CN208109154U - 一种流量均匀分配装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种流量均匀分配装置。该流量均匀分配装置包括具有进气腔的进气部分和具有回收腔的回收部分,所述进气腔上设有进气口和至少两个出气口,各个出气口的口径相同,所述回收腔上设有排放口和与进气腔上的出气口数量相等的回收口,各个回收口的口径相同。流量均匀分配装置包括进气腔和回收腔,进气腔的出气口的口径相同,回收腔的回收口的口径相同,从而使进入各个出气口及进入各个回收口的气体的流量与压力相同,使得进入各个传感器的气体流量一致,保证了对传感器的功能测试,避免了人工调节各个流量计的过程,操作简单,同时可以将进入传感器的气体回收至回收腔,方便使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种流量均匀分配装置。
背景技术
传感器在制作的过程中,需要将传感器接通气源以对传感器的功能进行测试,在对同一批次的传感器进行功能测试时,需要接通相同压力以及流量的气源,才能保证同一批次传感器测试结果的一致性。
传统的对传感器的测试方法是将每台传感器连接一条测试管路,且在每条测试管路上均设置相同规格的流量计,操作人员手动调节流量计来控制通过该测试管路的气体流量。在人工调节各个测试管路的气体流量的过程中,无法避免各流量计之间产生误差,且流量计不易一次调整到位,在不断调节的过程中浪费了较多的气体,导致传感器的制造成本增加;同时部分测试气体为有害气体无法直接排放,或者部分气体可以回收再利用,此时需要设置回收管路分别对各个测试管路内的气体进行回收,设置管路较多,使用不便。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种流量均匀分配装置,以解决现有技术中操作人员通过人工调节流量计控制测试管路的气体流量,各个流量计之间存在调节误差且无法一次调节到位而导致气体浪费的问题。
为了解决上述技术问题,本实用新型的流量均匀分配装置的技术方案为:
一种流量均匀分配装置,包括具有进气腔的进气部分和具有回收腔的回收部分,所述进气腔上设有进气口和至少两个出气口,各个出气口的口径相同,所述回收腔上设有排放口和与进气腔上的出气口数量相等的回收口,各个回收口的口径相同。
该技术方案的有益效果在于:流量均匀分配装置包括进气腔和回收腔,进气腔的出气口的口径相同,回收腔的回收口的口径相同,从而使进入各个出气口及进入各个回收口的气体的流量与压力相同,使得进入各个传感器的气体流量一致,保证了对传感器的功能测试,避免了人工调节各个流量计的过程,操作简单,同时可以将进入传感器的气体回收至回收腔,方便使用。
各个出气口上分别连接有出气管路,各个出气管路的长度及管径分别相同。出气管路的长度及管径分别相同,可以保证出气管路的流体阻力相同,便于保证气体的压力与流量相同。
各个回收口上分别连接有回收管路,各个回收管路的长度及管径分别相同。回收管路的长度及管径分别相同,可以保证回收管路的流体阻力相同,便于保证气体的压力与流量相同。
所述出气口绕进气口的中心线均匀分布。可以保证进气口至各个出气口的距离相同,保证气体进入出气口时的阻力相同。
所述回收口绕排放口的中心线均匀分布。可以保证各个回收口至排放口的距离相同,保证气体进入排放口时的阻力相同。
所述流量均匀分配装置包括柱型的主体,所述主体内设有沿其轴向相互隔离的两个腔室,所述腔室分别形成所述进气腔与回收腔。进气腔与回收腔分别设置在主体内,简化了流量均匀分配装置的结构。
所述主体的横截面为正多边形结构,所述出气口及回收口分别设置在正多边形的主体的各个侧面上。正多边形的侧面便于连接管路。
所述进气口与排放口分别设置在柱型的主体的中心线上。便于保证进气口与各个出气口之间的阻力、各个回收口与排放口之间的阻力分别相同。
所述进气口上连接有进气接头,所述排放口上连接有排放接头。
所述流量均匀分配装置还包括支撑座,所述主体设置在所述支撑座上,所述支撑座具有用于安装排放接头的安装空间。
附图说明
图1为本实用新型的流量均匀分配装置的实施例1的结构示意图;
图2为本实用新型的流量均匀分配装置的实施例1的俯视图;
图3为本实用新型的流量均匀分配装置的实施例1的工作示意图。
图中各标记:1.主体;2.支撑板;3.进气接头;4.出气管路;5.回收管路;6.直通管接头;7.排放接头;8.螺钉;9.传感器。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的实施方式作进一步说明。
本实用新型的流量均匀分配装置的实施例1,如图1至图3所示,包括柱型的主体1,主体1为正六棱柱,主体1内设有轴向相互隔离的两个腔室,两个腔室分别形成用于进气的进气腔和用于回收气体的回收腔,进气腔上设有进气口和至少两个出气口,回收腔上设有排放口和与出气口数量相等的回收口,主体1设有进气腔的部分形成流量均匀分配装置的进气部分,主体1设有回收腔的部分形成流量均匀分配装置的回收部分;进气部分与回收部分一体设置在主体1上,可以简化流量均匀分配装置的结构。流量均匀分配装置还包括支撑主体的支撑座,支撑座由支撑板2形成,支撑板2为中部向上弯折的折弯板,弯折形成的空间为排放接头7提供安装空间,主体1通过螺钉8固定连接在支撑板2上。
