CN207933524U - 一种腔体门打开装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种腔体门打开装置，腔体门连接推拉装置，推拉装置将腔体上的腔体门推开或者将打开的腔体门拉回腔体门洞；所述推拉装置设置在升降装置上，升降装置在底座上设置的线轨上升降。采用本实用新型的技术方案的有益效果为伸缩气缸进行伸缩实现开门和关门动作，运行平稳，且有缓冲装置；有电机实现上下移动，露出腔的进口，可以运行较重的门；由于是电控，每次运行的位置稳定，一致性好。
Description
技术领域
本实用新型涉及到沉积镀膜的技术领域，具体设计到腔体的开门装置。
背景技术
现有的原子层沉积设备的腔体门的开门装置都是铰链式，铰链式的开门装置不能承受过重的腔体门，且腔体门打开范围不能太大。
本实用新型的技术方案中，腔体门已经不是传统的起到密闭作用的门，其又作为镀膜装置中的气体分布的喷淋板，是喷淋板与腔体门的结合，喷淋板内设有多个管道，其重量较重，普通的铰链式的开门装置已经不能满足开门的要求，普通的腔体门锁闭装置也不能满足腔体门的可靠的密封。
鉴于以上问题，本实用新型技术方案需要满足下技术问题的腔体门打开装置：可以适用于较重的门；开门占用的空间较小；稳定；经久耐用。
发明内容
本腔体门打开装置，主要为了实现两个动作，一个是将腔体门(带内腔体门)打开或关闭，此门包括内腔体门和外腔体门，内腔体门与外腔体门固定连接，所述外腔体门隔绝腔体内外，外腔体门将腔体内的环境与外部环境隔绝，内腔体门为喷淋板，门重量大，这种机构是在滑轨上进行的，所以摩擦力较小，能推动较重的门，只要气缸力大于由于门的重力而产生的摩擦力，就可以执行。门的上下运动是通过两边的丝杆和线轨组合使用，丝杆的端部装同步带轮，再用同一个同步带连上电机，做同步运动，使的打开的门做上下运动。
这样将内腔体的门洞露出，便于我们对内腔的装料和卸料。这种设计主要是解决用于较重门的关闭和升降设计的。
为了解决现有技术中存在的问题，本实用新型公开了一种腔体门打开装置，腔体门连接推拉装置，推拉装置将腔体上的腔体门推开或者将打开的腔体门拉回腔体门洞内；所述推拉装置设置在升降装置上，升降装置在底座上设置的线轨上升降。
推拉装置包括伸缩气缸、滑轨及腔体门连接机构，所述伸缩气缸的气缸杆通过腔体门连接机构与腔体门连接，伸缩气缸、滑轨固定在升降装置上，所述腔体门连接机构与滑轨活动连接。
腔体门连接机构设有两个，连接在腔体门的左右两侧；伸缩气缸设有两个，设置在腔体左右两侧；滑轨设有两套，布置在腔体的左右两侧。
腔体门需要打开时，气缸杆向外伸出，腔体门连接机构与滑轨活动连接，滑轨支撑腔体门连接机构，气缸杆推动腔体门连接机构沿滑轨向外移动，同时腔体门向外移动直到腔体门打开到位。
腔体门需要关闭时，气缸杆向内回缩，气缸杆推动腔体门连接机构沿滑轨向气缸方向移动，同时腔体门向腔体的门洞方向移动，直至腔体门回到腔体门洞内，腔体门关闭到位后，气缸保持着回拉腔体门的力矩，此时气缸相当于腔体门门锁。
优选的另一种技术方案是推拉装置的动力采用直线电机，推拉装置包括直线电机、减速机构、滑轨及腔体门连接机构，所述直线电机的通过减速机构、腔体门连接机构与腔体门连接，所述直线电机、滑轨固定在升降装置上，所述腔体门连接机构与滑轨活动连接。
腔体门打开后，腔体门在腔体的正前方，为了保证腔体门洞足够大，需要将腔体门移动，露出腔体门洞，此时，开门范围最大，为此本开门装置还设有升降装置。
升降装置包括电机、同步带及丝杆螺母，所述电机固定在腔体外的底座上，所述丝杆竖直安装在腔体的底座上；所述电机通过同步带带动丝杆转动，推拉装置通过固定板固定在螺母上；线轨固定在底座上，所述固定板与线轨滑动连接，固定板可沿线轨上下运动。
丝杆螺母设有两套，分别设置在腔体两侧；所述线轨设有四个，腔体左右两侧各设有两个。
腔体门打开装置应用在原子层沉积设备的腔体门上。
腔体门打开装置应用在化学气相沉积设备的腔体门上。
有益效果：
(1)伸缩气缸进行伸缩实现开门和关门动作，运行平稳，且有缓冲装置。
(2)有电机实现上下移动，露出腔的进口，可以运行较重的门。
(3)由于是电控，每次运行的位置稳定，一致性好。
附图说明
图1为本实用新型一种腔体门打开装置的腔体门关闭状态的主视图。
图2为本实用新型一种腔体门打开装置的腔体门关闭状态的俯视图。
图3为本实用新型一种腔体门打开装置的腔体门打开状态的主视图。
图4为本实用新型一种腔体门打开装置的腔体门打开状态的俯视图。
图5为本实用新型一种腔体门打开装置的腔体门打开并移动，腔体门洞完全漏出的主视图。
图6为本实用新型一种腔体门打开装置的腔体门打开并移动，腔体门洞完全漏出的俯视图。
具体实施方式
下面结合附图与具体实施方式对本实用新型的技术方案作进一步的说明。
实施例1
腔体门3包括内腔体门8和外腔体门(附图未标记)，内腔体门8与外腔体门固定连接，外腔体门隔绝腔体内外，外腔体门将腔体内的环境与外部环境隔绝，内腔体门8为喷淋板，内腔体门8上有气体管道。
腔体门打开装置包括底座、推拉装置、升降装置及底座上的线轨；底座对上述装置起支撑作用。
如图1和图2所示，腔体门闭合状态下，腔体门3在腔体门洞内，伸缩气缸1 此时兼做腔体门锁，保持腔体门稳定地固定在腔体门洞内；此时腔体与外界环境隔绝，腔体内可以进行化学反应。
如图3和图4所述，腔体门打开状态下，腔体门3离开腔体门洞，伸缩气缸1、滑轨6及腔体门连接机构(附图中未表示)，腔体门连接机构设有两个，连接在腔体门3的左右两侧；伸缩气缸1设有两个，设置在腔体左右两侧；滑轨6设有两套，布置在腔体的左右两侧，腔体每侧的每套滑轨设置有两个。
伸缩气缸1的气缸杆通过腔体门连接机构与腔体门连接，伸缩气缸1、滑轨6固定在升降装置上，腔体门连接机构与滑轨6活动连接，腔体门连接机构可在滑轨上滑动；控制器向气缸发送命令，气缸杆伸出，此时气缸杆推动腔体门连接机构向外(远离腔体方向)运动，腔体门连接机构沿滑轨6运动，滑轨6的作用是支撑腔体门连接机构及腔体门3，并预定腔体门3的运动方向，保持腔体门3沿滑轨6的轨迹运动。腔体门3在伸缩气缸1的推动下向外运动，直至运动到位后，停止，此时腔体门3 离开腔体门洞。
腔体门3需要关闭时，气缸杆向内回缩，气缸杆推动腔体门连接机构沿滑轨6 向气缸方向移动，同时腔体门3向腔体的门洞方向移动，直至腔体门回到腔体门洞内，腔体门关闭到位后，伸缩气缸1保持着回拉腔体门的力矩，此时伸缩气缸1相当于腔体门门锁。
如图5和图6所示，腔体门3打开后，腔体门3在腔体的正前方，为了保证腔体门洞足够大，需要将腔体门3移动，漏出腔体门洞，此时，开门范围最大，为此本开门装置还设有升降装置。
升降装置包括电机2、同步带(附图中未标记)及丝杆螺母7，电机2固定在腔体外的底座4上，丝杆竖直安装在腔体的底座4上。
丝杆螺母7设有两套，分别设置在腔体两侧；所述线轨5设有四个，分别设置在底座4上，腔体左右两侧各设有两个。
所述电机2通过同步带带动丝杆转动，电机2的电机轴连接一个同步带轮A，丝杆上也装有两个带动丝杆转动的同步带轮C和D，两个丝杆的中间位置设有两个导向轮B和E，同步带安装在同步带轮A、C和D上，导向轮B和E对同步带轮起到导向作用，同步带轮A带动同步带轮C和D同时转动，保证升降装置同步升降；推拉装置通过升降装置的固定板固定在螺母上；线轨5固定在底座4上，所述固定板与线轨5 滑动连接，固定板可沿线轨上下运动。
