CN207893423U

CN207893423U - 电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备

Info

Publication number: CN207893423U
Application number: CN201820126476.3U
Authority: CN
Inventors: 刘跃
Original assignee: Shenzhen City Gus Parke Gas Application Technology Co Ltd
Current assignee: Shenzhen City Gus Parke Gas Application Technology Co Ltd
Priority date: 2018-01-24
Filing date: 2018-01-24
Publication date: 2018-09-21
Anticipated expiration: 2028-01-24

Abstract

本实用新型公开了一种电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备，包括柜体，设置于所述柜体内的气瓶、分气装置，所述分气装置包括吹扫模块、供气模块、以及抽真空模块，其中，所述供气模块分别与所述气瓶、吹扫模块、抽真空模块、以及外部用气设备连接。本实用新型通过各种阀门有机地、巧妙地组合，外加上PLC控制及触摸屏这一人机交互媒介，使其自动化程度大大提高，同时也方便使用者操作。柜体是为了满足微电子半导体生产、科研要求而设计的气体输送系统。柜体中装载有单个或两个工艺钢瓶、工艺输出管线以及一条吹扫管路。此外，柜体装载并且输送高纯度有毒或易燃易爆气体，可以与更大型系统的使用点进行连接。

Description

电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备

技术领域

本实用新型涉及废气处理技术领域，尤其涉及一种电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备。

背景技术

目前，市面上用于半导体工厂或实验室的毒腐可燃气体控制设备，存在自动不彻底、危机处理不安全、结构繁杂、维护困难、操作不方便的问题。这就给使用都带来了使用不方便、使用不安全、危机处理不恰当，造成了人力物力的浪费，同时给使用方带来极大地安全隐患。

实用新型内容

本实用新型提出一种电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备，旨在提高毒腐可燃气体利用的安全性。

为实现上述目的，本实用新型提供一种电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备，包括柜体，设置于所述柜体内的气瓶、分气装置，所述分气装置包括吹扫模块、供气模块、以及抽真空模块，其中，所述供气模块分别与所述气瓶、吹扫模块、抽真空模块、以及外部用气设备连接。

如上所述电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备还包括设置于所述柜体内部的控制器，所述控制器分别与所述吹扫模块、供气模块、以及抽真空模块连接。

如上所述电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备还包括设置于所述柜体内部的电磁阀，所述控制器通过所述电磁阀与所述吹扫模块、供气模块、以及抽真空模块连接。

如上所述供气模块包括：限流开关EFS、过滤器F2-L、低压手动隔膜阀 LPHL、压力传感器DPGL、低压气动隔膜阀LPVL、单向阀CV3、压力传感器 VPG、高压气动隔膜阀HPVL、高压气动隔膜阀HPVR、调压阀REGL、高压气动隔膜阀HPIL、高压气动隔膜阀HPIR、过滤器F1-R、高压气动隔膜阀PGIR、以及压力传感器SPGR；其中，

所述限流开关EFS与所述过滤器F2-L、低压手动隔膜阀LPHL连接，所述低压手动隔膜阀LPHL还与所述压力传感器DPGL、低压气动隔膜阀LPVL、调压阀REGL连接，所述低压气动隔膜阀LPVL还与所述单向阀CV3连接，所述单向阀CV3还与压力传感器VPG、高压气动隔膜阀HPVL、高压气动隔膜阀 HPVR连接，所述高压气动隔膜阀HPVR连接还与所述高压气动隔膜阀HPIR、所述过滤器F1-R连接，所述高压气动隔膜阀HPIR还与所述调压阀REGL、高压气动隔膜阀HPIL连接，所述过滤器F1-R还与所述高压气动隔膜阀PGIR、压力传感器SPGR连接，所述压力传感器DPGL、所述压力传感器VPG、所述压力传感器SPGR还与所述控制器连接。

如上所述吹扫模块包括：所述低压气动隔膜阀LPVL、所述单向阀CV3、所述压力传感器VPG、所述高压气动隔膜阀HPVL、所述高压气动隔膜阀 HPVR、所述高压气动隔膜阀HPIR、所述过滤器F1-R、所述压力传感器SPGR、所述高压气动隔膜阀PGIR、以及高压气动隔膜阀HPCV、低压气动隔膜阀 LPBV、高压气动隔膜阀HPDV、真空发生器VG、单向阀CV1、单向阀CV2、高压气动隔膜阀PGIL；其中，

