CN207182309U - 超声波生物识别装置和电子设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种超声波生物识别装置和电子设备。该超声波生物识别装置包括超声波传感组件和遮挡组件。超声波传感组件包括超声波传感器和吸声层，超声波传感器能够发射超声波，并能够接收超声波的反射波，超声波传感器具有用于检测待检测物的检测区域，吸声层设置在超声波传感器上，并能够吸收超声波传感器未发射至检测区域的超声波；遮挡组件设置在超声波传感组件上，并使超声波传感器的检测区域露出，遮挡组件包括层叠的屏蔽层和遮光层，屏蔽层能够屏蔽电磁波，遮光层能够阻止光线穿过。该超声波生物识别装置能够较为精确的识别。

Description

超声波生物识别装置和电子设备

技术领域

本实用新型涉及超声波识别技术领域，特别涉及一种超声波生物识别装置和电子设备。

背景技术

超声波指纹识别技术能够通过超声波对指纹进行扫描，与传统的指纹识别方式相比，超声波指纹识别可以对指纹进行更深入的分析，即便手指表面沾有污垢亦无碍超声波采样，甚至还能渗透到皮肤表面之下识别出指纹独特的3D特征。即使在手上有水、汗液等情况下，依然能够准确的识别。然而，目前的超声波生物识别装置存在识别功能不够精确的问题。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种识别较为精确的超声波生物识别装置。

此外，还提供一种电子设备。

一种超声波生物识别装置，包括：

超声波传感组件，包括超声波传感器和吸声层，所述超声波传感器能够发射超声波，并能够接收超声波的反射波，所述超声波传感器具有用于检测待检测物的检测区域，所述吸声层设置在所述超声波传感器上，并能够吸收所述超声波传感器未发射至所述检测区域的超声波；及

遮挡组件，设置在所述超声波传感器上，并使所述超声波传感器的检测区域露出，所述遮挡组件包括层叠的屏蔽层和遮光层，所述屏蔽层能够屏蔽电磁波，所述遮光层能够阻止光线穿过。

由于超声波传感器不仅会发射朝屏幕方向传播的超声波，同时也会发射朝远离屏幕的方向传播的超声波，朝屏幕方向传播的超声波接触待检测物后形成的反射波被超声波传感器接收形成图像，但是朝远离屏幕方向传播的超声波若遇到异物等也会发生反射，形成的反射波也能够被超声波传感接收而形成图像，从而影响超声波生物识别装置的识别的精准度，而上述超声波生物识别装置通过在超声波传感器上设置能够吸收超声波的吸声层，以吸收超声波传感器发射的传导至吸声层上的超声波，避免该部分超声波遇到污物反射至超声波传感组件而影响影像的清晰度，再通过在超声波传感组件上设置遮挡组件，并使超声波传感器的检测区域露出，且遮挡组件包括层叠的能够屏蔽电磁波的屏蔽层和能够阻止光线穿过的遮光层，从而遮挡外部光线和屏蔽外部电磁波干扰，以提高超声波生物识别装置识别功能的精准度。

在其中一个实施例中，所述吸声层为铁氧体吸波层或羰基铁吸波层。这些吸波层具有较好的吸声效果，能够很好地将与吸声层接触的超声波吸收掉，且这些材质可以通过丝网印刷、喷涂等方式直接形成在超声波传感器上，无需另外使用胶固定，有利于减小超声波生物识别装置的厚度；且吸声层覆盖在超声波传感器上，能够避免在后续的制作过程中或使用过程中杂物附着在超声波传感器上，而影响超声波生物识别装置的精确度。

在其中一个实施例中，所述吸声层的厚度为10微米～80微米。采用上述吸声层的厚度仅需10微米就能够很好地吸收超声波，有利于减小超声波生物识别装置的体积，而将吸声层的厚度控制在80微米以下，以避免超声波生物识别装置具有较大的厚度，确保超声波生物识别装置具有合适的体积，且可以根据需要在10微米～80微米内调整吸声层的厚度，以实现上述超声波生物识别装置的体积大小的可调节性。

在其中一个实施例中，所述屏蔽层为金属层。金属能够导电，能够很好地屏蔽外部电磁波，以使超声波生物识别装置具有较为精准的识别功能。

在其中一个实施例中，所述金属层为镍铜合金层、发泡铝层或发泡镍层。这些金属层具有较好的屏蔽外部电磁波的效果。

在其中一个实施例中，所述屏蔽层的厚度为20微米～100微米。采用金属层作为屏蔽层，用于屏蔽外部的电磁波，使得其厚度仅需20微米就能够很好地屏蔽外部电磁波，有利于减小超声波生物识别装置的体积，而将屏蔽层的厚度控制在100微米以下，以避免超声波生物识别装置具有较大的厚度，确保超声波生物识别装置具有合适的体积，且可以根据需要在20微米～100微米内调整屏蔽层的厚度，以实现上述超声波生物识别装置的体积大小的可调节性。

在其中一个实施例中，所述遮光层为遮光胶带。遮光胶带不仅能够遮挡外部光线，而且遮光胶带具有粘性，能够直接粘附固定，能够简化超声波生物识别装置的制作，提高生产效率。

在其中一个实施例中，所述遮光层的厚度为20微米～100微米。采用遮光胶带作为遮光层，遮光层的厚度仅需20微米，就能够很好地遮挡外部光线，有利于减小超声波生物识别装置的体积，而将遮光层的厚度控制在100微米以下，以避免超声波生物识别装置具有较大的厚度，确保超声波生物识别装置具有合适的体积，且可以根据需要在20微米～100微米内调整遮光层的厚度，以实现上述超声波生物识别装置的体积大小的可调节性。

在其中一个实施例中，还包括盖板组件，所述盖板组件设置在所述超声波传感器的检测区域上，并遮盖所述检测区域。设置盖板组件能够起到保护超声波传感器的作用，有利于增加超声波传感器的使用寿命。

在其中一个实施例中，所述超声波传感器包括薄膜晶体管及依次层叠于所述薄膜晶体管上的压电层、导电层和声匹配层，所述声匹配层远离所述导电层的一侧为所述检测区域，所述遮挡组件设置在所述薄膜晶体管远离所述压电层的一侧上。该结构的超声波传感器不仅能够实现超声波的发射，还能够实现超声波的反射波的接收，并将反射波转换成电信号，有利于超声波生物识别装置的小型化。

在其中一个实施例中，所述导电层为两层，两层所述导电层依次层叠在所述压电层上，其中，所述声匹配层层叠在远离所述压电层的所述导电层上。由于超声波传感器的导电层通常都是由丝网印刷银浆后制备得到，如果仅仅丝网印刷一层银浆会导致烧结后的银层的表面不平整，不利于电荷的平整，而通过制备两层导电层，能够使远离压电层的导电层具有光滑的表面，有利于电荷的传导。

在其中一个实施例中，所述声匹配层的厚度为20微米～100微米，所述压电层的厚度为8微米～10微米。该厚度的声匹配层和该厚度的压电层能够很好地匹配，以提高超声波生物识别装置的识别功能的精准性。

一种电子设备，包括上述超声波生物识别装置。由于上述超声波生物识别装置的识别较为精确，使得含有上述超声波生物识别装置的电子设备也具有较为精确的识别功能。

附图说明

图1为一实施方式的超声波生物识别装置的剖面图；

图2为另一实施方式的超声波生物识别装置的剖面图；

图3为另一实施方式的超声波生物识别装置的剖面图；

图4为另一实施方式的超声波生物识别装置的剖面图；

图5为另一实施方式的超声波生物识别装置的剖面图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳的实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。

如图1所示，一实施方式的电子设备，例如手机、电脑等，包括超声波生物识别装置100，该超声波生物识别装置100例如可以用于指纹的识别。其中，该超声波生物识别装置100包括盖板组件110、超声波传感组件120、遮挡组件140、柔性电路板150和胶粘层160。

