CN207908997U - 一种靶材帮定自动控温装置 - Google Patents
一种靶材帮定自动控温装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN207908997U CN207908997U CN201820246435.8U CN201820246435U CN207908997U CN 207908997 U CN207908997 U CN 207908997U CN 201820246435 U CN201820246435 U CN 201820246435U CN 207908997 U CN207908997 U CN 207908997U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- time
- temperature
- heat
- voltage signal
- generating pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Control Of Temperature (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种靶材帮定自动控温装置，控制单元的输入端电连接各热电偶，以实现接收各热电偶的电流信号或电压信号；控制单元设置有时间温度比较单元，控制单元电连接时间温度比较单元，以实现将各热电偶的电流信号或电压信号与存储在记录仪中的时间温度比较曲线或时间温度对照表进行比较。本实用新型通过记录仪记录并保存加工过程的带有时间标记的热电偶的电压信号，形成一时间温度比较曲线，在批量加工过程中将当前各热电偶的电压信号与时间温度比较曲线的相应时间点的电压信号比较，自动控制背板的温度，提高靶材帮定质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及靶材的温度控制装置技术领域，尤其是涉及一种靶材帮定自动控温装置。
背景技术
靶材的应用行业广泛，种类也多种多样，很多靶材由于本身的性质不符合溅射设备的装配和使用要求，需要特殊的背板，靶材与背板帮定使用。在生产过程中，靶材帮定需要精确的温度控制，以实现良好的帮定质量，避免热应力导致靶材变形而报废。不同的靶材品种规格不同，帮定要求也不同，市场上没有专门的帮定温控系统，因此有必要予以改进。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种靶材帮定自动控温装置，自动控制背板的温度，提高靶材帮定质量。
为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种靶材帮定自动控温装置，包括三相交流电源、温控器、可控硅模块、控制单元和用于安装背板的背板加热平台，背板加热平台间隔安装有若干发热管，背板加热平台的底面对应发热管的位置分别安装有热电偶，若干发热管并联形成一发热管组支路，可控硅模块和发热管组支路串联而成一加热支路；三相交流电源的三个电极分别电性连接三个加热支路的第一端，三个加热支路的第二端电性连接于一结点，形成一星形连接的三相交流电源工作电路；每个可控硅模块分别具有至少一可控硅触发器，控制单元的各信号输出端分别电连接相应的可控硅模块的可控硅触发器；控制单元设置有记录仪，温控器的输入端分别电连接各热电偶，温控器的输出端电连接于记录仪，记录仪电连接控制单元，以实现保存带有时间标记的热电偶的电流信号或电压信号，并存储形成一时间温度比较曲线或时间温度对照表；控制单元的输入端电连接各热电偶，以实现接收各热电偶的电流信号或电压信号；控制单元设置有时间温度比较单元，控制单元电连接时间温度比较单元，以实现将各热电偶的电流信号或电压信号与存储在记录仪中的时间温度比较曲线或时间温度对照表进行比较。
优选的，所述背板加热平台的背面田固定有10～20个发热管组，且各发热管呈矩阵排列，每个发热管组包括3～6个发热管，每个发热管组中的各发热管并联成一所述发热管组支路。
优选的，各所述加热支路分别通过负感器偶接有一电流表，所述三相交流电源连接有至少一电压表。