所述高压气动隔膜阀PGIR还与所述单向阀CV1连接，所述单向阀CV1还与所述单向阀CV2、所述高压气动隔膜阀HPCV、所述低压气动隔膜阀LPBV 连接，所述单向阀CV2还与所述高压气动隔膜阀PGIL连接，所述高压气动隔膜阀PGIL还与所述过滤器F1-R连接，所述真空发生器VG与所述高压气动隔膜阀HPVL、所述高压气动隔膜阀HPVR连接，所述高压气动隔膜阀HPDV与所述真空发生器VG、所述高压气动隔膜阀HPCV连接。

如上所述抽真空模块包括所述低压气动隔膜阀LPVL、所述单向阀CV3、所述压力传感器VPG、所述高压气动隔膜阀HPVL、所述高压气动隔膜阀 HPVR、所述高压气动隔膜阀HPIR、所述过滤器F1-R、所述压力传感器SPGR、所述高压气动隔膜阀PGIR、所述真空发生器VG、所述高压气动隔膜阀HPDV。

如上所述柜体上设置有过流开关、触摸屏、指示灯、以及继电器，其中，

所述过流开关与所述控制器连接，所述指示灯与所述继电器连接，所述控制器通过所述继电器与所述电磁阀连接。

如上所述柜体上还设置有急停开关。

如上所述分气装置，气瓶设置在所述柜体下面。

如上所述分气装置为分气箱或分气盘。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过各种阀门有机地、巧妙地组合，外加上PLC控制及触摸屏这一人机交互媒介，使其自动化程度大大提高，同时也方便使用者操作。柜体是为了满足微电子半导体生产、科研要求而设计的气体输送系统。柜体中装载有单个或两个工艺钢瓶、工艺输出管线以及一条吹扫管路。此外，柜体装载并且输送高纯度有毒或易燃易爆气体，可以与更大型系统的使用点进行连接。

附图说明

图1为本实用新型电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备较佳实施例的功能模块示意图；

图2为本实用新型电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备较佳实施例各元件间的相互作用关系示意图；

图3为本实用新型电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备较佳实施例的设备原理图；

图4为本实用新型电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备较佳实施例中供气模块的示意图；

图5为本实用新型电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备较佳实施例中吹扫模块的示意图；

图6为本实用新型电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备较佳实施例中抽真空模块的示意图。

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

请参照图1至图6，本实用新型较佳实施例提出一种电子气毒腐类及可燃类气体(Sih4、Cl2等)全自动安全输送控制设备，该设备包括柜体以及设置于该柜体内的气瓶、分气装置，该柜体设计简洁，维护方便。无需开门，就可以看见和操作面板。柜体的下半部是有关气体的部分。气瓶放在持续抽风的柜体内，用以将任何潜在的，可能伤害到操作人员泄露气体排放到适当的地方。气体面板用以将气体输送到使用点或分气箱具有了高性能和高纯度的特点。另外，还有一些监控传感器，秤(液态气体用)以及相关硬件，同样是在柜体下半部的气体部分。柜体的上部包含了电气控制器，用来监控气柜，它提供了基本的面板状态信息。设备门的上部是操作界面。在气柜上半部包括了所有显示气柜状态，控制阀门，并且作出实时监控的控制部分。

此外，本实用新型通过各种阀门有机地、巧妙地组合，外加上PLC控制及触摸屏这一人机交互媒介，使其自动化程度大大提高，同时也方便使用者操作。柜体是为了满足微电子半导体生产、科研要求而设计的气体输送系统。柜体中装载有单个或两个工艺钢瓶、工艺输出管线以及一条吹扫管路。此外，柜体装载并且输送高纯度有毒或易燃易爆气体，可以与更大型系统的使用点进行连接。

具体地，请参照图1至图6，图1为本实用新型电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备较佳实施例的功能模块示意图；图2为本实用新型电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备较佳实施例各元件间的相互作用关系示意图；图3为本实用新型电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备较佳实施例的设备原理图；图4为本实用新型电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备较佳实施例中供气模块的示意图；图5为本实用新型电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备较佳实施例中吹扫模块的示意图；图6为本实用新型电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备较佳实施例中抽真空模块的示意图。

