CN207848142U - 一种硅片纠正机构 - Google Patents

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许行启
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Abstract

本实用新型涉及一种硅片纠正机构,包括从左往右依次排列的一块第一纠正板、多块第二纠正板、一块第三纠正板,第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板上均开设有由纠正板安装轴串联的安装孔,纠正板安装轴的两头分别螺接有紧固螺母,第二纠正板和所述第三纠正板的左端均设有向左侧突出的长方形凸起部,第一纠正板同与其相邻的第二纠正板之间、相邻的两个第二纠正板之间、第三纠正板同与其相邻的第二纠正板之间形成形状大小相同的纠正槽。本实用新型的有益效果是:该硅片纠正机构中的部分零件出现破损时,只需要对出现破损的零件进行更换,而其他完好的组成结构任可继续使用,从而能够解决在使用过程中零件出现部分破损而整体报废的问题。

Description

一种硅片纠正机构
技术领域
本实用新型涉及硅片制造机械领域,尤其涉及一种硅片纠正机构。
背景技术
现有的硅片纠正机构为整体式设计,因零件的材质采用陶瓷,容易破损,一旦出现破损现象,需要整体更换零件,成本太高。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术存在的以上问题,提供一种硅片纠正机构,该设计能够解决在使用过程中零件出现部分破损而整体报废的问题。
为实现上述技术目的,达到上述技术效果,本实用新型通过以下技术方案实现:
一种硅片纠正机构,包括从左往右依次排列的一块第一纠正板、多块第二纠正板、一块第三纠正板,所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板上均开设有由纠正板安装轴串联的安装孔,所述纠正板安装轴的两头分别螺接有紧固螺母,所述第二纠正板和所述第三纠正板的左端均设有向左侧突出的长方形凸起部,所述第一纠正板同与其相邻的第二纠正板之间、相邻的两个所述第二纠正板之间、所述第三纠正板同与其相邻的第二纠正板之间形成形状大小相同的纠正槽。
其中,所述第一纠正板的顶部右侧、所述第二纠正板的顶部左右两侧、所述第三纠正板的顶部左侧均设有倒角。
其中,所述纠正槽为长方形。
其中,所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板上各自开设有两个位于同一水平高度的安装孔,且所述安装孔的横截面为圆形,所述纠正板安装轴为两端具有外螺纹的圆杆,所述圆杆的两端分别螺接一个紧固螺母。
其中,所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板的中部各自开设有一个安装孔,所述安装孔的横截面为正六边形,所述安装孔中安装有六角螺母,所述纠正板安装轴为螺杆,所述六角螺母均螺接在所述螺杆上,所述螺杆的两端分别螺接一紧固螺母。
其中,所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板的中部各自开设有一个安装孔,所述安装孔的横截面为正六边形,所述纠正板安装轴为两端分别设有一端螺杆的六棱柱,所述六棱柱贯穿在依次排列的第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板的安装孔中。
其中,所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板的纵截面为大小相同的长方形。
其中,所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板均为陶瓷板。
本实用新型的有益效果是:该硅片纠正机构中的部分零件出现破损时,只需要对出现破损的零件进行更换,而其他完好的组成结构任可继续使用,从而能够解决在使用过程中零件出现部分破损而整体报废的问题。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,构成本申请的一部分,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
图1是本实用新型实施例一的整体结构示意图;
图2是本实用新型实施例一中第一纠正板的结构示意图;
图3是本实用新型实施例一中第二纠正板的结构示意图;
图4是本实用新型实施例一中第三纠正板的结构示意图;
图5是本实用新型实施例一中纠正板安装轴的结构示意图;
图6是本实用新型实施例二的整体结构示意图;
图7是本实用新型实施例二中第一纠正板的结构示意图;
图8是本实用新型实施例二中第二纠正板的结构示意图;
图9是本实用新型实施例二中第三纠正板的结构示意图;
图10是本实用新型实施例二中纠正板安装轴的结构示意图;
图11是本实用新型实施例三的整体结构示意图;
图12是本实用新型实施例三中第一纠正板的结构示意图;
图13是本实用新型实施例三中第二纠正板的结构示意图;
图14是本实用新型实施例三中第三纠正板的结构示意图;
图15是本实用新型实施例三中纠正板安装轴的结构示意图。
具体实施方式
下面将参考附图并结合实施例,来详细说明本实用新型。
如图1至5所示的实施例一,一种硅片纠正机构,包括从左往右依次排列的一块第一纠正板1、二十块第二纠正板2、一块第三纠正板3,第一纠正板1、第二纠正板2、第三纠正板3上均开设有由纠正板安装轴串联的安装孔8,纠正板安装轴的两头分别螺接有紧固螺母5,第二纠正板2和第三纠正板3的左端均设有向左侧突出的长方形凸起部9,第一纠正板1同与其相邻的第二纠正板2之间、相邻的两个第二纠正板2之间、第三纠正板3同与其相邻的第二纠正板2之间形成形状大小相同的纠正槽4。
第一纠正板1的顶部右侧、第二纠正板2的顶部左右两侧、第三纠正板3的顶部左侧均设有倒角6。
纠正槽4为长方形。
第一纠正板1、第二纠正板2、第三纠正板3上各自开设有两个位于同一水平高度的安装孔8,且安装孔8的横截面为圆形,纠正板安装轴为两端具有外螺纹10的圆杆7,圆杆7的两端分别螺接一个紧固螺母5。
第一纠正板1、第二纠正板2、第三纠正板3的纵截面为大小相同的长方形。
第一纠正板1、第二纠正板2、第三纠正板2均为陶瓷板。
如图6至10所示的实施例二,一种硅片纠正机构,包括从左往右依次排列的一块第一纠正板1、二十块第二纠正板2、一块第三纠正板3,第一纠正板1、第二纠正板2、第三纠正板3上均开设有由纠正板安装轴串联的安装孔12,纠正板安装轴的两头分别螺接有紧固螺母5,第二纠正板2和第三纠正板3的左端均设有向左侧突出的长方形凸起部9,第一纠正板1同与其相邻的第二纠正板2之间、相邻的两个第二纠正板2之间、第三纠正板3同与其相邻的第二纠正板2之间形成形状大小相同的长方形的纠正槽4。
第一纠正板1的顶部右侧、第二纠正板2的顶部左右两侧、第三纠正板3的顶部左侧均设有倒角6。
第一纠正板1、第二纠正板2、第三纠正板3的中部各自开设有一个横截面为正六边形的安装孔12,每个安装孔12中安装有六角螺母13,纠正板安装轴为螺杆11,六角螺母12均螺接在螺杆11上,螺杆11的两端分别螺接一紧固螺母5。
第一纠正板1、第二纠正板2、第三纠正板3的纵截面为大小相同的长方形。
第一纠正板1、第二纠正板2、第三纠正板2均为陶瓷板。
如图10至15所示的实施例三,一种硅片纠正机构,包括从左往右依次排列的一块第一纠正板1、多块第二纠正板2、一块第三纠正板3,第一纠正板1、第二纠正板2、第三纠正板3上均开设有由纠正板安装轴串联的安装孔16,纠正板安装轴的两头分别螺接有紧固螺母5,第二纠正板2和第三纠正板3的左端均设有向左侧突出的长方形凸起部9,第一纠正板1同与其相邻的第二纠正板2之间、相邻的两个第二纠正板2之间、第三纠正板3同与其相邻的第二纠正板2之间形成形状大小相同的长方形的纠正槽4。
第一纠正板1的顶部右侧、第二纠正板2的顶部左右两侧、第三纠正板3的顶部左侧均设有倒角6。
第一纠正板1、第二纠正板2、第三纠正板3的中部各自开设有一个安装孔16,安装孔16的横截面为正六边形,纠正板安装轴为两端分别设有一端螺杆15的六棱柱14,六棱柱14贯穿在依次排列的第一纠正板1、第二纠正板2、第三纠正板3的安装孔16中。
第一纠正板1、第二纠正板2、第三纠正板3的纵截面为大小相同的长方形。
第一纠正板1、第二纠正板2、第三纠正板2均为陶瓷板。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。

Claims (8)

1.一种硅片纠正机构,其特征在于:包括从左往右依次排列的一块第一纠正板、多块第二纠正板、一块第三纠正板,所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板上均开设有由纠正板安装轴串联的安装孔,所述纠正板安装轴的两头分别螺接有紧固螺母,所述第二纠正板和所述第三纠正板的左端均设有向左侧突出的长方形凸起部,所述第一纠正板同与其相邻的第二纠正板之间、相邻的两个所述第二纠正板之间、所述第三纠正板同与其相邻的第二纠正板之间形成形状大小相同的纠正槽。
2.根据权利要求1所述的硅片纠正机构,其特征在于:所述第一纠正板的顶部右侧、所述第二纠正板的顶部左右两侧、所述第三纠正板的顶部左侧均设有倒角。
3.根据权利要求1所述的硅片纠正机构,其特征在于:所述纠正槽为长方形。
4.根据权利要求1所述的硅片纠正机构,其特征在于:所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板上各自开设有两个位于同一水平高度的安装孔,且所述安装孔的横截面为圆形,所述纠正板安装轴为两端具有外螺纹的圆杆,所述圆杆的两端分别螺接一个紧固螺母。
5.根据权利要求1所述的硅片纠正机构,其特征在于:所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板的中部各自开设有一个安装孔,所述安装孔的横截面为正六边形,所述安装孔中安装有六角螺母,所述纠正板安装轴为螺杆,所述六角螺母均螺接在所述螺杆上,所述螺杆的两端分别螺接一紧固螺母。
6.根据权利要求1所述的硅片纠正机构,其特征在于:所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板的中部各自开设有一个安装孔,所述安装孔的横截面为正六边形,所述纠正板安装轴为两端分别设有一端螺杆的六棱柱,所述六棱柱贯穿在依次排列的第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板的安装孔中。
7.根据权利要求1所述的硅片纠正机构,其特征在于:所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板的纵截面为大小相同的长方形。
8.根据权利要求1所述的硅片纠正机构,其特征在于:所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板均为陶瓷板。
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