CN207623628U - 一种基于mems振镜的准直系统及激光雷达 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种基于MEMS振镜的准直系统及激光雷达，所述基于MEMS振镜的准直系统，包括：激光发射单元，用于发射调制激光光束；前置光束整形单元，用于对激光发射单元发射的激光进行整形；MEMS振镜扫描单元，用于利用MEMS振镜对所述前置光束整形单元整形后的光束进行谐振反射后对待测物平面进行视场扫描；后置准直单元，用于将经过所述MEMS振镜扫描单元反射后的光束进行二次整形，使经过MEMS振镜偏转后的边缘光束和中心光束在后置准直单元的入瞳处光程相等。本实用新型提供的基于MEMS振镜的准直系统，能够提高系统的能量耦合效率，减小光束发散角和系统体积，同时使得中心视场和边缘视场的测距能力均匀一致。
Description
技术领域
本实用新型涉及激光雷达技术领域，具体涉及一种基于MEMS振镜的准直系统及激光雷达。
背景技术
激光雷达技术作为无人驾驶汽车的关键核心技术之一，因测距精度高，响应快，方向性强，不受地面杂波影响等优势，且能有效提供车辆决策与控制系统所需之信息，成为目前无人驾驶环境感测最有效方案。
目前，利用激光雷达技术进行探测时，通常利用机械旋转装置，并且利用多个发射激光器和多个接收探测器实现多线扫描，将激光器放置在一个可以进行匀速旋转的旋转台上，同时控制激光器发射激光光束扫描目标物，并对应记录方位信息，这样会导致扫描频率低以及角度分辨率差，且系统结构也较为复杂，影响系统整体的稳定性。对于上述问题的存在，人们在不断寻找稳定性高、分辨率高、结构简单的激光雷达，由此，基于MEMS的激光雷达逐渐发展起来。
但基于MEMS的激光雷达存在许多问题，关于发射系统能量耦合效率和出射光斑大小就是其中关键性的问题之一。由于MEMS振镜要实现较高的振动频率，因此其镜面尺寸不能太大，通常的MEMS振镜镜面尺寸为直径为1mm到2mm的圆。激光器发出的激光通常需要对光束进行准直整形，但准直整形后的光斑口径尺寸相比MEMS振镜镜面尺寸要大的多，光斑不能全部出射在MEMS振镜上，这样就导致系统能量耦合效率低，这样基于MEMS的激光雷达的测距能力就会大打折扣。因此，目前市面上有采用光束质量较好的固体激光器来作为光源的方案，这样就保证了较高的能量耦合效率。但由于固体激光器需要制冷系统，通常尺寸、体积都很大，这样就导致了整个激光雷达系统的尺寸很大，且固体激光器造价相对较昂贵，因此该方案降低了产品的应用性。
基于MEMS的激光雷达要求尺寸很小，一般会采用性价比较高的半导体激光器，但半导体激光器的固有像散导致其快慢轴发光面不在同一平面上，在进行光路准直整形时，不能同时将快慢轴的光束准直整形好，这样就会导致在远处的光斑发散，其结果为测距能力不足，并且系统分辨率低。
实用新型内容
针对现有技术中的缺陷，本实用新型提供一种基于MEMS振镜的准直系统及激光雷达，本实用新型能够提高系统的能量耦合效率，减小光束发散角，同时使得中心视场和边缘视场的测距能力均匀一致。
为实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案：
第一方面，本实用新型提供了一种基于MEMS振镜的准直系统，包括：
激光发射单元，用于发射调制激光光束；
前置光束整形单元，用于对激光发射单元发射的激光进行整形；
MEMS振镜扫描单元，用于利用MEMS振镜对所述前置光束整形单元整形后的光束进行谐振反射后对待测物平面进行视场扫描；
后置准直单元，用于将经过所述MEMS振镜扫描单元反射后的光束进行二次整形，使经过MEMS振镜偏转后的边缘光束和中心光束在后置准直单元的入瞳处光程相等。
优选地，所述后置准直单元包括：复曲面镜；
所述复曲面镜用于将经过所述MEMS振镜扫描单元反射后的光束进行二次整形，使经过MEMS振镜偏转后的边缘光束和中心光束在复曲面镜的入瞳处光程相等。
优选地，激光发射单元包括：半导体激光器和半导体激光器驱动单元；所述半导体激光器驱动单元用于对所述半导体激光器所发出的光束进行调制。
优选地，所述前置光束整形单元包括：整形透镜；所述整形透镜用于对所述激光发射单元发出的光束进行整形。
优选地，所述整形透镜由至少一片非球面或自由曲面的透镜或者多片普通透镜组成。
优选地，所述前置光束整形单元还包括：封装在激光发射单元光束出射口处的微透镜；所述微透镜用于对所述激光发射单元发出的光束进行初步整形。
优选地，所述前置光束整形单元还包括：视场光阑；所述视场光阑用于限制整形后的光束光斑大小，使出射光束能够全部入射到 MEMS振镜上，拦截多余的杂散光。