主体1的轴向两端的端面上分别设有进气接头3与排放接头7,进气接头3与进气腔的进气口连通,排放接头7与回收腔的排放口连通,进气接头3与排放接头7分别设置在主体1的中心线上,便于气体流速均匀。进气腔于主体1的各个侧面上各设一个出气口,各个出气口的口径相同;回收腔于主体1的各个侧面上各设一个回收口,各个回收口的口径相同;各个出气口及各个回收口上分别连接有直通管接头6。与进气腔的出气口连接的直通管接头6上连接有出气管路4,每个出气管路4的管径、长度以及弯折角度均相同,以保证出气管路4的流体阻力相同。与回收腔的回收口连通的直通管接头6上连接有回收管路5,每个回收管路5的管径、长度以及弯折角度均相同,以保证回收管路5的流体阻力相同。出气管路4与回收管路5均为PU管,成本低,使用方便。
上述的流量均匀分配装置在使用时,将进气接头3与气源连接,排放接头7与存储设备连接,将出气管路4与回收管路5分别与传感器9的进气端与出气端连通,向主体1内注入检测气体,由于各个出气管路4的管径、长度以及弯折角度都完全相同,各个出气管路4的流体阻力相同,同时各个回收管路5的管径、长度以及弯折角度都完全相同,各个回收管路5的流体阻力相同,因此进气腔与回收腔之间的各个支路的流体阻力相同,检测气体均匀的进入各个气体支路,保证经过各个传感器9的气体流量相同,从而保证对传感器的功能测试结果的一致性。
本实用新型的流量均匀分配装置的实施例2,与实施例1的区别在于:实施例1中出气口上连接有出气管路,回收口上连接有回收管路,在本实施例中,在气体无毒或无需回收时,也可以省略回收管路;也可以省略出气管路,将传感器与直通管接头直接连接。
本实用新型的流量均匀分配装置的实施例3,与实施例1的区别在于:实施例1中,回收口绕排放口的中心线均匀分布,出气口绕进气口的中心线均匀分布,在本实施例中,也可以使回收口也可以与进气口的方向平行,回收口与排放口的方向平行。
本实用新型的流量均匀分配装置的实施例4,与实施例1的区别在于:实施例1中,流量均匀分配装置包括主体,主体上设有相互隔离的腔室形成进气腔与回收腔,在本实施例中,也可以省略主体而设置两个独立的进气单元与回收单元,进气单元具有进气腔,回收单元具有回收腔。
本实用新型的流量均匀分配装置的实施例5,与实施例1的区别在于:实施例1中主体为正六棱柱,出气管路与回收管路设置在六个侧面上,在本实施例中,也可以将主体设置圆柱管,出气管路与回收管路设置在圆柱面的周向上,出气管路与回收管路的数量也可以为四个、八个等。
Claims (10)
1.一种流量均匀分配装置,其特征在于:包括具有进气腔的进气部分和具有回收腔的回收部分,所述进气腔上设有进气口和至少两个出气口,各个出气口的口径相同,所述回收腔上设有排放口和与进气腔上的出气口数量相等的回收口,各个回收口的口径相同。
2.根据权利要求1所述的流量均匀分配装置,其特征在于:各个出气口上分别连接有出气管路,各个出气管路的长度及管径分别相同。
3.根据权利要求2所述的流量均匀分配装置,其特征在于:各个回收口上分别连接有回收管路,各个回收管路的长度及管径分别相同。
4.根据权利要求1-3任一项所述的流量均匀分配装置,其特征在于:所述出气口绕进气口的中心线均匀分布。
5.根据权利要求1-3任一项所述的流量均匀分配装置,其特征在于:所述回收口绕排放口的中心线均匀分布。
6.根据权利要求1-3任一项所述的流量均匀分配装置,其特征在于:所述流量均匀分配装置包括柱型的主体,所述主体内设有沿其轴向相互隔离的两个腔室,所述腔室分别形成所述进气腔与回收腔。
7.根据权利要求6所述的流量均匀分配装置,其特征在于:所述主体的横截面为正多边形结构,所述出气口及回收口分别设置在正多边形的主体的各个侧面上。
8.根据权利要求6所述的流量均匀分配装置,其特征在于:所述进气口与排放口分别设置在柱型的主体的中心线上。
9.根据权利要求8所述的流量均匀分配装置,其特征在于:所述进气口上连接有进气接头,所述排放口上连接有排放接头。
10.根据权利要求9所述的流量均匀分配装置,其特征在于:所述流量均匀分配装置还包括支撑座,所述主体设置在所述支撑座上,所述支撑座具有用于安装排放接头的安装空间。
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CN111986971A (zh) * | 2019-05-23 | 2020-11-24 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 微波源进气装置及半导体工艺设备 |
US11604179B2 (en) | 2020-02-24 | 2023-03-14 | Saudi Arabian Oil Company | Gas sensor testing system and method |
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