优选的，所述热电偶向所述控制单元输送电压信号，所述记录仪存储有所述时间温度比较曲线，时间温度比较曲线中存储的是带有时间标记的电压信号；在加工过程中按设定比较频率在时间温度比较单元中分别对各电压信号进行比较，在时间温度比较单元中的比较的结果是当前电压信号大于时间温度比较曲线中的相应时间点的电压信号时，控制单元触发相应的可控硅模块的可控硅触发器，以实现切断相应发热管的电源；在时间温度比较单元中的比较的结果是当前电压信号等于或小于时间温度比较曲线中的相应时间点的电压信号时，控制单元不触发各相应可控硅模块的可控硅触发器，以实现各发热管保持通电加热状态。
本实用新型和现有技术相比所具有的优点是：本实用新型通过记录仪记录并保存加工过程的带有时间标记的热电偶的电压信号，形成一时间温度比较曲线，在批量加工过程中将当前各热电偶的电压信号与时间温度比较曲线的相应时间点的电压信号比较，自动控制背板的温度，提高靶材帮定质量。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的电路结构的第一部分的示意图。
图2是本实用新型的电路结构的第二部分的示意图。
图3是本实用新型的电路结构的第三部分的示意图。
图4是本实用新型的电路结构的第四部分的示意图。
图5是本实用新型的电路结构的第五部分的示意图。
具体实施方式
以下仅为本实用新型的较佳实施例，并不因此而限定本实用新型的保护范围。
一种靶材帮定自动控温装置，图1至5所示，包括三相交流电源、温控器、可控硅模块、控制单元和用于安装背板的背板加热平台，背板加热平台间隔安装有若干发热管，背板加热平台的底面对应发热管的位置分别安装有热电偶，若干发热管并联形成一发热管组支路，可控硅模块和发热管组支路串联而成一加热支路；其中，背板加热平台的背面田固定有10～20个发热管组，且各发热管呈矩阵排列，每个发热管组包括3～6个发热管，每个发热管组中的各发热管并联成一发热管组支路。
例如，对于3米长度的背板加热平台，沿长度方向等间距安装15个发热管组，每个发热管组有3个沿宽度方向等间距安装的发热管，一共安装45个发热管，且每个发热管组3个发热管并联成一发热管组支路。
对于2.4米长度的背板加热平台，沿长度方向等间距安装12个发热管组，每个发热管组有3个沿宽度方向等间距安装的发热管，一共安装36个发热管，且每个发热管组3个发热管并联成一发热管组支路。
三相交流电源的三个电极分别电性连接三个加热支路的第一端，三个加热支路的第二端电性连接于一结点，形成一星形连接的三相交流电源工作电路；各加热支路分别通过负感器偶接有一电流表，三相交流电源连接有至少一电压表。用于实时观察三相交流电源以及各发热管的电流和电压。
每个可控硅模块分别具有至少一可控硅触发器，控制单元的各信号输出端分别电连接相应的可控硅模块的可控硅触发器；控制单元设置有记录仪，温控器的输入端分别电连接各热电偶，温控器的输出端电连接于记录仪，记录仪电连接控制单元，以实现保存带有时间标记的热电偶的电流信号或电压信号，并存储形成一时间温度比较曲线或时间温度对照表；控制单元的输入端电连接各热电偶，以实现接收各热电偶的电流信号或电压信号；控制单元设置有时间温度比较单元，控制单元电连接时间温度比较单元，以实现将各热电偶的电流信号或电压信号与存储在记录仪中的时间温度比较曲线或时间温度对照表进行比较。热电偶向控制单元输送电压信号，记录仪存储有时间温度比较曲线，时间温度比较曲线中存储的是带有时间标记的电压信号；在加工过程中按设定比较频率在时间温度比较单元中分别对各电压信号进行比较，在时间温度比较单元中的比较的结果是当前电压信号大于时间温度比较曲线中的相应时间点的电压信号时，控制单元触发相应的可控硅模块的可控硅触发器，以实现切断相应发热管的电源；在时间温度比较单元中的比较的结果是当前电压信号等于或小于时间温度比较曲线中的相应时间点的电压信号时，控制单元不触发各相应可控硅模块的可控硅触发器，以实现各发热管保持通电加热状态。
在使用过程中，在记录仪在记录并保存若干手工控制加热的时间温度比较曲线，并选择加工效果最好的时间温度比较曲线作为比较对象，在批量生产过程中以该时间温度比较曲线作为比较对象。
热电偶向所述控制单元输送电压信号，所述记录仪存储有所述时间温度比较曲线，时间温度比较曲线中存储的是带有时间标记的电压信号；在加工过程中按设定比较频率在时间温度比较单元中分别对各电压信号进行比较，在时间温度比较单元中的比较的结果是当前电压信号大于时间温度比较曲线中的相应时间点的电压信号时，控制单元输出一个4～20毫安的电流给相应的可控硅模块的可控硅触发器，触发相应的可控硅模块的可控硅触发器，以实现切断相应发热管的电源。
