CN207227594U - 一种大直径单晶炉用热屏连接装置 - Google Patents
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Abstract
一种大直径单晶炉用热屏连接装置，在U形连杆上部通过横向螺栓将籽晶卡头基体固定在U形连杆内；U形连杆的底部设置有带竖直开口孔道的销钉式卡头，在竖直开口孔道内设置有带连接孔的籽晶式吊装连杆，籽晶式吊装连杆的底部设置有固定盘，固定盘的边缘均匀铰接有三个热屏挂件，热屏挂件通过其底部设置的挂件环与热屏的热屏挂钩连接。本实用新型U形连杆的上部与籽晶卡头基体配合连接，下部通过竖直开口孔道与籽晶式吊装连杆上部可拆卸连接，籽晶式吊装连杆底部通过热屏挂件和挂件环与热屏上的热屏挂钩实现热屏的吊装，具有结构简单、操作方便、安全可靠的优点，有效的化解了现有连接方法所存在的不足。
Description
技术领域
本实用新型属于直拉法生产单晶硅领域，具体的说是一种大直径单晶炉用热屏连接装置。
背景技术
切克劳斯基法即直拉法是当今半导体材料制造中应用最广泛的生产方法，该方法通过加热器系统对多晶硅加热使其熔化，再用有固定晶向的籽晶浸入熔体中，通过逐渐降低熔体温度使熔体以籽晶为结晶核结晶生长，同时控制籽晶和熔体的转速、拉速和温度得到满足要求的单晶硅晶体。
为适应大直径单晶的发展，拉晶工艺过程出现了两个较大变化：第一是为增强籽晶的承重能力，籽晶直径由12.5mm增加到17.5mm，籽晶与卡头的连接方式由籽晶一侧刻凹槽、插销钉连接改变为籽晶尾部变径、由变粗形成的圆锥面锁紧卡头；第二是为提高大直径单晶生产的经济性及满足相关质量参数控制的需要必须增加投料量，这就要求封闭热场的热屏必须吊装使用以腾出足够的装料空间。
上述两个变革对现行单晶生产的不利影响有以下两个方面：
一、由于籽晶卡头结构和形状的改变无法与原来的热屏吊装装置对接，热屏不吊装将严重限制装料量；
二、变为锥体籽晶后，取籽晶时必须将组合卡头的头部（由石墨材料制成）取掉然后将籽晶倒推出来，频繁拆装组合卡头容易使螺纹受伤增加断裂风险，籽晶使用一次后融接界面处的直径可能变粗或不光滑，籽晶经常退不出来，这时只能将其敲断，更换籽晶将造成较大损失。
实用新型内容
为了解决由于籽晶直径增加所带来的上述问题，本实用新型提供了一种大直径单晶炉用热屏连接装置，解决上述操作存在的安全隐患，而且不需要拆卸籽晶即可以做到操作方便、简单高效的吊装热屏。
本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种大直径单晶炉用热屏连接装置，包括一U形连杆，U形连杆的上部开口处通过一横向螺栓将籽晶卡头基体的下部固定在U形连杆内；在U形连杆的底部设置有内部具有竖直开口孔道的销钉式卡头，在竖直开口孔道内设置有带连接孔的籽晶式吊装连杆，籽晶式吊装连杆的底部设置有固定盘，固定盘的边缘通过连接螺丝均匀铰接有三个热屏挂件，热屏挂件通过其底部设置的挂件环与热屏的热屏挂钩连接。
本实用新型中，所述U形连杆的两侧壁分别对应设置有螺纹孔和通孔，且螺纹孔和通孔与籽晶卡头基体上设置有的水平通孔处于同一直线上，以使三者与横向螺栓配合将籽晶卡头基体的下部固定在U形连杆内。
本实用新型中，所述销钉式卡头上设置有贯通的固定孔，且该固定孔贯穿竖直开口孔道，在籽晶式吊装连杆上设置有连接孔，该连接孔与固定孔处于同一直线上，且通过一销钉将籽晶式吊装连杆固定在销钉式卡头上的竖直开口孔道内。
本实用新型中，所述籽晶卡头基体的底部设置有卡头基体，环绕卡头基体设置有尖端朝下的锥形籽晶卡头锥体，锥形籽晶卡头锥体的中部设置有尖端朝下的锥形连接腔，且卡头基体的两端分别与籽晶卡头基体和锥形籽晶卡头锥体的锥形连接腔通过螺纹连接，在锥形连接腔内设置有籽晶。
本实用新型中，所述热屏挂钩通过其底部设置的连接片和紧固螺丝固定在热屏上部的内壁上。
本实用新型所述的大直径单晶炉是指籽晶直径为17.5mm及以上的单晶炉。