如图1所示，本实用新型电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备较佳实施例包括柜体，设置于所述柜体内的气瓶、分气装置，所述分气装置包括吹扫模块、供气模块、以及抽真空模块，其中，所述供气模块分别与所述气瓶、吹扫模块、抽真空模块、以及外部用气设备连接。

其中，所述分气装置，气瓶设置在所述柜体下面。所述柜体具有持续通风功能的柜体，以将潜在的可能伤害到操作人员泄露气体排放到适当的地方，从而提高安全性。所述分气装置可以采用分气箱或分气盘。

进一步的，如图2所示，所述电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备还包括设置于所述柜体内部的控制器，所述控制器分别与所述吹扫模块、供气模块、以及抽真空模块连接。

所述电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备还包括设置于所述柜体内部的电磁阀，所述控制器通过所述电磁阀与所述吹扫模块、供气模块、以及抽真空模块连接。

所述柜体上设置有过流开关、触摸屏、指示灯、以及继电器、急停开关，其中，所述急停开关、过流开关与所述控制器连接，所述指示灯与所述继电器连接，所述控制器通过所述继电器与所述电磁阀连接。

其中，具体实施时，将所述急停开关安装在所述柜体的显眼处，确保意外发生时能随时停止危险气体的供应。同时，急停开关为″防撞式″，确保了系统不会因为被人误按而停机。

请参照图4至图6，所述供气模块包括：限流开关EFS、过滤器F2-L、低压手动隔膜阀LPHL、压力传感器DPGL、低压气动隔膜阀LPVL、单向阀 CV3、压力传感器VPG、高压气动隔膜阀HPVL、高压气动隔膜阀HPVR、调压阀REGL、高压气动隔膜阀HPIL、高压气动隔膜阀HPIR、过滤器F1-R、高压气动隔膜阀PGIR、以及压力传感器SPGR。

其中，所述限流开关EFS与所述过滤器F2-L、低压手动隔膜阀LPHL连接，所述低压手动隔膜阀LPHL还与所述压力传感器DPGL、低压气动隔膜阀 LPVL、调压阀REGL连接，所述低压气动隔膜阀LPVL还与所述单向阀CV3连接，所述单向阀CV3还与压力传感器VPG、高压气动隔膜阀HPVL、高压气动隔膜阀HPVR连接，所述高压气动隔膜阀HPVR连接还与所述高压气动隔膜阀 HPIR、所述过滤器F1-R连接，所述高压气动隔膜阀HPIR还与所述调压阀 REGL、高压气动隔膜阀HPIL连接，所述过滤器F1-R还与所述高压气动隔膜阀 PGIR、压力传感器SPGR连接，所述压力传感器DPGL、所述压力传感器VPG、所述压力传感器SPGR还与所述控制器连接。

所述吹扫模块包括：所述低压气动隔膜阀LPVL、所述单向阀CV3、所述压力传感器VPG、所述高压气动隔膜阀HPVL、所述高压气动隔膜阀HPVR、所述高压气动隔膜阀HPIR、所述过滤器F1-R、所述压力传感器SPGR、所述高压气动隔膜阀PGIR、以及高压气动隔膜阀HPCV、低压气动隔膜阀LPBV、高压气动隔膜阀HPDV、真空发生器VG、单向阀CV1、单向阀CV2、高压气动隔膜阀PGIL。其中：

所述抽真空模块包括所述低压气动隔膜阀LPVL、所述单向阀CV3、所述压力传感器VPG、所述高压气动隔膜阀HPVL、所述高压气动隔膜阀HPVR、所述高压气动隔膜阀HPIR、所述过滤器F1-R、所述压力传感器SPGR、所述高压气动隔膜阀PGIR、所述真空发生器VG、所述高压气动隔膜阀HPDV。

本实用新型的有益效果是，本实用新型通过各种阀门有机地、巧妙地组合，外加上PLC控制及触摸屏这一人机交互媒介，使其自动化程度大大提高，同时也方便使用者操作。柜体是为了满足微电子半导体生产、科研要求而设计的气体输送系统。柜体中装载有单个或两个工艺钢瓶、工艺输出管线以及一条吹扫管路。此外，柜体装载并且输送高纯度有毒或易燃易爆气体，可以与更大型系统的使用点进行连接。

