CN207318934U - 一种光刻机用光源灯箱 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光刻机用光源灯箱，包括：箱体，包括底板、侧板以及上盖，底板、侧板以及上盖围设出一容纳空间，隔板，以“十”字型布设在所述箱体内，将所述容纳空间分隔为依次相邻的第一隔间、第二隔间、第三隔间以及第四隔间，所述第一隔间对应的所述侧板为门结构，灯座，装设在所述第一隔间内的底板上，紫外线灯，装设在所述灯座上，点火器，位于所述第二隔间内与所述第一隔间共用的隔板上，朝向所述紫外线灯设置为其点火，所述点火器包括一控制开关，以及，电源板，位于第三隔间或所述第四隔间内的隔板上，电源板分别与灯座与点火器电连接，灯座与点火器并联，电源板与紫外线灯相适配。安全系数高，并且结构紧凑。

Description

一种光刻机用光源灯箱

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，尤其指一种光刻机用光源灯箱。

背景技术

光刻是通过光化合反应，将掩膜板上的电路图图形暂时转移到覆盖在半导体镜片上的光刻胶，然后利用光刻胶为掩膜，对下方材料选择性加工，从而在半导体镜片上获得相应的电路图形。在工艺过程中需要提供紫外线光与光刻胶产生化学反应，以便为下一步工艺进行洗边做准备。现有的光源结构存在着安全系数低、结构较大的缺点。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种光刻机用光源灯箱，安全系数高，并且结构紧凑。

本实用新型提供的技术方案如下：一种光刻机用光源灯箱，包括：

箱体，包括底板、侧板以及上盖，所述底板、所述侧板以及所述上盖围设出一容纳空间，

隔板，以“十”字型布设在所述箱体内，将所述容纳空间分隔为依次相邻的第一隔间、第二隔间、第三隔间以及第四隔间，所述第一隔间对应的所述侧板上包括可打开的门结构，

灯座，装设在所述第一隔间内的底板上，

紫外线灯，装设在所述灯座上，

点火器，位于所述第二隔间内，且装设于所述第二隔间与所述第一隔间共用的隔板上，所述点火器朝向所述紫外线灯设置为其点火，并且包括一控制开关，以及，

电源板，位于所述第三隔间或所述第四隔间内的隔板上，所述电源板分别与所述灯座和所述点火器电连接，所述灯座与所述点火器并联，所述电源板与所述紫外线灯相适配。

本技术方案，紫外线灯、点火器以及电源线被隔板隔开放置在不同的隔间内，提高了安全系数。紫外线灯以及点火器设置在隔板上可以减少空间的利用，结构紧凑，同时边缘通过隔板完成相互之间的电连接。点火器与灯座并联，并且点火器另配置一控制开关，使得点火器与灯座可以分别开启，满足不同场景的控制要求。

优选的，所述灯座为螺纹式灯座，所述紫外线灯螺设在所述灯座上。

优选的，所述紫外线灯为250W紫外线灯，所述电源板与所述250W紫外线灯相适配。

优选的，所述紫外线灯为200W紫外线灯，所述电源板与所述200W紫外线灯相适配。

本实用新型提供的一种光刻机用光源灯箱，能够带来以下至少一种有益效果：

1、各结构部件都装设在箱体内部，紫外线灯、点火器以及电源线被隔板隔开放置在不同的隔间内，提高了安全系数。

2、紫外线灯以及点火器设置在隔板上可以减少空间的利用，结构紧凑，同时边缘通过隔板完成相互之间的电连接。

3、点火器与灯座并联，并且点火器另配置一控制开关，使得点火器与灯座可以分别开启，满足不同场景的控制要求。

4、适用于不同机台的灯箱可以使用同瓦数的紫外线灯，这样不同的灯箱可以适用同一瓦数的紫外线灯，方便使用厂商储备。

附图说明

下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对光刻机用光源灯箱的上述特性、技术特征、优点及其实现方式予以进一步说明。

图1是光刻机用光源灯箱的内部结构立体图。

附图标号说明：100、箱体，110、隔板，200、灯座，300、点火器，400、电源板。

具体实施方式

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本实用新型的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。

为使图面简洁，各图中的只示意性地表示出了与本实用新型相关的部分，它们并不代表其作为产品的实际结构。

本实用新型一种光刻机用光源灯箱的实施例，如图1所示，光刻机用光源灯箱包括箱体100，隔板110，灯座200、紫外线灯以及点火器300。

箱体100包括底板、侧板以及上盖，其中底板、侧板以及上盖围设出一容纳空间，为看到灯箱的内部结构，图1中只示出了箱体的底板和一块侧板结构，箱体100优选的可为长方体形状。隔板110以“十”字型布设在箱体100内，将容纳空间分隔为依次相邻的第一隔间、第二隔间、第三隔间以及第四隔间，灯座200，装设在第一隔间内的底板上，而紫外线灯装设在灯座200上，第一隔间对应的侧板为门结构，可以打开第一隔间的门以更换紫外线灯。点火器300位于第二隔间内与第一隔间共用的隔板110上，朝向紫外线灯设置为其点火，点火器300包括一控制开关，电源板400位于第三隔间或第四隔间内的隔板110上，电源板400分别与螺纹式灯座200与点火器300电连接，灯座200与点火器300并联，电源板400与紫外线灯相适配。也即电源板200同时为点火器300和紫外线灯供电，并且灯座200与点火器300并联，点火器300的开闭可以通过控制开关单独控制。示例性的，灯座200为螺纹式灯座200，紫外线灯螺设在灯座200上。

现在市面上常见的两种光刻机台为mark机台和ACT机台，mark机台配备有200W的紫外线灯，ACT机台配备有250W紫外线灯，为了生产需要，使用厂商常常同时配备两种机台，可以使用本实用新型的灯箱结构在两种机台统一使用一种瓦数的紫外线灯，即mark机台和ACT机台都使用200W的紫外线灯或者250W紫外线灯，方便使用厂商使用和更换紫外线灯。

应当说明的是，上述实施例均可根据需要自由组合。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (4)

1.一种光刻机用光源灯箱，包括：

箱体，包括底板、侧板以及上盖，所述底板、所述侧板以及所述上盖围设出一容纳空间，

隔板，以“十”字型布设在所述箱体内，将所述容纳空间分隔为依次相邻的第一隔间、第二隔间、第三隔间以及第四隔间，所述第一隔间对应的所述侧板上包括可打开的门结构，

灯座，装设在所述第一隔间内的底板上，

紫外线灯，装设在所述灯座上，

点火器，位于所述第二隔间内，且装设于所述第二隔间与所述第一隔间共用的隔板上，所述点火器朝向所述紫外线灯设置为其点火，并且包括一控制开关，以及，

电源板，位于所述第三隔间或所述第四隔间内的隔板上，所述电源板分别与所述灯座和所述点火器电连接，所述灯座与所述点火器并联，所述电源板与所述紫外线灯相适配。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机用光源灯箱，包括：所述灯座为螺纹式灯座，所述紫外线灯螺设在所述灯座上。

3.根据权利要求1或2所述的一种光刻机用光源灯箱，包括：所述紫外线灯为250W紫外线灯，所述电源板与所述250W紫外线灯相适配。

4.根据权利要求1或2所述的一种光刻机用光源灯箱，包括：所述紫外线灯为200W紫外线灯，所述电源板与所述200W紫外线灯相适配。