在时间温度比较单元中的比较的结果是当前电压信号等于或小于时间温度比较曲线中的相应时间点的电压信号时，控制单元不触发各相应可控硅模块的可控硅触发器，以实现各发热管保持通电加热状态。按预先设置好的温度曲线进行温度控制，同时对发热管的电压、电流和温度曲线进行实时监视，保证了帮定的产品的质量。
本实用新型针对平面靶材的帮定，在帮定加热平台上，安装有36支到45支1KW22VAC的发热管，并均匀分布安装六支K型热电偶，其中一支加在温控器上，温控器选取宇电公司生产的型号为AI-719P-X3-L2-S4的温控器；另五支热电偶联接到记录仪，记录仪选取宇电公司生产的型号为AI-3706M-J1-J1-J1的记录仪；温控器输出的4-20MA电流信号到可控硅触发器，可控硅触发器选取的是国龙仪器仪表厂生产的型号为TCW-32ZK3的触发器，此触发器控制的是三个可控硅模块，可控硅模块型号是MTC200A-16；在可控硅模块到发热管的主线路上装的50/5A的电流互感器，再通过WH-96电流表来显示各相线电流；另外用型叼为SF-96，500V交流电压表来显示各相线电压。
本项发明的靶材帮定控温系统，根据帮定材料工艺要求，在温控器中设置相应时间温度程序，由于温控器与记录仪有RS485通讯，也可以在记录仪上设置时间温度程序；6号热电偶检测到帮定靶材的温度转化成电压信号加在温控器上，温控器把这个信号与设置时间温度程序比较计算，输出一个4-20MA的电流控制信号到可控硅触发器，再由可控硅触发器调节可控硅模块的导通，这样就能控制加在发热管上的电压电流大小，达到控制靶材帮定温度按设置时间温度程序运行的目的；记录仪通过与温控器的通讯读取主控温度信号，以及1到5号的热电偶信号的读取，记录六个通道的温度变化过程，方便监视和查看。
以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
Claims (4)
1.一种靶材帮定自动控温装置，包括三相交流电源、温控器、可控硅模块、控制单元和用于安装背板的背板加热平台，背板加热平台间隔安装有若干发热管，背板加热平台的底面对应发热管的位置分别安装有热电偶，其特征在于：若干发热管并联形成一发热管组支路，可控硅模块和发热管组支路串联而成一加热支路；
三相交流电源的三个电极分别电性连接三个加热支路的第一端，三个加热支路的第二端电性连接于一结点，形成一星形连接的三相交流电源工作电路；
每个可控硅模块分别具有至少一可控硅触发器，控制单元的各信号输出端分别电连接相应的可控硅模块的可控硅触发器；
控制单元设置有记录仪，温控器的输入端分别电连接各热电偶，温控器的输出端电连接于记录仪，记录仪电连接控制单元，以实现保存带有时间标记的热电偶的电流信号或电压信号，并存储形成一时间温度比较曲线或时间温度对照表；
控制单元的输入端电连接各热电偶，以实现接收各热电偶的电流信号或电压信号；
控制单元设置有时间温度比较单元，控制单元电连接时间温度比较单元，以实现将各热电偶的电流信号或电压信号与存储在记录仪中的时间温度比较曲线或时间温度对照表进行比较。
2.根据权利要求1所述的一种靶材帮定自动控温装置，其特征在于：所述背板加热平台的背面田固定有10～20个发热管组，且各发热管呈矩阵排列，每个发热管组包括3～6个发热管，每个发热管组中的各发热管并联成一所述发热管组支路。
3.根据权利要求1所述的一种靶材帮定自动控温装置，其特征在于：各所述加热支路分别通过负感器偶接有一电流表，所述三相交流电源连接有至少一电压表。
4.根据权利要求1所述的一种靶材帮定自动控温装置，其特征在于：所述热电偶向所述控制单元输送电压信号，所述记录仪存储有所述时间温度比较曲线，时间温度比较曲线中存储的是带有时间标记的电压信号；
在加工过程中按设定比较频率在时间温度比较单元中分别对各电压信号进行比较，
在时间温度比较单元中的比较的结果是当前电压信号大于时间温度比较曲线中的相应时间点的电压信号时，控制单元触发相应的可控硅模块的可控硅触发器，以实现切断相应发热管的电源；
