CN207309570U - 一种基于磁流变效应的集群式大平面抛光装置 - Google Patents

一种基于磁流变效应的集群式大平面抛光装置 Download PDF

Info

Publication number
CN207309570U
CN207309570U CN201720935893.8U CN201720935893U CN207309570U CN 207309570 U CN207309570 U CN 207309570U CN 201720935893 U CN201720935893 U CN 201720935893U CN 207309570 U CN207309570 U CN 207309570U
Authority
CN
China
Prior art keywords
polishing
wheel
polishing wheel
container
workpiece
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201720935893.8U
Other languages
English (en)
Inventor
张广
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to CN201720935893.8U priority Critical patent/CN207309570U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN207309570U publication Critical patent/CN207309570U/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

本实用新型涉及一种基于磁流变效应的集群式大平面抛光装置,装置包括工件、定位轮、抛光轮、磁流变液、磨粒、永久磁铁、轴承座、球轴承、转轴、电机、高压喷头、泵、刮块、容器。定位轮有两个,其半径比抛光轮大2mm,其轮廓侧表面直接与工件表面接触,定位轮和抛光轮固定在转轴上,转轴两端通过球轴承与轴承座连接,由电机带动旋转;抛光轮根据工件尺寸分配若干,每个抛光轮分配四个永久磁铁,每个永久磁铁磁极异极排列,相连抛光轮磁极同极排列;磁流变液和磨粒组成抛光液,抛光液通过泵将容箱出口b的抛光液经过高压喷头引流到抛光区域,刮块将抛光轮表面的抛光液由入口a回收到容器中,容器成凹形结构,且回收入口a开口较大,出口b开口较小。