优选地，所述MEMS振镜扫描单元包括：MEMS振镜扫描部件和 MEMS扫描驱动部件；所述MEMS扫描驱动部件用于驱动控制所述 MEMS振镜扫描部件；所述MEMS扫描驱动部件的驱动方式包括压电驱动、电热驱动、静电驱动和电磁驱动中的一种或多种。
优选地，所述MEMS振镜扫描部件由单片或多片MEMS振镜阵列组成，所述单片或多片MEMS振镜阵列依据对应的扫描驱动信号分别对整形后的光束进行扫描反射。
第二方面，本实用新型还提供了一种激光雷达，包括上面所述的基于MEMS振镜的准直系统。
由上述技术方案可知，本实用新型提供的基于MEMS振镜的准直系统，设置了后置准直单元，用于将经过所述MEMS振镜扫描单元反射后的光束进行二次整形，使经过MEMS振镜偏转后的边缘光束和中心光束在后置准直单元的入瞳处光程相等。可见，本实用新型能够提高系统的能量耦合效率，减小光束发散角，使得中心视场和边缘视场的测距能力一致，提高了系统在边缘视场的探测能力。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型实施例提供的基于MEMS振镜的准直系统的结构示意图；
图2是本实用新型实施例提供的采用复曲面镜实现后置准直单元功能的结构示意图；
图3是本实用新型实施例提供的基于MEMS振镜的准直系统的工作原理示意图；
图4是本实用新型实施例提供的基于MEMS振镜的准直系统在慢轴方向上的原理效果图；
图5是本实用新型实施例提供的基于MEMS振镜的准直系统在快轴方向上的原理效果图；
其中，上面各图中的标号含义如下：
101表示激光发射单元；102表示前置光束整形单元；103表示 MEMS振镜单元；104表示后置准直单元；105表示目标待测物；201 表示半导体激光器；202表示微透镜；203表示整形透镜；204表示视场光阑；205表示MEMS振镜；206表示复曲面镜；207表示目标待测物平面。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型实施例提供了一种基于MEMS振镜的准直系统，参见图1，该准直系统包括：激光发射单元101、前置光束整形单元102、 MEMS振镜扫描单元103和后置准直单元104，其中：
激光发射单元101，用于发射调制激光光束；
前置光束整形单元102，用于对激光发射单元101发射的激光进行整形；
MEMS振镜扫描单元103，用于利用MEMS振镜对所述前置光束整形单元102整形后的光束进行谐振反射后对待测物平面进行视场扫描；
后置准直单元104，用于将经过所述MEMS振镜扫描单元103反射后的光束进行二次整形，使经过MEMS振镜偏转后的边缘光束和中心光束在后置准直单元的入瞳处光程相等。
进一步地，所述激光发射单元101包括：半导体激光器和半导体激光器驱动单元；所述半导体激光器驱动单元用于对所述半导体激光器所发出的光束进行调制。
进一步地，所述前置光束整形单元102包括：整形透镜；所述整形透镜用于对所述半导体激光器201发出的光束进行整形。优选地，所述整形透镜由至少一片非球面或自由曲面的透镜或者多片普通透镜组成。
进一步地，为了对所述激光发射单元101发出的光束进行初步整形，所述前置光束整形单元102还包括：封装在激光发射单元出射口处的微透镜；所述微透镜用于对激光发射单元发出的光束进行初步整形。
进一步地，为了限制整形后的光束光斑大小，使出射光束能够全部入射到MEMS振镜上，拦截多余的杂散光，所述前置光束整形单元 102还包括：视场光阑；所述视场光阑用于限制整形后的光束光斑大小，使出射光束能够全部入射到MEMS振镜上，拦截多余的杂散光。
进一步地，所述MEMS振镜扫描单元103包括：MEMS振镜扫描部件和MEMS扫描驱动部件，所述MEMS扫描驱动部件用于驱动控制所述MEMS振镜扫描部件；所述MEMS扫描驱动部件的驱动方式包括压电驱动、电热驱动、静电驱动和电磁驱动中的一种或多种。可以理解的是，根据实际扫描时场范围的大小，所述MEMS振镜扫描部件可以由单片或多片MEMS振镜阵列组成，所述单片或多片MEMS 振镜阵列依据对应的扫描驱动信号分别对整形后的光束进行扫描反射。
参见图1，由激光发射单元101发出的激光经过前置光束整形单元 102进行光束整形后，入射到MEMS振镜扫描单元103，经过MEMS 振镜扫描单元103谐振反射后的激光经过后置准直单元104进行再次整形，经过第二次整形的光束出射到目标待测物105，形成一个预设大小的光斑，MEMS振镜扫描单元103按照一定的信号规律摆动后，使出射光斑在目标待测物105上形成有规律的探测点，即完成了对目标待测物105的扫描。
需要说明的是，由于激光发射单元采用半导体激光器，因此本实施例提供的光束准直整形原理是在两个方向上进行处理，即半导体激光器的快轴和慢轴分别对光束进行准直整形。
由上面的描述可知，本实施例提供的基于MEMS振镜的准直系统，设置了后置准直单元，用于将经过所述MEMS振镜扫描单元反射后的光束进行二次整形，使经过MEMS振镜偏转后的边缘光束和中心光束在后置准直单元的入瞳处光程相等。可见，本实用新型能够提高系统的能量耦合效率，减小光束发散角，使得中心视场和边缘视场的测距能力均匀一致，提高了系统在边缘视场的探测能力。
在本实用新型的一个优选实施例中，如图2所示，所述后置准直单元104优选采用复曲面镜实现，具体地，所述复曲面镜用于将经过所述MEMS振镜扫描单元反射后的光束进行二次整形，使经过MEMS 振镜偏转后的边缘光束和中心光束在复曲面镜的入瞳处光程相等。
进一步地，参见图3所示的基于MEMS振镜的准直系统的工作原理示意图。光束从半导体激光器201出射，进入微透镜202，被初步压缩的光束进入整形透镜203，光束从整形透镜203出射后进入MEMS 振镜205，在入射到MEMS振镜205之前，光束被视场光阑204拦截掉边缘的杂散光。光束被MEMS振镜205反射后进入复曲面镜206，进行二次整形，使经过MEMS振镜偏转后的边缘光束和中心光束在复曲面镜的入瞳处光程相等。最终光束从复曲面镜206出射并达到目标待测物平面207上。MEMS振镜205在这一过程中按照一定规律的摆动，从而完成了对目标待测物平面207的扫描。
进一步地，参见图4所示的基于MEMS振镜的准直系统在慢轴方向上的原理效果图。半导体激光器201发射的激光光束经过前置整形单元的微透镜202后，光束发散角被初步压缩，提高了进入下一整形透镜203的能量。被初步压缩的光束进入整形透镜203后，由于此时快轴方向的光束被准直整形成平行光，并且半导体激光器的慢轴光敏面在前，快轴光敏面在后，慢轴光敏面距整形透镜203的距离相比快轴光敏面更远，因此慢轴形成汇聚光束，并在MEMS振镜205上形成最小的汇聚点。与此同时，光束在入射到MEMS振镜205之前，经过一视场光阑204，光束边缘部分的杂散光被拦截掉，提高了光束质量。
由图4可知，在慢轴方向，光束经过MEMS振镜205后变成发散光束，如果不加处理，在远距离处，光束发散角大，光斑能量不集中，能量效率低。鉴于此，光束在经过MEMS振镜205后，进入复曲面镜 206，复曲面镜206在慢轴方向上可等效于一片或一组只在慢轴方向上有曲率的柱面镜，对光斑进行第二次准直整形。这样，光束在经过复曲面镜206后形成发散角较小的光斑出射到目标待测物平面207上。
进一步地，参见图5所示的基于MEMS振镜的准直系统在快轴方向上的原理效果图。在快轴方向上，半导体激光器201发出的激光经过微透镜202后，同样被初步压缩，使其光束能量尽可能的进入整形透镜203。光束在经过整形透镜203后就形成了准直光束并入射到MEMS振镜205上。光束在经过MEMS振镜205后出射到复曲面镜 206。
由图5可知，在快轴方向上，复曲面镜206可等效于一弯曲的平板玻璃，MEMS振镜205上光斑的汇聚点为复曲面镜206的曲率中心处。在快轴方向上，由于MEMS振镜的摆动，光束经过复曲面镜206 的各个区域并进行扫描，形成中心视场和边缘视场。由于复曲面镜206的弯曲形状，使其各个部分距离MEMS振镜上的光斑出射点的光程相等，这样各个视场的光学像差也大小一致，由此带来的好处是光斑的中心视场和边缘视场的发散角一致，从而提高了系统在边缘视场的探测能力，各视场的测距能力均匀一致。
由图5可知，在快轴方向上，从MEMS振镜205上出射的光斑在边缘视场处相比非弯曲的平板，光线能够更快的入射到平板，因此复曲面镜206的尺寸可以更小。MEMS振镜205需要进行大视场的摆动，因此在MEMS振镜205后的复曲面镜206为本实施例中尺寸最大的一个模块，所以复曲面镜206尺寸减小，整个系统的体积也相应的跟着减小。
根据图3～图5以及上面的分析可知，所述复曲面镜的第一面(正对从MEMS振镜扫描单元射出的光束的一面)可等效为柱面，只对光束的一个方向(快轴方向)进行处理；所述的复曲面镜的第二面(与第一面相对的一面)在两个方向(快轴和慢轴)可分别等效为柱面，分别对光线的两个方向进行处理，其中第二面在快轴方向上等效为柱面的曲率与第一面的曲率相同。
通过上面分析可以获知，由于半导体激光器的光束发散角较大，故通常需要在后面加一光束整形单元，但由于MEMS振镜的镜面尺寸较小，而半导体激光器后面的光束整形单元为了收集半导体激光器的光束能量，口径不会太小，这样就导致光束入射到MEMS振镜上时，只有小部分的能量被MEMS振镜接收，大部分能量没有入射到MEMS 振镜上，能量耦合效率低。为解决该问题，可以通过相应的光路设计，将经过光束整形单元后的光束呈现汇聚状态，并在MEMS振镜上形成汇聚点，这样就能能够将大部分能量接收利用，提高能量耦合效率。但在这种情况下，由于入射到MEMS振镜上的光斑为汇聚光束，在离开MEMS振镜时就会变成发散的光束，如果直接出射到远处，发散角很大，能量不集中，如果配合其他接收系统，信号会非常低。为了解决光束经过MEMS振镜后发散角大的问题，现有技术一般会在MEMS 振镜后设置平凸柱透镜或其他平面镜进行二次整形，但由于MEMS振镜需要进行大视场的扫描，所以为了将扫描光线全部收集并出射， MEMS振镜后的平凸柱透镜在扫描方向上的尺寸会很大，这一点不满足激光雷达对尺寸的要求。此外，平凸柱透镜也无法同时解决快慢轴上光束准直整形的问题。
为此，本实用新型实施例在MEMS振镜后加增加一复曲面镜，用于对慢轴方向的光斑进行第二次整形，使光束发散角变小，远处光斑能量集中。同时在快轴方向上，由于复曲面镜的弯曲形状，使其各个部分距离MEMS振镜上的光斑出射点的光程相等，由此带来的好处是光斑的中心视场和边缘视场的发散角一致，从而提高了系统在边缘视场的探测能力，使得各视场的测距能力均匀一致。同时，由于复曲面镜为两边弯曲的形状，这样边缘视场的光线能够快速的进入后置准直单元，这种弯曲的形状缩小了后置准直单元的尺寸，同时也就减小了整个系统的体积。
可见，本实施例提供的基于MEMS振镜的准直系统，采用复曲面镜进行光束二次整形，极大简化了激光雷达系统的尺寸和结构，减小了激光雷达的重量和体积，同时使得系统整体具有较高的角度分辨率和扫描频率，并且易于集成，有利于推动激光雷达技术向小型化、轻型化和集成化方向发展。
本实用新型另一实施例还提供了一种激光雷达，包括上述实施例所述的基于MEMS振镜的准直系统。
本实施例提供的激光雷达由于包括上述实施例所述的基于MEMS 振镜的准直系统，因此其技术原理和有益效果类似，此处不再赘述。
以上实施例仅用于说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (10)
1.一种基于MEMS振镜的准直系统，其特征在于，包括：
激光发射单元，用于发射调制激光光束；
前置光束整形单元，用于对激光发射单元发射的激光进行整形；
MEMS振镜扫描单元，用于利用MEMS振镜对所述前置光束整形单元整形后的光束进行谐振反射后对待测物平面进行视场扫描；
后置准直单元，用于将经过所述MEMS振镜扫描单元反射后的光束进行二次整形，使经过MEMS振镜偏转后的边缘光束和中心光束在后置准直单元的入瞳处光程相等。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述后置准直单元包括：复曲面镜；
所述复曲面镜用于将经过所述MEMS振镜扫描单元反射后的光束进行二次整形，使经过MEMS振镜偏转后的边缘光束和中心光束在复曲面镜的入瞳处光程相等。
3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，激光发射单元包括：半导体激光器和半导体激光器驱动单元；所述半导体激光器驱动单元用于对所述半导体激光器所发出的光束进行调制。
4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述前置光束整形单元包括：整形透镜；所述整形透镜用于对所述激光发射单元发出的光束进行整形。
5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述整形透镜由至少一片非球面或自由曲面的透镜或者多片普通透镜组成。
6.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述前置光束整形单元还包括：封装在激光发射单元光束出射口处的微透镜；所述微透镜用于对所述激光发射单元发出的光束进行初步整形。
7.根据权利要求4或6所述的系统，其特征在于，所述前置光束整形单元还包括：视场光阑；所述视场光阑用于限制整形后的光束光斑大小，使出射光束能够全部入射到MEMS振镜上，拦截多余的杂散光。
8.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述MEMS振镜扫描单元包括：MEMS振镜扫描部件和MEMS扫描驱动部件；所述MEMS扫描驱动部件用于驱动控制所述MEMS振镜扫描部件；所述MEMS扫描驱动部件的驱动方式包括压电驱动、电热驱动、静电驱动和电磁驱动中的一种或多种。
9.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，所述MEMS振镜扫描部件由单片或多片MEMS振镜阵列组成，所述单片或多片MEMS振镜阵列依据对应的扫描驱动信号分别对整形后的光束进行扫描反射。
10.一种激光雷达，其特征在于，包括如权利要求1～9任一项所述的基于MEMS振镜的准直系统。
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Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108983197A (zh) * | 2018-08-15 | 2018-12-11 | 武汉煜炜光学科技有限公司 | 基于mems微镜的三维扫描激光雷达 |
| CN109870825A (zh) * | 2017-12-01 | 2019-06-11 | 北京万集科技股份有限公司 | 一种基于mems振镜的准直系统及激光雷达 |
| CN109950793A (zh) * | 2019-05-10 | 2019-06-28 | 苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 | 基于mems微镜扫描的vcsel点阵光源系统 |
| CN109980502A (zh) * | 2019-05-10 | 2019-07-05 | 苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 | 基于mems微镜扫描的vcsel单发光点光源系统 |
| CN110398752A (zh) * | 2019-08-05 | 2019-11-01 | 昂纳信息技术（深圳）有限公司 | 一种多视场的激光雷达系统 |
| CN111077721A (zh) * | 2018-10-19 | 2020-04-28 | 宁波舜宇车载光学技术有限公司 | 车灯投影装置及其投影方法 |
| CN111263898A (zh) * | 2018-09-30 | 2020-06-09 | 深圳市大疆创新科技有限公司 | 一种光束扫描系统、距离探测装置及电子设备 |
| CN111381218A (zh) * | 2018-12-27 | 2020-07-07 | 余姚舜宇智能光学技术有限公司 | 一种混合固态激光雷达及其制造方法和探测方法 |
-
2017
- 2017-12-01 CN CN201721651192.8U patent/CN207623628U/zh active Active
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109870825A (zh) * | 2017-12-01 | 2019-06-11 | 北京万集科技股份有限公司 | 一种基于mems振镜的准直系统及激光雷达 |
| CN108983197A (zh) * | 2018-08-15 | 2018-12-11 | 武汉煜炜光学科技有限公司 | 基于mems微镜的三维扫描激光雷达 |
| CN108983197B (zh) * | 2018-08-15 | 2020-01-24 | 深圳煜炜光学科技有限公司 | 基于mems微镜的三维扫描激光雷达 |
| CN111263898A (zh) * | 2018-09-30 | 2020-06-09 | 深圳市大疆创新科技有限公司 | 一种光束扫描系统、距离探测装置及电子设备 |
| CN111077721A (zh) * | 2018-10-19 | 2020-04-28 | 宁波舜宇车载光学技术有限公司 | 车灯投影装置及其投影方法 |
| CN111381218A (zh) * | 2018-12-27 | 2020-07-07 | 余姚舜宇智能光学技术有限公司 | 一种混合固态激光雷达及其制造方法和探测方法 |
| CN111381218B (zh) * | 2018-12-27 | 2022-06-24 | 余姚舜宇智能光学技术有限公司 | 一种混合固态激光雷达及其制造方法和探测方法 |
| CN109950793A (zh) * | 2019-05-10 | 2019-06-28 | 苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 | 基于mems微镜扫描的vcsel点阵光源系统 |
| CN109980502A (zh) * | 2019-05-10 | 2019-07-05 | 苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 | 基于mems微镜扫描的vcsel单发光点光源系统 |
| CN110398752A (zh) * | 2019-08-05 | 2019-11-01 | 昂纳信息技术（深圳）有限公司 | 一种多视场的激光雷达系统 |
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