且快速,实现检测的自动化和 高效性,而且通过点激光检测样品的平面度进一步保证了检测结果的准确率和精准度。
附图说明
[0016] 图1是本实用新型实施例旋转一种点激光平面度检测装置的立体结构示意图。
[0017] 图2是本实用新型实施例一种点激光平面度检测装置的正视图。
[0018] 图3是本实用新型实施例一种点激光平面度检测装置的侧视图。
具体实施方式
[0019] 以下将结合具体实施例和附图对本实用新型进行详细说明。
[0020] 请参阅图1、2和3,显示本实用新型实施例提供的一种点激光平面度检测装置100, 用于检测样品的平面度,包括底座1〇、冶具20、三维调整装置30和检测装置40,所述冶具20、 三维调整装置30和检测装置40安装在底座10上,所述冶具20包括检测平台21,所述三维调 整装置30包括X轴位移调整机构31、Y轴位移调整机构32和Z轴定位调整机构33,所述检测装 置40包括点激光41,所述Z轴定位调整机构33包括定位装置331,通过所述X轴位移调整机构 31和Y轴位移调整机构32调整所述检测平台21的位置,所述Z轴定位调整机构33上的定位装 置331定位到待检测样品位置后,所述检测装置40位移到待检测样品位置,通过点激光41进 行检测。
[0021] 所述检测平台21包括真空吸装置,所述真空吸装置安装在检测平台21上并充当夹 具,当要检测待检测样品时,将所述待检测样品移动并放置到检测平台21并通过真空吸装 置吸住待检测样品,所述真空吸装置在待检测样品被检测时持续吸住待检测样品从而保证 检测时的精准度和准确率。
[0022] 所述冶具20还包括X轴安装槽22和Y轴安装平台23,所述X轴安装槽22设有X轴步进 电机221,所述X轴步进电机221安装在X轴安装槽22外表面,所述X轴安装槽22和X轴步进电 机221固定安装在冶具20上,所述Y轴安装平台23安装在X轴安装槽22上,所述Y轴安装平台 包括23包括Y轴步进电机231,所述Y轴步进电机231安装在X轴安装槽22上,所述X轴位移调 整机构31安装在X轴安装槽22内,所述Y轴位移调整机构32安装在Y轴安装平台23上。
[0023] 所述X轴位移调整机构31包括X轴滑块311和X轴位移装置312,所述X轴位移装置 312包括X轴滚珠丝杆312。所述X轴滑块311套于X轴滚珠丝杆312上,所述X轴滚珠丝杆312与 X轴步进电机221连接,在所述X轴步进电机221驱动下旋转而带动X轴滑块311移动。
[0024] 具体地,所述X轴安装槽22设置有X轴安装孔222,所述X轴滑块311安装在X轴位移 装置312上,所述X轴滚珠丝杆312—端安装在X轴步进电机221上,另一端安装在所述X轴安 装槽22的X轴安装孔222上,通过所述X轴步进电机221带动所述X轴滚珠丝杆312转动,从而 移动所述X轴滑块311,当所述X轴滑块311在X轴滚珠丝杆312的作用下运动并调整所述检测 平台21在X轴方向上的位置时,所述Y轴位移调整机构32保持不动。
[0025] 所述Y轴位移调整机构32包括Y轴滑块321和Y轴位移装置322,所述Y轴位移装置 322包括Y轴滚珠丝杆322。所述检测平台21装在Y轴滑块321上。所述Y轴位移装置322装在X 轴滑块311上。当所述X轴滑块311移动时,带动所述Y轴位移装置322及其上的检测平台21 — 并沿着X轴方向移动。
[0026] 所述Y轴安装平台23包括Y轴安装板232,所述Y轴安装板232包括Y轴安装孔233,所 述Y轴滚珠丝杆322贯穿Y轴滑块,并且所述Y轴滚珠丝杆322—端安装在Y轴步进电机231上, 另一端安装在所述Y轴安装孔233上,所述Y轴滑块321安装在Y轴位移装置322上,所述检测 平台21包括安装槽212,所述Y轴滑块321通过安装槽212安装在检测平台21上,当所述Y轴滑 块321在Y轴位移装置322的作用下运动并调整所述检测平台21在Y轴向上的位置时,所述X 轴位移调整机构31保持不动。
[0027] 所述定位装置331包括安装板3311和拍摄装置3312,所述拍摄装置3312可拆卸地 安装在安装板3311上。
[0028] 所述定位装置331包括连接板3313,所述拍摄装置3312包括CCD拍摄装置,所述拍 摄装置3312通过连接板3313安装在Z轴平台上,所述检测装置40可上下平行移动安装在Z轴 平台上。
[0029] 所述检测装置40可移动地安装在底座10上,所述检测装置40通过定位装置331定 位后运动到待检测样品位置通过点激光41对待检测样品进行平面度检测。
[0030] 上述点激光平面度检测装置100用于对待检测物品的平面度检测,检测时将所述 待检测物品放置到检测平台21上,所述真空吸装置211吸住待检测样品并充当夹具夹住待 检测样品并保持所述待检测样品的稳定,此时所述X轴调整机构31上的X轴步进电机221开 始工作,通过所述X轴丝杠滚珠313调整待检测样品在X轴上的位置后,所述Y轴调整机构32 上的Y轴步进电机231开始工作,通过所述Y轴丝杠滚珠323调整待检测样品在Y轴上的位置, 所述X轴调整机构31和Y轴调整机构32调整顺序可随意变化,所述待检测物品在X轴调整机 构31和Y轴调整机构32共同调整过后,所述定位装置331开始进行定位并获取定位位置,所 述检测装置40开始运动定位位置后通过点激光41进行检测。通过所述真空吸装置211保持 待检测样品的稳定,保证了检测的准确率和精准度,整个样品的检测过程有序且快速,实现 检测的自动化和高效性,而且通过点激光41检测样品的平面度进一步保证了检测结果的准 确率和精准度。
[0031]需要说明的是,本实用新型并不局限于上述实施方式,根据本实用新型的创造精 神,本领域技术人员还可以做出其他变化,这些依据本实用新型的创造精神所做的变化,都 应包含在本实用新型所要求保护的范围之内。