在时间温度比较单元中的比较的结果是当前电压信号等于或小于时间温度比较曲线中的相应时间点的电压信号时，控制单元不触发各相应可控硅模块的可控硅触发器，以实现各发热管保持通电加热状态。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820246435.8U CN207908997U (zh) | 2018-02-11 | 2018-02-11 | 一种靶材帮定自动控温装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820246435.8U CN207908997U (zh) | 2018-02-11 | 2018-02-11 | 一种靶材帮定自动控温装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN207908997U true CN207908997U (zh) | 2018-09-25 |
Family
ID=63559835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201820246435.8U Active CN207908997U (zh) | 2018-02-11 | 2018-02-11 | 一种靶材帮定自动控温装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN207908997U (zh) |
-
2018
- 2018-02-11 CN CN201820246435.8U patent/CN207908997U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102804478B (zh) | 用于前部接线端电池的监控器 | |
| TW202138023A (zh) | 具有個別可取存電極元件和溫度感測器之用於遞送腫瘤治療場(TTFields)之陣列 | |
| US20130108896A1 (en) | Methods and apparatus for combined thermal management, temperature sensing, and passive balancing for battery systems in electric vehicles | |
| CN106897487B (zh) | 一种高温超导磁体非线性分析的建模方法 | |
| CN207908997U (zh) | 一种靶材帮定自动控温装置 | |
| US2312022A (en) | Constant direct current source | |
| CN110907737A (zh) | 一种铜排载流量的测试装置及测试方法 | |
| CN106468736B (zh) | 用于确定介质电导率的方法 | |
| CN105988052B (zh) | 家电电机绕组温升在机测试装置及方法 | |
| CN104199492A (zh) | 一种用于射频/微波功率测量的控温装置 | |
| US1254374A (en) | Meter. | |
| CN109655175A (zh) | 一种高精度多通道温度控制与记录仪 | |
| CN1019602B (zh) | 粮仓矩阵布线测温(湿)方法 | |
| CN201845483U (zh) | 多功能温度控制实验仪 | |
| CN107943158A (zh) | 一种自适应调节功率输出智能加热控制卡及其控制方法 | |
| CN110913515B (zh) | 红外辐射器及其石墨烯发热膜 | |
| CN210401533U (zh) | 母线干线热循环测试装置 | |
| CN211786811U (zh) | 一种靶材帮定控温装置 | |
| CN209690456U (zh) | 一种热电发电试验台 | |
| CN103353465A (zh) | 热管等温性能测试装置 | |
| CN110261692A (zh) | 母线干线热循环测试装置及其测试方法 | |
| CN216869833U (zh) | 一种ptc耐久试验台 | |
| CN207231807U (zh) | 一种svg热管散热器特性的测试平台 | |
| CN215496016U (zh) | 一种基于pcb绕线加热硬盘的装置 | |
| CN209326812U (zh) | 一种用于pici设备上的温度监控装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |