CN207911114U - 一种可显著扩展等离子体射流长度的常压等离子体装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种可显著扩展等离子体射流长度的常压等离子体装置,包括腔室、类注射器石英管、电极以及样品台,所述类注射器石英管开有所述进气口和所述喷嘴,所述电极置于所述类注射器石英管中间,所述腔室由所述石英筒、所述上封闭盖和所述下封闭盖组成,所述出气口在所述石英筒的右下侧。本实用新型所述腔室可形成一个充满放电气体的封闭环境,减少了周围大气对放电的影响,可显著延长等离子体射流长度,封闭环境也有利于降低等离子体放电电压,同时可以对有毒有害的气体进行等离子体射流研究。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种常压射流等离子体装置,具体涉及一种可显著扩展等离子体射流长度的常压等离子体装置,属于等离子体技术领域。
背景技术
常压等离子体射流放电装置因其不需真空设备、成本相对低廉且有着广泛的应用前景,而日益引起人们的关注,成为国际上低温等离子体的热门研究课题之一。由于等离子体可以形成在放电区域之外,而且气体温度较低,用于材料表面改性或生物灭菌等处理时,不仅减小了高温对物体表面带来的损伤,而且还可克服放电区域狭小给处理工作带来的不便,有利于形状复杂的物体,而且常压射流等离子体可以在开放的环境中通入各种气体进行工作。
但是目前的常压射流等离子体装置,在大气环境下等离子体羽的长度较短,在几个厘米尺度,需要进一步扩展等离子体射流的长度用以适用处理形状复杂的物体,同时由于常压射流等离子体装置放电发生的大气环境下,不能用于有毒有害气体的等离子体放电过程,从而导致了装置应用的局限性。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是,提供一种可显著扩展等离子体射流长度的常压等离子体装置,同时可用于有毒有害气体的等离子体放电实验。
为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案为:
一种可显著扩展等离子体射流长度的常压等离子体装置包括腔室、类注射器石英管、电极、以及样品台,所述腔室由所述石英筒、所述上封闭盖和所述下封闭盖组成,所述出气口在所述石英筒的右下侧,所述类注射器石英管置于所述上封闭盖中心空洞位置,所述类注射器石英管具有所述进气口和所述喷嘴,所述电极固定于所述类注射器石英管中心,所述样品台置于所述下封闭盖中心空洞位置。
所述腔室由所述石英筒、所述上封闭盖和所述下封闭盖组成。所述腔室可形成一个充满放电气体的封闭环境,减少了周围大气对放电的影响,可显著延长等离子体射流长度,有利于降低等离子体放电电压,根据特殊实验要求,可通过所述进气口通入有毒有害的气体进行大气压等离子体实验,并通过在所述出气口连接回收装置回收有毒有害气体,或者通过在所述出气口连接较长软管将有毒有害的气体排放到室外,以保障实验人员安全。
所述类注射器石英管是常用的用于产生大气压等离子体射流的装置,所述类注射器石英管的所述喷嘴置于所述腔室。
所述电极连接外部等离子体电源。
所述样品台用于大气压等离子体处理时放置样品,可通过所述螺杆调节所述样品台高度。所述样品台的高度也可通过安装小型电动升降台进行控制。
所述上封闭盖、所述下封闭盖以及样品台的材质为聚四氟乙烯,聚四氟乙烯绝缘性、耐热性好。
该装置底部设计有所述支架。
本实用新型的有益效果:本实用新型提供的一种可显著扩展等离子体羽长度的常压等离子体装置,通过提供腔室,形成一个充满放电气体的封闭环境,减少了周围大气对放电的影响,可显著延长等离子体射流长度,该装置用氩气为放电气体,等离子体射流长度可达10厘米以上,用这种封闭环境也有利于降低等离子体放电电压,同时可以对有毒有害的气体进行等离子体射流研究,增加了这种装置的应用范围。
附图说明
图1为本实用新型的一种可显著扩展等离子体射流长度的常压等离子体装置示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步描述,以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案,而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
如图1所示,一种可显著扩展等离子体射流长度的常压等离子体装置,包括腔室1、类注射器石英管6、电极9、样品台10、以及支架12,所述腔室1由所述石英筒2、所述上封闭盖3和所述下封闭盖4组成,所述出气口5在所述石英筒2的右下侧,所述类注射器石英管6置于所述上封闭盖3中心空洞位置,所述类注射器石英管6具有所述进气口7和所述喷嘴8,所述电极9固定于所述类注射器石英管6中心,所述样品台10置于所述下封闭盖4中心空洞位置。
所述腔室1可形成一个充满放电气体的封闭环境,减少了周围大气对放电的影响,可显著延长等离子体射流长度,有利于降低等离子体放电电压,根据特殊实验要求,可通过所述进气口7通入有毒有害的气体进行大气压等离子体实验,并通过在所述出气口5连接回收装置回收有毒有害气体,或者通过在所述出气口5连接较长软管将有毒有害的气体排放到室外,以保障实验人员安全。
所述类注射器石英管6是常用的用于产生大气压等离子体射流的装置,所述类注射器石英管6的所述喷嘴8置于所述腔室1。
所述电极9连接外部等离子体电源。
所述样品台10用于大气压等离子体处理时放置样品,可通过所述螺杆11调节所述样品台10高度。所述样品台10的高度也可通过安装小型电动升降台进行控制。
所述上封闭盖3、所述下封闭盖4以及样品台10的材质为聚四氟乙烯,聚四氟乙烯绝缘性、耐热性好。
该装置底部设计有所述支架12。
本实用新型提供的一种可显著扩展等离子体羽长度的常压等离子体装置,通过提供腔室,形成一个充满放电气体的封闭环境,减少了周围大气对放电的影响,可显著延长等离子体射流长度,该装置用氩气为放电气体,等离子体射流长度可达10厘米以上,用这种封闭环境也有利于降低等离子体放电电压,同时可以对有毒有害的气体进行等离子体射流研究,增加了这种装置的应用范围。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出:对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种可显著扩展等离子体射流长度的常压等离子体装置,包括类注射器石英管(6)、电极(9)、样品台(10),所述类注射器石英管(6)具有进气口(7)和喷嘴(8),所述电极(9)固定于所述类注射器石英管(6)中心空洞位置,其特征在于:包括可形成充满放电气体的封闭腔室(1),所述样品台(10)置于封闭腔室(1)内,所述类注射器石英管(6)置于所述封闭腔室(1)中心空洞上。
2.根据权利要求1所述的一种可显著扩展等离子体射流长度的常压等离子体装置,其特征在于:所述封闭腔室(1)由石英筒(2)、上封闭盖(3)和下封闭盖(4)组成,所述类注射器石英管(6)置于所述上封闭盖(3)中心空洞,所述喷嘴(8)置于封闭腔室(1)内,所述样品台(10)置于所述下封闭盖(4)中心空洞位置。
3.根据权利要求2所述的一种可显著扩展等离子体射流长度的常压等离子体装置,其特征在于:所述石英筒(2)的右下侧带有出气口(5),所述出气口(5)连接较长软管。
4.根据权利要求1所述的一种可显著扩展等离子体射流长度的常压等离子体装置,其特征在于:所述样品台(10)下方连接升降调节机构调节高度。
5.根据权利要求4所述的一种可显著扩展等离子体射流长度的常压等离子体装置,其特征在于:所述升降调节机构为螺杆(11)或小型电动升降台。
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