腔体门3打开到位后，电机2转动，通过同步带带动丝杆转动，螺母带动升降装置向下运动，升降装置沿线轨5向下运动，其中线轨5对升降装置进行导向运动，推拉装置固定在升降装置上，推拉装置也一并向下移动，并带动腔体门向下运动，直至运动到规定的位置，腔体门洞露出。
关闭腔体门时，电机反向转动，腔体门3在升降装置和推拉装置的带动下上升。
实施例2
本实施例与实施例1的区别在于，伸缩气缸由直线电机和减速机构代替，推拉装置的运动由直线电机和减速机构驱动。
Claims (9)
1.一种腔体门打开装置，其特征在于：腔体门连接推拉装置，推拉装置将腔体上的腔体门推开或者将打开的腔体门拉回腔体门洞；所述推拉装置设置在升降装置上，升降装置在底座设置的线轨上升降。
2.根据权利要求1所述的一种腔体门打开装置，其特征在于：所述推拉装置包括伸缩气缸、滑轨及腔体门连接机构，所述伸缩气缸的气缸杆通过腔体门连接机构与腔体门连接，所述伸缩气缸、滑轨固定在升降装置上，所述腔体门连接机构与滑轨活动连接。
3.根据权利要求2所述的一种腔体门打开装置，其特征在于：所述腔体门连接机构设有两个，连接在腔体门的左右两侧；所述伸缩气缸设有两个，设置在腔体左右两侧；所述滑轨设有两套，布置在腔体的左右两侧。
4.根据权利要求1所述的一种腔体门打开装置，其特征在于：所述推拉装置包括直线电机、减速机构、滑轨及腔体门连接机构，所述直线电机的通过减速机构、腔体门连接机构与腔体门连接，所述直线电机、滑轨固定在升降装置上，所述腔体门连接机构与滑轨活动连接。
5.根据权利要求1至4任一项所述的一种腔体门打开装置，其特征在于：所述升降装置包括电机、同步带及丝杆螺母，所述电机固定在腔体外的底座上，所述丝杆竖直安装在腔体的底座上；所述电机通过同步带带动丝杆转动，推拉装置通过升降装置上的固定板固定在螺母上；线轨固定在底座上，所述固定板与线轨滑动连接，固定板可沿线轨上下运动。
6.根据权利要求5所述的一种腔体门打开装置，其特征在于：所述丝杆螺母设有两套，分别设置在腔体两侧；所述线轨设有四个，腔体左右两侧各设有两个。
7.根据权利要求6所述的一种腔体门打开装置，其特征在于：所述腔体门包括内腔体门和外腔体门；内腔体门与外腔体门固定连接，所述外腔体门隔绝腔体内外，所述内腔体门为喷淋板。
8.基于权利要求1所述的一种腔体门打开装置，其特征在于：所述腔体门打开装置应用在原子层沉积设备的腔体门上。
9.基于权利要求1所述的一种腔体门打开装置，其特征在于：所述腔体门打开装置应用在化学气相沉积设备的腔体门上。
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|---|---|---|---|---|
| CN110184590A (zh) * | 2019-06-26 | 2019-08-30 | 苏州卫鹏机电科技有限公司 | 翻转滑动式腔门结构、等离子真空腔体及等离子处理设备 |
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2018
- 2018-01-12 CN CN201820052043.8U patent/CN207933524U/zh active Active
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