有益效果：本实用新型通过设置U形连杆，U形连杆的上部通过横向螺栓与籽晶卡头基体配合连接，U形连杆的下部设置内部具有竖直开口孔道的销钉式卡头，竖直开口孔道与籽晶式吊装连杆上部可拆卸连接，籽晶式吊装连杆底部通过热屏挂件和挂件环与热屏上的热屏挂钩实现热屏的吊装，具有结构简单、操作方便、安全可靠的优点，有效的化解了现有连接方法所存在的不足；
另外，在U形连杆的两侧壁分别设置螺纹孔和通孔，这两个孔与籽晶卡头基体上设置有的水平通孔对应，再由横向螺栓穿过螺纹孔、通孔和水平通孔把该U形连杆与籽晶卡头基体连接在一起，单侧螺纹既能防止横向螺栓滑落又方便操作，很方便的实现两者的连接。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
附图标记：1、籽晶卡头基体，2、通孔，3、螺纹孔，4、横向螺栓，5、卡头基体，6、锥形籽晶卡头锥体，7、籽晶，8、U形连杆，9、销钉式卡头，10、销钉，11、固定孔，12、籽晶式吊装连杆，13、固定盘，14、固定盘，15、挂件环，16、热屏挂钩，17、紧固螺丝，18、热屏。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的以及有益效果易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
如图所示，一种大直径单晶炉用热屏连接装置，包括一U形连杆8，U形连杆8的上部开口处通过一横向螺栓4将籽晶卡头基体1的下部固定在U形连杆8内；在U形连杆8的底部设置有内部具有竖直开口孔道的销钉式卡头9，在竖直开口孔道内设置有带连接孔的籽晶式吊装连杆12，籽晶式吊装连杆12的底部设置有固定盘13，固定盘13的边缘通过连接螺丝均匀铰接有三个热屏挂件14，热屏挂件14通过其底部设置的挂件环15与热屏18的热屏挂钩16连接。
以上为本实用新型的基本实施方式，可在以上基础上做进一步的改进、优化和限定：
如，所述U形连杆8的两侧壁分别对应设置有螺纹孔3和通孔2，且螺纹孔3和通孔2与籽晶卡头基体1上设置有的水平通孔处于同一直线上，以使三者与横向螺栓4配合将籽晶卡头基体1的下部固定在U形连杆8内；
又如，所述销钉式卡头9上设置有贯通的固定孔11，且该固定孔11贯穿竖直开口孔道，在籽晶式吊装连杆12上设置有连接孔，该连接孔与固定孔11处于同一直线上，且通过一销钉10将籽晶式吊装连杆12固定在销钉式卡头9上的竖直开口孔道内；
再如，所述籽晶卡头基体1的底部设置有卡头基体5，环绕卡头基体5设置有尖端朝下的锥形籽晶卡头锥体6，锥形籽晶卡头锥体6的中部设置有尖端朝下的锥形连接腔，且卡头基体5的两端分别与籽晶卡头基体1和锥形籽晶卡头锥体6的锥形连接腔通过螺纹连接，在锥形连接腔内设置有籽晶7；
最后，所述热屏挂钩16通过其底部设置的连接片和紧固螺丝17固定在热屏18上部的内壁上。
本实用新型在使用时，将U形连杆8上端的通孔2、螺纹孔3与籽晶卡头基体1上设置的水平通孔对齐，横向螺栓4穿过通孔2、籽晶卡头基体1上的水平通孔、螺纹孔3将U形连杆8与籽晶卡头基体1连在一起；籽晶式吊装连杆12插入U形连杆8下端焊接的销钉式卡头9中，销钉10通过固定孔11将籽晶式吊装连杆12与销钉式卡头9连接在一起，三条热屏挂件14通过连接螺丝与籽晶式吊装连杆12底部的固定盘13铰接，在热屏18上部内壁圆周三等分位置用紧固螺丝17安装三个热屏挂钩16，热屏挂件14下端刻有挂件环15，热屏挂钩16钩在挂件环15上就实现了热屏8的吊装；籽晶卡头基体1通过其上部设有的销孔与单晶炉上轴钢丝绳连在一起，使用该转接设计在热屏吊装时、不用拆卸籽晶就能将热屏连接在单晶炉的上轴上达到吊装的目的。
以上显示和描述了本实用新型的主要特征、基本原理以及本实用新型的优点。本行业技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会根据实际情况有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (5)
1.一种大直径单晶炉用热屏连接装置，其特征在于：包括一U形连杆（8），U形连杆（8）的上部开口处通过一横向螺栓（4）将籽晶卡头基体（1）的下部固定在U形连杆（8）内；在U形连杆（8）的底部设置有内部具有竖直开口孔道的销钉式卡头（9），在竖直开口孔道内设置有带连接孔的籽晶式吊装连杆（12），籽晶式吊装连杆（12）的底部设置有固定盘（13），固定盘（13）的边缘通过连接螺丝均匀铰接有三个热屏挂件（14），热屏挂件（14）通过其底部设置的挂件环（15）与热屏（18）的热屏挂钩（16）连接。
2.根据权利要求1所述的一种大直径单晶炉用热屏连接装置，其特征在于：所述U形连杆（8）的两侧壁分别对应设置有螺纹孔（3）和通孔（2），且螺纹孔（3）和通孔（2）与籽晶卡头基体（1）上设置有的水平通孔处于同一直线上，以使三者与横向螺栓（4）配合将籽晶卡头基体（1）的下部固定在U形连杆（8）内。
3.根据权利要求1所述的一种大直径单晶炉用热屏连接装置，其特征在于：所述销钉式卡头（9）上设置有贯通的固定孔（11），且该固定孔（11）贯穿竖直开口孔道，在籽晶式吊装连杆（12）上设置有连接孔，该连接孔与固定孔（11）处于同一直线上，且通过一销钉（10）将籽晶式吊装连杆（12）固定在销钉式卡头（9）上的竖直开口孔道内。
4.根据权利要求1所述的一种大直径单晶炉用热屏连接装置，其特征在于：所述籽晶卡头基体（1）的底部设置有卡头基体（5），环绕卡头基体（5）设置有尖端朝下的锥形籽晶卡头锥体（6），锥形籽晶卡头锥体（6）的中部设置有尖端朝下的锥形连接腔，且卡头基体（5）的两端分别与籽晶卡头基体（1）和锥形籽晶卡头锥体（6）的锥形连接腔通过螺纹连接，在锥形连接腔内设置有籽晶（7）。
5.根据权利要求1所述的一种大直径单晶炉用热屏连接装置，其特征在于：所述热屏挂钩（16）通过其底部设置的连接片和紧固螺丝（17）固定在热屏（18）上部的内壁上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201721067553.4U CN207227594U (zh) | 2017-08-24 | 2017-08-24 | 一种大直径单晶炉用热屏连接装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721067553.4U CN207227594U (zh) | 2017-08-24 | 2017-08-24 | 一种大直径单晶炉用热屏连接装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN207227594U true CN207227594U (zh) | 2018-04-13 |
Family
ID=61857811
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201721067553.4U Active CN207227594U (zh) | 2017-08-24 | 2017-08-24 | 一种大直径单晶炉用热屏连接装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| CN (1) | CN207227594U (zh) |
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2017
- 2017-08-24 CN CN201721067553.4U patent/CN207227594U/zh active Active
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