Description

一种基于磁流变效应的集群式大平面抛光装置
技术领域
本实用新型涉及一种大平面抛光装置,尤其是涉及一种基于磁流变效应的集群式大平面抛光装置。
背景技术
超光滑表面抛光技术是超精密加工体系的一个重要组成部分,随着研究的深入以及检测技术的提高,人们对纳米级超光滑表面的形成机理有了更深刻的认识,并开发了许多抛光技术,如传统游离磨料抛光,主要指磨料游离散布在工件与柔性研具之间的工作界面内,通过工件和研具向磨料施加作用力,使磨料在工作界面内滚动和滑动,从工件上去除材料的加工方式,该方法在抛光过程中,磨料的浓度、分布均匀性、运动速度、运动轨迹及滞留时间等无法直接控制;再如弹性发射加工,该方式的核心部件是一个抛光轮,抛光轮与工件之间保持一个微小间隙(大约数十个微米),抛光液充斥于该间隙之内。加工时,抛光轮高速旋转,使微小间隙内形成了一层流体动压抛光膜,从而平衡施加在抛光轮上的压力。磨料在流体动压的作用下与工件表面发生微弱的弹性碰撞实现从工件上去除材料,但是该方法的加工效率极其低下(仅5nm/min),而基于有关文献记载磁流变抛光的材料去除率为2μm/min,其优点是可以通过多步修形来提高面形精度,逐步降低表面粗糙度,且不引入表面及亚表面损伤,但目前关于磁流变抛光装置都需要集成一个抛光液循环装置且抛光效率同比其它抛光方式较低,这不但增大整个抛光装置的尺寸,增加了抛光装置的成本,而且缩短了磁流变抛光的应用范围。基于以上现状,我国抛光技术比较成熟,但在某些细节方面需要优化改善(如缩小抛光装置的整体结构尺寸、降低成本的情况下增加抛光效率等),因此,本实用新型专门针对目前磁流变抛光效率较低的问题,设计了一种基于磁流变效应的集群式大平面抛光装置,希望能够对工程应用起到借鉴作用。
铁磁物质,均为亲水性物质,较易在水中分散。出于抛光效率的考虑,水基的磁流变液在相同磁场中的屈服应力是硅油或煤油等介质的2-4倍,并且水具有水解作用,这对光学加工是极其有利的。为了防止杂质离子对粒子间的双电层干扰,造成粒子间的排斥力减小,影响粒子的分散,选择去离子水作为基载液。而且水具有无毒、无污染、温度适用范围宽、易清洗等优点。因此本装置的抛光液采用铁磁性颗粒的质量分数为81.83%的水基磁流变液,其铁粉直径在2-8μm,磨粒为形状不规则的Al2O3颗粒。
实用新型内容
为实现以上所述抛光装置的功能特点(提高抛光效率),本实用新型提供一种结构简单及原理易懂的一种基于磁流变效应的集群式大平面抛光装置。
本实用新型一种结构简单及原理易懂的一种基于磁流变效应的集群式大平面抛光装置是按如下方式来实现的:该抛光装置是由工件,定位轮,抛光轮,磁流变液,磨粒,永久磁铁,轴承座,球轴承,转轴, 电机,高压喷头,泵,刮块,容器组成;定位轮有两个,其半径比抛光轮的半径大2mm,并安装在抛光轮两端,其轮廓侧表面直接与工件表面接触,定位轮和抛光轮固定在转轴上,转轴两端通过球轴承与轴承座连接,并由电机带动旋转;抛光轮根据工件尺寸分配若干,每个抛光轮分配四个永久磁铁,每个永久磁铁磁极异极排列,抛光轮磁极同极排列;磁流变液和磨粒组成抛光液,抛光液通过泵将容器出口b的抛光液经过高压喷头引流到抛光区域,刮块将抛光轮表面的抛光液由入口a回收到容器中,容器设计成凹形结构,并且回收入口a开口较大,出口b开口较小;磁流变液为铁粉的质量分数为81.83%的水基磁流变液,其铁粉直径在2-8μm,磨粒为形状不规则的Al2O3颗粒。
本实用新型所述的一种基于磁流变效应的集群式大平面抛光装置的积极效果在于:定位轮有两个,其半径比抛光轮的半径大2mm,并安装在抛光轮两端,其轮廓侧表面直接与工件表面接触,定位轮和抛光轮固定在转轴上,提出一种由安装在抛光轮两端的定位轮进行定位的思路及结构;抛光轮根据工件尺寸分配若干,提供一种鲁棒性较好的抛光轮分配策略;每个抛光轮分配四个永久磁铁,每个永久磁铁磁极异极排列,相连抛光轮磁极同极排列,可想而知在这种磁铁布置方式的情况下,磁流变液能够在每个抛光轮表面产生四个柔性球磨头大大增加了工件表面的抛光效率。
附图说明
图1为本实用新型一种基于磁流变效应的集群式大平面抛光装置的结构及原理简图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步详细说明。
在图1中,本实用新型一种基于磁流变效应的集群式大平面抛光装置,该抛光装置是由工件1、定位轮2、抛光轮3、磁流变液4、磨粒5、永久磁铁6、轴承座7、球轴承8、转轴9、电机10、高压喷头13、泵14、刮块15、容器16组成;在抛光过程中工件1能够在图示箭头方向移动,定位轮2有两个,其半径比抛光轮3的半径大2mm,并安装在抛光轮3两端,其轮廓侧表面直接与工件1表面接触,定位轮2和抛光轮3固定在转轴9上,转轴9两端通过球轴承8与轴承座7连接,并由电机10带动旋转,提出一种由安装在抛光轮3两端的定位轮2进行定位的思路及结构;抛光轮3根据工件1尺寸分配若干,提供一种鲁棒性较好的抛光轮3分配策略,每个抛光轮3分配四个永久磁铁6,每个永久磁铁6磁极异极排列,抛光轮3磁极同极排列,提供一种永久磁铁6布置方式的,使得磁流变液4能够在每个抛光轮3表面产生四个柔性球磨头,从而大大增加了工件1表面的抛光效率;磁流变液4和磨粒5组成抛光液12,抛光液12通过泵14将容器16出口b的抛光液12经过高压喷头13引流到抛光区域,刮块15将抛光轮3表面的抛光液12由入口a回收到容器16中,抛光屑11在入口a底部沉淀与抛光液12分离,容器16设计成凹形结构,并且回收入口a开口较大,出口b开口较小;磁流变液4为铁粉的质量分数为81.83%的水基磁流变液,其铁粉直径在2-8μm,磨粒5为形状不规则的Al2O3颗粒。

Claims (1)

1.一种基于磁流变效应的集群式大平面抛光装置,该抛光装置是由工件(1)、定位轮(2)、抛光轮(3)、磁流变液(4)、磨粒(5)、永久磁铁(6)、轴承座(7)、球轴承(8)、转轴(9)、电机(10)、高压喷头(13)、泵(14)、刮块(15)、容器(16)组成;其特征在于:所述定位轮(2)有两个,其半径比抛光轮(3)的半径大2mm,并安装在抛光轮(3)两端,其轮廓侧表面直接与工件(1)表面接触,所述定位轮(2)和抛光轮(3)固定在转轴(9)上,所述转轴(9)两端通过球轴承(8)与轴承座(7)连接,并由电机(10)带动旋转;所述抛光轮(3)根据工件(1)尺寸分配若干,每个抛光轮(3)分配四个永久磁铁(6),每个永久磁铁(6)磁极异极排列,所述抛光轮(3)磁极同极排列;所述磁流变液(4)和磨粒(5)组成抛光液(12),所述抛光液(12)通过泵(14)将容器(16)出口b的抛光液(12)经过高压喷头(13)引流到抛光区域,所述刮块(15)将抛光轮(3)表面的抛光液(12)由入口a回收到容器(16)中,所述容器(16)成凹形结构,并且回收入口a开口较大,出口b开口较小。
CN201720935893.8U 2017-07-23 2017-07-23 一种基于磁流变效应的集群式大平面抛光装置 Expired - Fee Related CN207309570U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201720935893.8U CN207309570U (zh) 2017-07-23 2017-07-23 一种基于磁流变效应的集群式大平面抛光装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201720935893.8U CN207309570U (zh) 2017-07-23 2017-07-23 一种基于磁流变效应的集群式大平面抛光装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN207309570U true CN207309570U (zh) 2018-05-04

Family

ID=62434892

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201720935893.8U Expired - Fee Related CN207309570U (zh) 2017-07-23 2017-07-23 一种基于磁流变效应的集群式大平面抛光装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN207309570U (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110480427A (zh) * 2019-08-28 2019-11-22 绍兴金辉久研科技有限公司 一种超声波振动辅助磁流变超精密抛光装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110480427A (zh) * 2019-08-28 2019-11-22 绍兴金辉久研科技有限公司 一种超声波振动辅助磁流变超精密抛光装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107225441A (zh) 一种基于磁流变效应的集群式大平面抛光装置
CN201120584Y (zh) 磁石回转式抛光机
Jung et al. Magnetorheological finishing process for hard materials using sintered iron-CNT compound abrasives
Wu et al. Study on finishing characteristics of magnetic abrasive finishing process using low-frequency alternating magnetic field
CN104972381B (zh) 一种基于气液固三相磨粒流的超光滑表面流体抛光装置
CN106826411A (zh) 一种凸轮驱动磁体式磁流变流体动压抛光装置及抛光方法
CN106281043B (zh) 一种用于SiC单晶片的磁流变化学机械抛光液及其使用方法
CN110238706B (zh) 一种基于空化和介电泳的多相流抛光方法及抛光系统
CN104551966A (zh) 一种磁流变液自适应平面加工系统
CN107253101B (zh) 基于法向力的水基磁流变封闭式柔性抛光头
CN207309570U (zh) 一种基于磁流变效应的集群式大平面抛光装置
Guo et al. Ultrafine polishing of optical polymer with zirconia-coated carbonyl-iron-particle-based magnetic compound fluid slurry
CN107378648A (zh) 一种基于磁流变效应的工件局部高精度抛光装置
Mahalik et al. Nanofinishing techniques
Xu et al. Material removal mechanism in magnetorheological foam plane finishing
CN204935271U (zh) 一种磁流变抛光设备的磁场发生装置
CN207155394U (zh) 一种基于磁流变效应的工件局部高精度抛光装置
Wang et al. Effect of abrasive on tribological behavior and polishing effect of β-Ga2O3 (100) substrate
Zhang et al. High efficiency and precision grinding of Si3N4 ceramic balls aided by magnetic fluid support using diamond wheels
CN215999771U (zh) 一种磁流变射流辅助变刚度砂轮的抛光装置
CN102658521A (zh) 基于分级结构化复合弹性研抛盘的动压光整方法
Feng et al. Polishing investigation on zirconia ceramics using magnetic compound fluid slurry
CN104999344A (zh) 一种磁流变抛光设备的磁场发生装置
Chen et al. Design of integrated-electrode tool for electrorheological finishing of optical glasses
Feng et al. Investigation on feasibility of polishing concave surfaces using magnetic compound fluid slurry

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20180504

Termination date: 20190723

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee