CN207765470U - 一种槽式硅片制绒机台载具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种槽式硅片制绒机台载具，包括：载具主体，载具主体的两个侧壁上分别设置一个连接杆，每个连接杆可绕连接在载具主体的一端转动；每个连接杆未连接载具主体的一端分别与一压杆连接，压杆套设在两根连接杆之间；于载具主体的两个侧壁上设置一工作位，两个工作位相互对称，当槽式硅片制绒机台载具装片时，连接杆带动压杆放置在所述工作位上；于载具主体的两个侧壁上设置一闲置位，两个闲置位相互对称，当槽式硅片制绒机台载具闲置时，连接杆带动压杆放置在闲置位上。解决了压杆放置过程中压杆牙齿损坏、疏水涂层受损、污染的问题，并且节约了制程时间，提高了产品的生产效率。

Description

一种槽式硅片制绒机台载具

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种槽式硅片制绒机台载具。

背景技术

在晶硅太阳能电池的生产中，硅片的槽式制绒机台，需使用特定具有良好脱水性的载具。受药液循环的影响，硅片易在载具中移动导致异常发生，所以载具一般都必须使用压杆与之配合。当进入机台前，将压杆压在载具上方，压杆下方的牙齿将硅片分隔开防止相邻硅片接触，同时压杆也起到固定作用，防止硅片制绒过程中上下移动；在进机台前的装片和出机台后的取片时，均需将压杆取下，方可顺利装片、取片进行下一制程，压杆取下后放置在特定位置。

目前的这种方式主要有以下几个问题：1、压杆取下后，放置在压杆放置台上的过程中，易导致压杆牙齿损坏、疏水涂层受损、污染问题。2、制绒前后均需将产品移至压杆放置台附近，进行加、取压杆动作，增加了操作工的工作量，增加了制程时间。

发明内容

本实用新型提供了一种槽式硅片制绒机台载具，通过改变载具结构，减少压杆放置过程中压杆牙齿损坏、疏水涂层受损和污染，同时简化操作，提高效率节约时间。

本实用新型提供了一种槽式硅片制绒机台载具包括：

载具主体，所述载具主体的两个侧壁上分别设置一个连接杆，每个所述连接杆可绕连接在所述载具主体的一端转动；

每个所述连接杆未连接所述载具主体的一端分别与一压杆连接，所述压杆套设在两根所述连接杆之间；

于所述载具主体的两个所述侧壁上设置一工作位，两个所述工作位相互对称，当槽式硅片制绒机台载具装片时，所述连接杆带动所述压杆放置在所述工作位上；

于所述载具主体的两个所述侧壁上设置一闲置位，两个所述闲置位相互对称，当槽式硅片制绒机台载具闲置时，所述连接杆带动所述压杆放置在所述闲置位上。

所述连接杆包括：

第一连接管，一端与所述载具主体连接，所述第一连接管的另一端与一第二连接管套接在一起；

所述第二连接管与所述压杆连接。

所述连接杆未连接所述载具主体的一端与所述压杆可转动连接。

所述工作位为开口向上的椭圆凹槽。

所述闲置位为开口向上的椭圆凹槽。

所述工作位和所述闲置位的槽口为倒角形状。

所述连接杆关于所述载具主体呈中心线对称设置。

所述第一连接管的直径大于所述第二连接管的直径。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型提供了一种槽式硅片制绒机台载具，通过改变载具结构，解决了压杆放置过程中压杆牙齿损坏、疏水涂层受损、污染的问题，并且节约了制程时间，提高了产品的生产效率。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未可以按照比例绘制附图，重点在于示出本实用新型的主旨。

图1为本实用新型一种槽式硅片制绒机台载具的侧面示意图。

图2为本实用新型一种槽式硅片制绒机台载具的正面示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。

如图1所示，本实用新型提供了一种槽式硅片制绒机台载具包括：

载具主体1，载具主体1的两个侧壁上分别设置一个连接杆2，连接杆2与侧壁之间设置一套环，从而使每个连接杆2可绕连接在载具主体1的一端转动。

如图2所示，每个连接杆2未连接载具主体1的一端分别与一压杆6连接，压杆6套设在两根连接杆2之间；

于载具主体1的两个侧壁上设置一工作位7，两个工作位7相互对称，当槽式硅片制绒机台载具装片时，连接杆2带动所述压杆6放置在工作位7上；

于载具主体1的两个侧壁上设置一闲置位5，两个闲置位5相互对称，当槽式硅片制绒机台载具闲置时，连接杆2带动压杆6放置在闲置位5上。

闲置时压杆6放置在闲置位5，压杆6放置在闲置位5时可进行装、取硅片作业。制绒前将压杆6从闲置位5移至工作位7，压杆6在制绒过程中起到固定硅片的作用。制绒结束后，将压杆6从工作位7移至闲置位5转入下一工序，下一工序即可直接取料作业。