盖板组件110可以镶嵌在电子设备的外壳中，也可以与电子设备的外壳层叠。其中，盖板组件110包括盖板112和油墨层114。

盖板112为透明件。盖板112选自透明玻璃板、石英板、氧化铝板及透明有机板中的一种，这些材质的盖板112不仅具有较为合适的机械强度，并且还能够满足工业设计(ID，Industrial Design)的要求。具体地，盖板112镶嵌在电子设备的外壳中，或者，与电子设备的外壳层叠设置。

油墨层114层叠在盖板112的一个表面上。油墨层114可通过丝网印刷等方式形成在盖板112上。具体地，油墨层114为黑色油墨层或白色油墨层。其中，油墨层114的材质为环氧树脂类油墨，该材质的油墨与空气的声阻相差较大，不会反射超声波，即几乎不会对超声波的传播造成影响。

通过将盖板112设置为透明件，并在盖板112上设置油墨层114，能够使盖板组件110具有所需的色彩，并使盖板组件110具有遮挡外部光线的作用。

超声波传感组件120能够发射超声波，并能够接收超声波的反射波，以对待检测物进行识别。例如，待检测物体可以为手指。其中，超声波传感组件120包括超声波传感器122和吸声层124。

超声波传感器122能够发射超声波，并能够接收超声波的反射波，将反射波转换成电信号。超声波传感器122具有用于检测待检测物的检测区域122a。具体地，盖板组件110设置在超声波传感器122的检测区域122a上，并遮盖检测区域122a。更具体地，盖板组件110的油墨层114层叠在超声波传感器122的检测区域122a上。

其中，超声波传感器122包括薄膜晶体管122b及依次层叠于薄膜晶体管122b上的压电层122c、导电层122d和声匹配层122e。

薄膜晶体管122b上设置有将电信号转换成图像的电路。

压电层122c层叠在薄膜晶体管122b上。压电层122c能够发射超声波，并能够接收超声波的反射波，而将反射波转换成电信号。

具体地，压电层122c的材料为铁电聚合物；更具体地，压电层122c的材料为P(VDF-TrFE)(聚偏氟乙烯和三氟乙烯的共聚物)。其中，P(VDF-TrFE)中，聚偏氟乙烯和聚三氟乙烯的摩尔比为60:40、70:30、80:20或90:10。可以理解，压电层122c的材料不限于为上述材料，例如，压电层122c的材料还可以为聚偏二氯乙烯(PVDC)的均聚物、聚偏二氯乙烯的共聚物、聚四氟乙烯的均聚物、聚四氟乙烯的共聚物、二异丙胺溴化物(DTPAB)或聚偏氟乙烯等。

导电层122d层叠在压电层122c远离薄膜晶体管122b的一侧上。具体地，导电层122d为两层，两层导电层122d依次层叠在压电层122c上。具体地，两层导电层122d的材料均为银。两层导电层122d均可通过丝网印刷银浆，然后再经过烧结得到，设置两层导电层122d能够使导电层122d更加均匀，并使远离压电层122c的导电层122d的表面更加光滑，有利于电荷的传导。可以理解，导电层122d也可以为一层或者是大于两层。

声匹配层122e层叠在导电层122d上。声匹配层122e远离导电层122a的一侧为检测区域122a。具体地，声匹配层122e层叠在远离压电层122c的一个导电层122d上；且声匹配层122e远离导电层122d的一侧与油墨层114层叠。声匹配层122e用于将待检测物(例如手指的脊线)的声学阻抗进行匹配。其中，声匹配层122e为芯片贴附膜(Die attach film，DAF)。

进一步地，声匹配层122e的厚度为20微米～100微米，压电层122c的厚度为8微米～10微米。该厚度的声匹配层122e能够与该厚度的压电层122c很好地匹配，以增强超声波的信号，提高超声波生物识别装置100的识别的精准性。

进一步地，超声波生物识别装置100还包括粘结层170，粘结层170层叠在超声波传感器122和盖板组件110之间，以固定粘结超声波传感器122与盖板组件110。具体地，粘结层170设置在声匹配层122e和油墨层114之间。其中，粘结层170的材料为液体胶声匹配层122e用于将待检测物(例如手指的脊线)的声学阻抗进行匹配。

可以理解，粘结层170也可以省略，可以直接在油墨层114上形成声匹配层122e，例如通过涂覆、丝网印刷、喷涂等工艺，此时，需用胶水将导电层122d和声匹配层122e粘结在一起，胶水可以为汉高的NCA3285。盖板组件110也可以省略，此时，声匹配层122e直接与电子设备的外壳层叠，即电子设备的外壳取代盖板组件110。

吸声层124设置在超声波传感器122上，并能够吸收超声波传感器122未发射至检测区域122a的超声波，以阻止超声波传感器122未发射至检测区域122a的超声波遇到障碍物反射至超声波传感器122而影响成像。具体在图示的实施例中，吸声层124层叠在超声波传感器122远离检测区域122a的一侧上；即吸声层124层叠在薄膜晶体管122b远离压电层122c的一侧上。

可以理解，吸声层124不限于为上述设置方式，例如，吸声层124也可以包裹超声波传感器122，而只让检测区域122a露出，以同时吸收侧边的超声波。

其中，吸声层124为铁氧体吸波层或羰基铁吸波层，这些材质可以通过丝网印刷、喷涂等方式直接形成在薄膜晶体管122b上，无需另外使用胶固定，有利于减小超声波生物识别装置100的厚度；另外，由于吸声层124直接覆盖在超声波传感器100的薄膜晶体管122b远离压电层122c的一侧上，能够避免后续的制作过程中或使用过程中杂物附着在超声波传感器122的薄膜晶体管122b远离压电层122c的一侧上，而影响超声波生物识别装置100的准确性。

进一步地，吸声层124的厚度为10微米～80微米。采用上述吸声层124，吸声层124的厚度仅需10微米就能够将与吸声层124接触的超声波吸收掉，有利于减小超声波生物识别装置100的体积，而将吸声层124的厚度控制在80微米以下，以避免超声波生物识别装置100具有较大的厚度，确保超声波生物识别装置100具有合适的体积，且可以根据需要在10微米～80微米内调整吸声层124的厚度，以实现上述超声波生物识别装置100的体积大小的可调节性。

遮挡组件140设置在超声波传感组件120上，并使超声波传感器122的检测区域122a露出，其中，遮挡组件140包括层叠的能够屏蔽电磁波的屏蔽层142和能够阻止光线穿过的遮光层144，以使遮挡组件140能够屏蔽外部电磁波和遮挡外部光线。具体在图示的实施例中，遮挡组件140层叠在吸声层124远离超声波传感器122的一侧上，屏蔽层142靠近超声波传感组件120设置；且屏蔽层142远离遮光层144的一侧与吸声层124远离超声波传感器122的一侧层叠。

其中，屏蔽层142为金属层，金属能够导电，能够很好地屏蔽外部电磁波，以使超声波生物识别装置100具有较为精准的识别功能。具体地，金属层为镍铜合金层、发泡铝层或发泡镍层，这些材料具有较好的屏蔽外部电磁波的效果。

进一步地，屏蔽层142的厚度为20微米～100微米。采用金属作为屏蔽层142，用于屏蔽外部的电磁波，使得其厚度仅需20微米就能够很好地屏蔽外部电磁波，有利于减小超声波生物识别装置100的体积，而将屏蔽层142的厚度控制在100微米以下，以避免超声波生物识别装置100具有较大的厚度，确保超声波生物识别装置100具有合适的体积，且可以根据需要在20微米～100微米内调整屏蔽层142的厚度，以实现上述超声波生物识别装置100的体积大小的可调节性。

遮光层144为遮光胶带，遮光胶带不仅能够遮挡外部光线，而且遮光胶带具有粘性，能够直接粘附固定，能够简化超声波生物识别装置100的制作，提高生产效率。具体地，遮光胶带为黑色遮光胶带，黑色的遮光胶带具有更好地遮光效果，而且有利于减小遮光层144的厚度。

进一步地，遮光层144的厚度为20微米～100微米。采用遮光胶带作为遮光层144，遮光层144的厚度仅需20微米，就能够很好地遮挡外部光线，有利于减小超声波生物识别装置100的体积，而将遮光层144的厚度控制在100微米以下，以避免超声波生物识别装置100具有较大的厚度，确保超声波生物识别装置100具有合适的体积，且可以根据需要在20微米～100微米内调整遮光层144的厚度，以实现上述超声波生物识别装置100的体积大小的可调节性。

可以理解，遮挡组件140的设置方式不限于为上述方式，还可以将遮光层144靠近超声波传感组件120设置，例如，将遮光层144远离屏蔽层142的一侧与吸声层124远离超声波传感器122的一侧层叠，将屏蔽层142与吸声层124层叠或者将遮光层144与吸声层124层叠都能够实现遮挡组件140对外部电磁波的屏蔽，并且实现对外部光线的遮挡；或者，遮挡组件140也不限于仅与吸声层124层叠，遮挡组件140也可以包裹超声波传感组件120，而只让检测区域122a露出，从而遮挡超声波传感组件120侧边的光线和遮挡侧边的电磁波。

柔性电路板150用于将超声波传感器122和超声波指纹识别装置100的芯片电连接。其中，柔性电路板150为含有EMI屏蔽层的条形结构，柔性电路板150的一端与超声波传感器122电连接，另一端弯折形成弯折段152，弯折段152位于遮挡组件140远离吸声层124的一侧，并与遮光层144层叠设置。通过将含有屏蔽层142的电路板150弯折形成弯折段152，并将其与遮光层144层叠，能够进一步增加超声波生物识别装置100的电磁波屏蔽功能，使超声波生物识别装置100的识别功能更加的精准。具体地，柔性电路板150远离弯折段152的一端与导电层122d、薄膜晶体管122b的电路均电连接。

其中，EMI屏蔽层的材料为磁导率高的材料或者磁性材料，例如铜镍合金。

胶粘层160层叠在弯折段152和遮挡组件140的遮光层144之间，而将弯折段152和遮光层144固定粘结。胶粘层160的材料为压敏胶，例如丙烯酸树脂胶粘剂。

可以理解，柔性电路板150也可以不进行弯折，此时，胶粘层160可以省略。

进一步地，两层导电层122d的宽度均小于压电层122c的宽度，且远离压电层122c的导电层122d的宽度小于靠近压电层122c的导电层122d的宽度，压电层122c的宽度小于薄膜晶体管122b的宽度，以形成台阶部129，其中，电路板150在台阶部129处分别与靠近压电层122c的导电层122d、薄膜晶体管122b的电路进行邦定(bonding)。

上述超声波生物识别装置100至少有以下优点：

由于超声波传感器发射的超声波不仅会发射朝屏幕方向传播的超声波，同时也会发射朝远离屏幕的方向传播的超声波，朝屏幕方向传播的超声波接触待检测物后形成的反射波被超声波传感器接收形成图像，但是朝远离屏幕方向传播的超声波若遇到异物等也会发生反射，形成的反射波也能够被超声波传感接收而形成图像，从而影响超声波生物识别装置的识别的精准度，而上述超声波生物识别装置100通过在超声波传感器122的一侧上设置能够吸收超声波的吸声层124，以吸收超声波传感器122发射的传导至吸声层124上的超声波，避免该部分超声波遇到污物反射至超声波传感器122而影响影像的清晰度，再通过在超声波传感组件120上设置遮挡组件140，并使超声波传感器122的检测区域122a露出，且遮挡组件140包括层叠的能够屏蔽电磁波的屏蔽层142和能够阻止光线穿过的遮光层144，从而遮挡外部光线和屏蔽外部电磁波干扰，以提高超声波生物识别装置100识别功能的精准度。

且由于上述超声波生物识别装置100识别更加精确、体积较小，且质量较轻，使得使用该超声波生物识别装置100的电子设备也具有较好的识别性能，有利于电子设备的小型化以及重量的减轻。

如图2所示，另一实施方式的超声波生物识别装置200与超声波生物识别装置100的结构大致相同，区别在于，本实施方式的超声波生物识别装置200的电路板210的另一端不进行弯折，此时，电路板210不与遮光层220固定。

