CN207488531U - 一种高硬度滤光片结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种高硬度滤光片结构，包括滤光片本体，所述滤光片本体的横截面为梯形，所述滤光片本体的一个斜面上镀有膜系层，所述膜系层与所述滤光片本体之间还设有增透膜层，所述增透膜层包括至少一层MgF2膜层和至少一层SiO2膜层，所述SiO2膜层与所述MgF2膜层交替设置，膜系层的上表面还设有一层金刚石晶体膜层。该高硬度滤光片结构在原有滤光片的基础上增加增透膜层，通过增透膜层可使反射光与透射光的能量重新分配，这样可进一步提高滤光片的透光性，满足高精度光电产品的使用需要。设置金刚石晶体膜层，这样滤光片就会具有极高的硬度和良好的机械强度，耐酸碱性非常的好，不易潮解，可以在各种恶略环境下使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及光通信技术领域，特别涉及一种梯形结构的滤光片。
背景技术
光通信是指以光作为信息载体而实现的通信方式，按传输介质的不同可分为大气激光通信和光纤通信两种。光通信具有通信容量大、传输距离长、抗电磁干扰、传输质量佳、信号串扰小、保密性好等优点，是未来传输网络发展的最终目标，具有非常广阔的市场前景。在光通信产品的双向收发器模块中，通过选定波长的雷射讯号，而反射不需要的波段通常采用滤光片（edge filters）实现，可以说滤光片在光通信产品中起着致关重要的作用。
中国实用新型专利（专利号：2011200965001）公开了一种陶瓷基片，该陶瓷基片设置为梯形结构，这样可以避免光电器件发出的光经过陶瓷基片反射后从原路返回，从而可保证光电器件的正常工作。采用这种陶瓷基片制成的滤光片虽然能够避免光的反射，但存在透光性差的问题，因此其使用效果并不能完全满足高精度产品需要，再有现有滤光片机械强度差、不耐酸碱，这在一定程度上也限制了滤光片的使用范围，特别是在军事、航空航天等环境恶劣的场合很难应用因此有必要在对现有的滤光片结构进行改进。
实用新型内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种具有更好透光性能的高硬度滤光片结构结构。
为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种高硬度滤光片结构，包括滤光片本体，所述滤光片本体的横截面为梯形，所述滤光片本体的一个斜面上镀有膜系层，所述膜系层与所述滤光片本体之间还设有增透膜层，所述增透膜层包括至少一层MgF2膜层和至少一层SiO2膜层，所述SiO2膜层与所述MgF2膜层交替设置，所述膜系层的上表面还设有一层金刚石晶体膜层。
优选的，所述膜系层为LHLHL结构，其中H表示TiO2层、L层为SiO2层 。
优选的，所述膜系层各层厚度依次为22nm、34nm、56nm、84nm、112nm。
优选的，所述增透膜层包括两层MgF2膜层和一层SiO2膜层，所述SiO2膜层位于两层MgF2膜层之间。
优选的，所述增透膜层的第一层MgF2膜层厚度为32nm，SiO2膜层厚度为73nm，第二层MgF2膜层厚度为79nm。
优选的，所述滤光片本体的横截面为等腰梯形。
如上所述，本实用新型的高硬度滤光片结构具有以下有益效果：该高硬度滤光片结构在原有滤光片的基础上增加增透膜层，通过增透膜层可使反射光与透射光的能量重新分配，这样可进一步提高滤光片的透光性，满足高精度光电产品的使用需要。设置金刚石晶体膜层，这样滤光片就会具有极高的硬度和良好的机械强度，耐酸碱性非常的好，不易潮解，可以在各种恶略环境下使用。
附图说明
图1为本实用新型实施例滤光片本体的横截面示意图。
图2为本实用新型实施例的膜系层及增透膜层的结构示意图。
元件标号说明：1、滤光片本体；2、增透膜层；21、MgF2膜层；22、SiO2膜层；3、膜系层；31、SiO2层；32、TiO2层；4、金刚石晶体膜层。
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