连接杆2包括：

第一连接管3，一端与载具主体1连接，第一连接管3的另一端与一第二连接管4套接在一起，使连接杆2可以伸缩改变长度。同时第一连接管3与第二连接管4之间设有一卡扣，用于固定连接杆2的伸缩长度。

第二连接管4与压杆6连接。

第二连接管4与压杆6连接处可以设置一扣环，使得压杆6可以转动。连接杆2未连接载具主体1的一端与压杆6可转动连接，便于当压杆6放置与闲置位5或者工作位7时的固定。

工作位7为开口向上的椭圆凹槽。压杆6放入凹槽后适当旋转压杆6使得压杆6紧扣于凹槽内防止压杆6晃动，达到在制绒时固定硅片的目的。

闲置位5为开口向上的椭圆凹槽。压杆6放入凹槽后适当旋转压杆6使得压杆6紧扣于凹槽内牢固的固定压杆6。在放硅片前或制绒后，将压杆6固定于闲置位5，使操作更加简单，同时也避免压杆6晃动带给工作人员进行操作的不便。

工作位7和闲置位5的槽口为倒角形状。这种倒角的设计方便压杆6放入工作位7或者闲置位5上，同时使压杆6固定硅片更加稳定，防止硅片上下移动影响制绒效果。

连接杆2关于载具主体1呈中心线对称设置，如果两个连接杆2不对称设计，压杆6就会发生偏折，无法起到固定硅片的效果。

槽式硅片制绒机台载具上的每个零件都不能为金属材质，大多采用聚偏氟乙烯(Polyvinylidene Fluoride，PVDF)或奈米氟材质。如果为金属材质则会与槽式硅片制绒机台载具中的药液反应，破坏载具，影响制绒效果。

第一连接管3的直径大于第二连接管4的直径，这样才能使第二连接管套4进第一连接管3中，达到改变连接杆2总长度的效果。

综上所述本实用新型通过改变载具结构，解决了压杆6放置过程中压杆牙齿损坏、疏水涂层受损、污染的问题。并且本实用新型去掉了将产品移至压杆6放置台附近进行加、取压杆6的操作，从而节约了制程时间。同时本实用新型简化了加、取压杆6操作，操作人员不需要再将压杆6放置在其他地方，直接放入闲置位5就可以进行下一步操作，减少工作时间，从而提高了产品的生产效率。

通过说明和附图，给出了具体实施方式的特定结构的典型实施例，基于本实用新型精神，还可作其他的转换。尽管上述实用新型提出了现有的较佳实施例，然而，这些内容并不作为局限。

以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (8)

1.一种槽式硅片制绒机台载具，其特征在于：包括：

载具主体，所述载具主体的两个侧壁上分别设置一个连接杆，每个所述连接杆可绕连接在所述载具主体的一端转动；

每个所述连接杆未连接所述载具主体的一端分别与一压杆连接，所述压杆套设在两根所述连接杆之间；

于所述载具主体的两个所述侧壁上设置一工作位，两个所述工作位相互对称，当槽式硅片制绒机台载具装片时，所述连接杆带动所述压杆放置在所述工作位上；

于所述载具主体的两个所述侧壁上设置一闲置位，两个所述闲置位相互对称，当槽式硅片制绒机台载具闲置时，所述连接杆带动所述压杆放置在所述闲置位上。

2.根据权利要求1所述的槽式硅片制绒机台载具，其特征在于：所述连接杆包括：

第一连接管，一端与所述载具主体连接，所述第一连接管的另一端与一第二连接管套接在一起；

所述第二连接管与所述压杆连接。

3.根据权利要求1所述的槽式硅片制绒机台载具，其特征在于：所述连接杆未连接所述载具主体的一端与所述压杆可转动连接。

4.根据权利要求1所述的槽式硅片制绒机台载具，其特征在于：所述工作位为开口向上的椭圆凹槽。

5.根据权利要求1所述的槽式硅片制绒机台载具，其特征在于：所述闲置位为开口向上的椭圆凹槽。

6.根据权利要求1所述的槽式硅片制绒机台载具，其特征在于：所述工作位和所述闲置位的槽口为倒角形状。

7.根据权利要求1所述的槽式硅片制绒机台载具，其特征在于：所述连接杆关于所述载具主体呈中心线对称设置。

8.根据权利要求2所述的槽式硅片制绒机台载具，其特征在于：所述第一连接管的直径大于所述第二连接管的直径。