由于本实施方式的超声波生物识别装置200的结构与超声波生物识别装置100的结构大致相同，因此，超声波生物识别装置200也具有超声波生物识别装置100相似的效果。

如图3所示，另一实施方式的超声波生物识别装置400与超声波生物识别装置100的结构大致相同，区别在于，本实施方式的超声波生物识别装置400的超声波传感器410的声匹配层412直接通过涂覆、丝网印刷等工艺形成在盖板组件420上，此时，可以通过胶粘层430(例如NCA胶)将超声波传感器410的声匹配层412和导电层414粘结在一起。

由于本实施方式的超声波生物识别装置400的结构与超声波生物识别装置100的结构大致相同，因此，超声波生物识别装置400也具有超声波生物识别装置100相似的效果。

如图4所示，另一实施方式的超声波生物识别装置500与超声波生物识别装置100的结构大致相同，区别在于，本实施方式的超声波生物识别装置500的超声波传感器510远离吸声层520的一侧上没有设置盖板组件，此时，超声波传感器510的声匹配层512可以直接与电子设备的外壳层叠。

由于本实施方式的超声波生物识别装置500的结构与超声波生物识别装置100的结构大致相同，因此，超声波生物识别装置500也具有超声波生物识别装置100相似的效果。

如图5所示，另一实施方式的超声波生物识别装置600与超声波生物识别装置100的结构大致相同，区别在于，遮挡组件610的遮光层612远离屏蔽层614的一侧与吸声层620远离超声波传感器630的一侧层叠。

由于本实施方式的超声波生物识别装置600的结构与超声波生物识别装置100的结构大致相同，因此，超声波生物识别装置600也具有超声波生物识别装置100相似的效果。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (13)

1.一种超声波生物识别装置，其特征在于，包括：

超声波传感组件，包括超声波传感器和吸声层，所述超声波传感器能够发射超声波，并能够接收超声波的反射波，所述超声波传感器具有用于检测待检测物的检测区域，所述吸声层设置在所述超声波传感器上，并能够吸收所述超声波传感器未发射至所述检测区域的超声波；及

遮挡组件，设置在所述超声波传感组件上，并使所述超声波传感器的检测区域露出，所述遮挡组件包括层叠的屏蔽层和遮光层，所述屏蔽层能够屏蔽电磁波，所述遮光层能够阻止光线穿过。

2.根据权利要求1所述的超声波生物识别装置，其特征在于，所述吸声层为铁氧体吸波层或羰基铁吸波层。

3.根据权利要求2所述的超声波生物识别装置，其特征在于，所述吸声层的厚度为10微米～80微米。

4.根据权利要求1所述的超声波生物识别装置，其特征在于，所述屏蔽层为金属层。

5.根据权利要求4所述的超声波生物识别装置，其特征在于，所述金属层为镍铜合金层、发泡铝层或发泡镍层。

6.根据权利要求5所述的超声波生物识别装置，其特征在于，所述屏蔽层的厚度为20微米～100微米。

7.根据权利要求1所述的超声波生物识别装置，其特征在于，所述遮光层为遮光胶带。

8.根据权利要求7所述的超声波生物识别装置，其特征在于，所述遮光层的厚度为20微米～100微米。

9.根据权利要求1所述的超声波生物识别装置，其特征在于，还包括盖板组件，所述盖板组件设置在所述超声波传感器的检测区域上，并遮盖所述检测区域。

10.根据权利要求1或9所述的超声波生物识别装置，其特征在于，所述超声波传感器包括薄膜晶体管及依次层叠于所述薄膜晶体管上的压电层、导电层和声匹配层，所述声匹配层远离所述导电层的一侧为所述检测区域，所述遮挡组件设置在所述薄膜晶体管远离所述压电层的一侧上。

11.根据权利要求10所述的超声波生物识别装置，其特征在于，所述导电层为两层，两层所述导电层依次层叠在所述压电层上，其中，所述声匹配层层叠在远离所述压电层的所述导电层上。

12.根据权利要求10所述的超声波生物识别装置，其特征在于，所述声匹配层的厚度为20微米～100微米，所述压电层的厚度为8微米～10微米。

13.一种电子设备，其特征在于，包括如权利要求1～12任意一项所述的超声波生物识别装置。