CN207407823U - 一种大视场样本厚度测量装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种大视场样本厚度测量装置，包括依次排列设置的光源、散射板、滤光片、成像镜头和相机，在进行样本厚度测量时，样本放置在所述滤光片和成像镜头之间。本实用新型一种大视场样本厚度测量装置利用光在均匀介质中传输，其出射光强度遵循比尔—朗伯定律，并根据比尔—朗伯定律计算出样本的厚度；本实用新型结构简单，可以针对光学玻璃、薄膜等均匀性透射器件，基于透过率检测，可实现大视场内样本的厚度测量，针对厚度为毫米级的样本，测量精度可达到亚微米量级。
Description
技术领域
本实用新型涉及光学器件厚度测量装置，具体涉及一种大视场样本厚度测量装置。
背景技术
现有的光学器件厚度的测量装置较为复杂，成本高，且测量精度不高。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构简单、测量精度高的大视场样本厚度测量装置。
本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种大视场样本厚度测量装置，包括依次排列设置的光源、散射板、滤光片、成像镜头和相机，在进行样本厚度测量时，样本放置在所述滤光片和成像镜头之间。
在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。
进一步，所述光源为LED白光源。
进一步，所述样本为均匀性透射器件。
进一步，所述均匀性透射器件具体为光学玻璃或薄膜。
进一步，所述光学玻璃或薄膜的厚度为毫米级。
进一步，所述样本为光谱透过率已知的样本。
进一步，还包括用于测量所述样本的光谱透过率的光谱仪。
进一步，所述样本的光谱透过率与所述滤光片的波段相匹配。
本实用新型的有益效果是：本实用新型一种大视场样本厚度测量装置利用光在均匀介质中传输，其出射光强度遵循比尔—朗伯定律，并根据比尔—朗伯定律计算出样本的厚度；本实用新型结构简单，可以针对光学玻璃、薄膜等均匀性透射器件，基于透过率检测，可实现大视场内样本的厚度测量，针对厚度为毫米级的样本，测量精度可达到亚微米量级。
附图说明
图1为本实用新型一种大视场样本厚度测量装置的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。
如图1所示，一种大视场样本厚度测量装置，包括依次排列设置的光源、散射板、滤光片、成像镜头和相机，在进行样本厚度测量时，样本放置在所述滤光片和成像镜头之间。
具体的：
所述光源为LED白光源。LED光源和散射板可以产生均匀的照明。
所述样本为均匀性透射器件。所述均匀性透射器件具体为光学玻璃或薄膜。所述光学玻璃或薄膜的厚度为毫米级。
所述样本为光谱透过率已知的样本；或者本实用新型还包括用于测量所述样本的光谱透过率的光谱仪。所述样本的光谱透过率与所述滤光片的波段相匹配。在本具体实施例中，针对待测样本，使用光谱仪测量其光谱透过率，选择光谱透过率比较小对应的波段，选择该波段对应的滤光片。
本实用新型一种大视场样本厚度测量装置的测量步骤如下：
第一步，按照如图1所示放置样本，调节成像镜头，使相机对样本清晰成像，采集图像I1；
第二步，移除样本，采集图像I2。
本实用新型一种大视场样本厚度测量装置的测量原理如下：
光在均匀介质中传输，其出射光强度遵循比尔—朗伯定律：
I＝I0e-αL
其中，I0和I分别表示入射光强度和出射光强度，α表示吸收系数，L表示传输距离(即样本的厚度)，则样本的厚度可计算如下：
本实用新型一种大视场样本厚度测量装置利用光在均匀介质中传输，其出射光强度遵循比尔—朗伯定律，并根据比尔—朗伯定律计算出样本的厚度；本实用新型结构简单，可以针对光学玻璃、薄膜等均匀性透射器件，基于透过率检测，可实现大视场内样本的厚度测量，针对厚度为毫米级的样本，测量精度可达到亚微米量级。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种大视场样本厚度测量装置，其特征在于：包括依次排列设置的光源、散射板、滤光片、成像镜头和相机，在进行样本厚度测量时，样本放置在所述滤光片和成像镜头之间；
所述样本为均匀性透射器件；
所述样本为光谱透过率已知的样本。
2.根据权利要求1所述的一种大视场样本厚度测量装置，其特征在于：所述光源为LED白光源。
3.根据权利要求1或2所述的一种大视场样本厚度测量装置，其特征在于：所述均匀性透射器件具体为光学玻璃或薄膜。
4.根据权利要求3所述的一种大视场样本厚度测量装置，其特征在于：所述光学玻璃或薄膜的厚度为毫米级。
5.根据权利要求1或2所述的一种大视场样本厚度测量装置，其特征在于：还包括用于测量所述样本的光谱透过率的光谱仪。
6.根据权利要求1或2所述的一种大视场样本厚度测量装置，其特征在于：所述样本的光谱透过率与所述滤光片的波段相匹配。
Priority Applications (1)
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| CN201721218467.9U CN207407823U (zh) | 2017-09-15 | 2017-09-15 | 一种大视场样本厚度测量装置 |
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| CN207407823U true CN207407823U (zh) | 2018-05-25 |
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ID=62406239
Family Applications (1)
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| CN201721218467.9U Expired - Fee Related CN207407823U (zh) | 2017-09-15 | 2017-09-15 | 一种大视场样本厚度测量装置 |
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|---|---|
| CN (1) | CN207407823U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107687815A (zh) * | 2017-07-31 | 2018-02-13 | 深港产学研基地 | 透光薄膜厚度测量方法、系统及终端设备 |
| CN111150401A (zh) * | 2019-12-30 | 2020-05-15 | 浙江大学 | 一种利用探测出射光强测量组织厚度的方法 |
| CN111649680A (zh) * | 2020-06-03 | 2020-09-11 | 中国科学院微电子研究所 | 厚度测量装置、系统及测量方法 |
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2017
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