以上仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims

1.一种电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备，其特征在于，包括柜体，设置于所述柜体内的气瓶、分气装置，所述分气装置包括吹扫模块、供气模块、以及抽真空模块，其中，所述供气模块分别与所述气瓶、吹扫模块、抽真空模块、以及外部用气设备连接。

2.根据权利要求1所述的电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备，其特征在于，还包括设置于所述柜体内部的控制器，所述控制器分别与所述吹扫模块、供气模块、以及抽真空模块连接。

3.根据权利要求2所述的电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备，其特征在于，还包括设置于所述柜体内部的电磁阀，所述控制器通过所述电磁阀与所述吹扫模块、供气模块、以及抽真空模块连接。

4.根据权利要求3所述的电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备，其特征在于，所述供气模块包括：限流开关EFS、过滤器F2-L、低压手动隔膜阀LPHL、压力传感器DPGL、低压气动隔膜阀LPVL、单向阀CV3、压力传感器VPG、高压气动隔膜阀HPVL、高压气动隔膜阀HPVR、调压阀REGL、高压气动隔膜阀HPIL、高压气动隔膜阀HPIR、过滤器F1-R、高压气动隔膜阀PGIR、以及压力传感器SPGR；其中，

所述限流开关EFS与所述过滤器F2-L、低压手动隔膜阀LPHL连接，所述低压手动隔膜阀LPHL还与所述压力传感器DPGL、低压气动隔膜阀LPVL、调压阀REGL连接，所述低压气动隔膜阀LPVL还与所述单向阀CV3连接，所述单向阀CV3还与压力传感器VPG、高压气动隔膜阀HPVL、高压气动隔膜阀HPVR连接，所述高压气动隔膜阀HPVR连接还与所述高压气动隔膜阀HPIR、所述过滤器F1-R连接，所述高压气动隔膜阀HPIR还与所述调压阀REGL、高压气动隔膜阀HPIL连接，所述过滤器F1-R还与所述高压气动隔膜阀PGIR、压力传感器SPGR连接，所述压力传感器DPGL、所述压力传感器VPG、所述压力传感器SPGR还与所述控制器连接。

5.根据权利要求4所述的电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备，其特征在于，所述吹扫模块包括：所述低压气动隔膜阀LPVL、所述单向阀CV3、所述压力传感器VPG、所述高压气动隔膜阀HPVL、所述高压气动隔膜阀HPVR、所述高压气动隔膜阀HPIR、所述过滤器F1-R、所述压力传感器SPGR、所述高压气动隔膜阀PGIR、以及高压气动隔膜阀HPCV、低压气动隔膜阀LPBV、高压气动隔膜阀HPDV、真空发生器VG、单向阀CV1、单向阀CV2、高压气动隔膜阀PGIL；其中，

所述高压气动隔膜阀PGIR还与所述单向阀CV1连接，所述单向阀CV1还与所述单向阀CV2、所述高压气动隔膜阀HPCV、所述低压气动隔膜阀LPBV连接，所述单向阀CV2还与所述高压气动隔膜阀PGIL连接，所述高压气动隔膜阀PGIL还与所述过滤器F1-R连接，所述真空发生器VG与所述高压气动隔膜阀HPVL、所述高压气动隔膜阀HPVR连接，所述高压气动隔膜阀HPDV与所述真空发生器VG、所述高压气动隔膜阀HPCV连接。

6.根据权利要求5所述的电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备，其特征在于，所述抽真空模块包括所述低压气动隔膜阀LPVL、所述单向阀CV3、所述压力传感器VPG、所述高压气动隔膜阀HPVL、所述高压气动隔膜阀HPVR、所述高压气动隔膜阀HPIR、所述过滤器F1-R、所述压力传感器SPGR、所述高压气动隔膜阀PGIR、所述真空发生器VG、所述高压气动隔膜阀HPDV。

7.根据权利要求3所述的电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备，其特征在于，所述柜体上设置有过流开关、触摸屏、指示灯、以及继电器，其中，

8.根据权利要求1-7任意一项所述的电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备，其特征在于，所述柜体上还设置有急停开关。

9.根据权利要求1-7任意一项所述的电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备，其特征在于，所述分气装置，气瓶设置在所述柜体下面。

10.根据权利要求1-7任意一项所述的电子气毒腐类及可燃类气体全自动安全输送控制设备，其特征在于，所述分气装置为分气箱或分气盘。