请参阅图1、2。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
如图1所示，本实用新型提供一种高硬度滤光片结构，其包括滤光片本体1，滤光片本体1的横截面为梯形，在滤光片本体1的一个斜面上镀有膜系层3，膜系层3与滤光片本体1之间还设有增透膜层2，增透膜层2包括至少一层MgF2膜层21和至少一层SiO2膜层22，SiO2膜层22与MgF2膜层21交替设置。在膜系层3的上表面还设有一层金刚石晶体膜层4。
如图2所示，作为一种具体实施方式，膜系层为LHLHL结构，其中H表示TiO2层、L层为SiO2层 。第1层SiO2层31的厚度为22nm，第1层TiO2层32的厚度为34nm，第2层SiO2层31的厚度为56nm，第2层TiO2层32的厚度为84nm，第3层SiO2层31的厚度为112nm （按图中由下向上方向）。增透膜层2包括两层MgF2膜层21和一层SiO2膜层22，SiO2膜层22位于两层MgF2膜层21之间。增透膜层的第一层MgF2膜层21厚度为32nm，SiO2膜层22厚度为73nm，第二层MgF2膜层厚度为79nm（按图中由下向上方向），金刚石晶体膜层4的厚度为80nm。
作为一种优选实施方式，滤光片本体1的横截面采用等腰梯形，这样在镀膜时无需选择滤光片的方向，可在任意一个斜面上进行镀膜，可有效提高镀膜效率。
该高硬度滤光片结构在原有滤光片的基础上增加增透膜层，通过增透膜层可使反射光与透射光的能量重新分配，这样可进一步提高滤光片的透光性，满足高精度光电产品的使用需要。设置金刚石晶体膜层，这样滤光片就会具有极高的硬度和良好的机械强度，耐酸碱性非常的好，不易潮解，可以在各种恶略环境下使用。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
Claims (7)
1.一种高硬度滤光片结构，包括滤光片本体，所述滤光片本体的横截面为梯形，所述滤光片本体的一个斜面上镀有膜系层，其特征在于：所述膜系层与所述滤光片本体之间还设有增透膜层，所述增透膜层包括至少一层MgF2膜层和至少一层SiO2膜层，所述SiO2膜层与所述MgF2膜层交替设置，所述膜系层的上表面还设有一层金刚石晶体膜层。
2.根据权利要求1所述的一种高硬度滤光片结构，其特征在于：所述膜系层为LHLHL结构，其中H表示TiO2层、L层为SiO2层。
3.根据权利要求2所述的一种高硬度滤光片结构，其特征在于：所述膜系层各层厚度依次为22nm、34nm、56nm、84nm、112nm。
4.根据权利要求1所述的一种高硬度滤光片结构，其特征在于：所述增透膜层包括两层MgF2膜层和一层SiO2膜层，所述SiO2膜层位于两层MgF2膜层之间。
5.根据权利要求4所述的一种高硬度滤光片结构，其特征在于：所述增透膜层的第一层MgF2膜层厚度为32nm，SiO2膜层厚度为73nm，第二层MgF2膜层厚度为79nm。
6.根据权利要求1所述的一种高硬度滤光片结构，其特征在于：所述金刚石晶体膜层的厚度为80nm。
7.根据权利要求1至6任意一项权利要求所述的一种高硬度滤光片结构，其特征在于：所述滤光片本体的横截面为等腰梯形。
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| CN109212642A (zh) * | 2018-10-19 | 2019-01-15 | 苏州文迪光电科技有限公司 | 一种新型滤光片结构 |
| CN109212646A (zh) * | 2018-10-19 | 2019-01-15 | 苏州文迪光电科技有限公司 | 一种滤光片镀膜工艺 |
| CN111263028A (zh) * | 2018-11-30 | 2020-06-09 | 中芯集成电路（宁波）有限公司 | 摄像组件及其封装方法、镜头模组、电子设备 |
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2017
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