CN207850076U - 一种扩散炉用炉门 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及扩散炉设计领域，尤其涉及一种扩散炉用炉门，包括石英门和铝门板，石英门为槽状，铝门板的板面将石英门的槽口遮挡，铝门板和石英门固定连接，石英门的槽底铺设保温棉，石英门的槽壁中部设有向内凸出的凸缘，保温棉填充在凸缘和石英门的槽底之间，且在保温棉和凸缘之间设有用来压制保温棉的压板，铝门板的外板面连接用于打开和关闭整个炉门的移动机构，石英门延伸到扩散炉内将炉口堵住，铝门板的边缘和扩散炉的炉口端部抵靠在一起实现炉口的密封，由于石英材质的熔点高、耐腐蚀性好、化学性质稳定，使得整个炉门的使用寿命较长，石英门和铝门板双重封闭，并且在石英门内部填充保温棉，起到保温、隔热效果。

Description

一种扩散炉用炉门

技术领域

本实用新型涉及扩散炉设计领域，尤其涉及一种扩散炉用炉门。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，扩散炉使用时，炉内温度很高，对炉门的耐高温要求很高，现有技术中使用的扩散炉炉门耐高温程度不高、隔热效果差，长期使用之后，炉门容易损坏和腐蚀，造成资源的浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服上述现有技术存在的缺陷，提供一种耐高温程度高、隔热效果好且使用寿命较长的扩散炉用炉门。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种扩散炉用炉门，包括石英门和铝门板，石英门为槽状，铝门板的板面将石英门的槽口遮挡，铝门板和石英门固定连接，石英门的槽底铺设保温棉，石英门的槽壁中部设有向内凸出的凸缘，保温棉填充在凸缘和石英门的槽底之间，且在保温棉和凸缘之间设有用来压制保温棉的压板，铝门板的外板面连接用于打开和关闭整个炉门的移动机构。

所述保温棉的中部设有夹板，夹板和压板平行间距布置，夹板的一侧板面固定螺帽且该侧面向压板，在压板的外侧通过第一螺栓和所述螺帽配合实现压板、保温棉和夹板的紧固连接。

所述石英门内设置固定板，固定板和压板平行间距布置，固定板和铝门板之间通过第二螺栓连接固定，第二螺栓中套设弹簧。

所述铝门板和扩散炉炉口端部配合的位置处布置密封圈。

有益效果：本申请的炉门采用双重门，即石英门和铝门板相结合，具体使用时，石英门延伸到扩散炉内将炉口堵住，铝门板的边缘和扩散炉的炉口端部抵靠在一起实现炉口的密封，由于石英材质的熔点高、耐腐蚀性好、化学性质稳定，适用于扩散炉的高温环境，使得整个炉门的使用寿命较长，石英门和铝门板双重封闭，并且在石英门内部填充保温棉，起到保温效果，使得扩散炉的保温、隔热效果较好。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合图1，对本实用新型作进一步的描述。

一种扩散炉用炉门，包括石英门10和铝门板20，石英门10为槽状，铝门板20的板面将石英门10的槽口遮挡，铝门板20和石英门10固定连接，石英门10的槽底铺设保温棉30，石英门10的槽壁中部设有向内凸出的凸缘11，保温棉30填充在凸缘11和石英门10的槽底之间，且在保温棉30和凸缘11之间设有用来压制保温棉30的压板40，铝门板20的外板面连接用于打开和关闭整个炉门的移动机构。

本申请的炉门采用双重门，即石英门10和铝门板20相结合，具体使用时，石英门10延伸到扩散炉内将炉口堵住，铝门板20的边缘和扩散炉的炉口端部抵靠在一起实现炉口的密封，由于石英材质的熔点高、耐腐蚀性好、化学性质稳定，适用于扩散炉的高温环境，使得整个炉门的使用寿命较长，石英门10和铝门板20双重封闭，并且在石英门10内部填充保温棉30，起到保温效果，使得扩散炉的保温、隔热效果较好。其中移动机构可以采用气缸或其他机构控制铝门板20的旋进、旋出实现炉门的关闭和打开。

进一步的，所述保温棉30的中部设有夹板50，夹板50和压板40平行间距布置，夹板50的一侧板面固定螺帽且该侧面向压板40，在压板40的外侧通过第一螺栓60和所述螺帽配合实现压板40、保温棉30和夹板50的紧固连接。夹板50的设置对保温棉30起到进一步固定的作用。

优选的，所述石英门10内设置固定板70，固定板70和压板40平行间距布置，固定板70和铝门板20之间通过第二螺栓80连接固定，第二螺栓80中套设弹簧，弹簧起到支撑石英门10的作用，使得石英门10前后有弹性，防止石英门10跟扩散炉内的石英管接触时损坏石英管，固定板70的设置便于石英门10和铝门板20之间的连接固定。

进一步的，所述铝门板20和扩散炉炉口端部配合的位置处布置密封圈90。保证铝门板20和炉口的密封配合。

应当理解，以上所描述的具体实施例仅用于解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。由本实用新型的精神所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之中。

Claims (4)

1.一种扩散炉用炉门，其特征在于：包括石英门(10)和铝门板(20)，石英门(10)为槽状，铝门板(20)的板面将石英门(10)的槽口遮挡，铝门板(20)和石英门(10)固定连接，石英门(10)的槽底铺设保温棉(30)，石英门(10)的槽壁中部设有向内凸出的凸缘(11)，保温棉(30)填充在凸缘(11)和石英门(10)的槽底之间，且在保温棉(30)和凸缘(11)之间设有用来压制保温棉(30)的压板(40)，铝门板(20)的外板面连接用于打开和关闭整个炉门的移动机构。

2.根据权利要求1所述的扩散炉用炉门，其特征在于：所述保温棉(30)的中部设有夹板(50)，夹板(50)和压板(40)平行间距布置，夹板(50)的一侧板面固定螺帽且该侧面向压板(40)，在压板(40)的外侧通过第一螺栓(60)和所述螺帽配合实现压板(40)、保温棉(30)和夹板(50)的紧固连接。

3.根据权利要求2所述的扩散炉用炉门，其特征在于：所述石英门(10)内设置固定板(70)，固定板(70)和压板(40)平行间距布置，固定板(70)和铝门板(20)之间通过第二螺栓(80)连接固定，第二螺栓(80)中套设弹簧。

4.根据权利要求3所述的扩散炉用炉门，其特征在于：所述铝门板(20)和扩散炉炉口端部配合的位置处布置密封圈(90)。