Claims (10)

1. 一种点激光平面度检测装置,用于检测样品的平面度,其特征在于,包括冶具、三维 调整装置和检测装置,所述冶具包括检测平台,所述三维调整装置包括X轴位移调整机构、Y 轴位移调整机构和Z轴定位调整机构,所述Z轴定位检测机构包括定位装置,所述检测装置 包括点激光,通过所述X轴位移调整机构和Y轴位移调整机构调整所述检测平台的位置,所 述Z轴定位调整机构上的定位装置定位到待检测样品位置后,所述检测装置位移到待检测 样品位置利用所述点激光进行检测。
2. 如权利要求1所述的点激光平面度检测装置,其特征在于,所述检测平台包括真空吸 装置,通过所述真空吸装置吸住待检测样品,所述检测平台用于放置待检测样品。
3. 如权利要求1所述的点激光平面度检测装置,其特征在于,所述冶具还包括X轴安装 槽和Y轴安装平台,所述Y轴安装平台安装在X轴安装槽上,所述X轴位移调整机构安装在X轴 安装槽内,所述Y轴位移调整机构安装在Y轴安装平台上。
4. 如权利要求1所述的点激光平面度检测装置,其特征在于,所述X轴位移调整机构包 括X轴滑块和X轴位移装置,所述X轴位移装置包括X轴滚珠丝杆。
5. 如权利要求4所述的点激光平面度检测装置,其特征在于,所述X轴滑块安装在X轴位 移装置上,所述X轴位移装置贯穿X轴滑块并安装在X轴安装槽内壁上,所述检测平台可移动 地安装在X轴滑块上,当所述X轴滑块在X轴位移装置的作用下运动并调整所述检测平台在X 轴向上的位置时,所述Y轴位移调整机构保持不动。
6. 如权利要求1所述的点激光平面度检测装置,其特征在于,所述Y轴位移调整机构包 括Y轴滑块和Y轴位移装置,所述Y轴位移装置包括Y轴滚珠丝杆,所述检测平台安装在Y轴滑 块上。
7. 如权利要求6所述的点激光平面度检测装置,其特征在于,所述Y轴滑块安装在Y轴位 移装置上,所述Y轴位移装置贯穿Y轴滑块并固定在安装平台上,所述Y轴滑块安装在检测平 台上,当所述Y轴滑块在Y轴位移装置的作用下运动并调整所述检测平台在Y轴向上的位置 时,所述X轴位移调整机构保持不动。
8. 如权利要求1所述的点激光平面度检测装置,其特征在于,所述定位装置包括安装板 和拍摄装置,所述拍摄装置可拆卸地安装在安装板上。
9. 如权利要求8所述的点激光平面度检测装置,其特征在于,包括连接板,所述拍摄装 置包括CCD拍摄装置,所述拍摄装置通过连接板平行安装在Z轴平台上,所述拍摄装置可上 下平行移动安装在Z轴平台上。
10. 如权利要求1所述的点激光平面度检测装置,其特征在于,所述检测装置可移动地 安装在安装板上,所述检测装置通过定位装置定位后运动到待检测样品位置通过检测装置 对待检测样品进行平面度检测。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN110220483A (zh) * 2019-06-28 2019-09-10 江苏省百斯特检测技术有限公司 一种三轴平面度检测系统及其检测方法

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