CN207176066U - 一种旋转靶用磁路组件 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种旋转靶用磁路组件，包括上端部、靶材、磁路组件、下端部，所述的旋转靶用磁路组件包括靶材制成的筒体；在所述的筒体内部设置磁路组件，其特征在于，在所述的磁路组件中设置冷却水通道；所述的冷却水通道连接上端部的进水口组件以及连接下端部的靶端组件；可以将冷却水通过冷却水通道连接上端部的进水口组件以及连接下端部的靶端组件；实现在旋转靶用磁路组件上实现的冷却水的接入以及循环使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜设备的靶用磁路组件，尤其涉及一种旋转靶用磁路组件。
背景技术
在现有的及真空镀膜设备中，在采用靶用磁路组件组件时，一般都是采用固定式或者平面式的靶用磁路组件；但是在现有的技术中的靶用磁路组件的应用面积小，在实际使用中只有单面可以使用，造成靶材在镀膜时无法高效的应用；所以发明了旋转靶用磁路组件；但是在旋转靶用磁路组件的应用时；冷却水的接入以及循环使用的较难实现。
实用新型内容
本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足之处，本实用新型目的实现一种旋转靶用磁路组件，包括上端部、靶材、磁路组件、下端部，所述的旋转靶用磁路组件包括靶材制成的筒体；在所述的筒体内部设置磁路组件，其特征在于，在所述的磁路组件中设置冷却水通道；所述的冷却水通道连接上端部的进水口组件以及连接下端部的靶端组件。
进一步所述的进水口组件包括进水管、定位销；定位销横向穿过进水管的底部并形成十字连接结构；十字连接结构插入设置在上端部的入水管上设置的U型插口中。
进一步所述的靶端组件包括螺纹端盖、轴承套、轴承；螺纹端盖设置在下端部的筒体螺纹上；在螺纹端盖的中心位置设置轴承套；在轴承套中设置一轴承；螺纹端盖与筒体之间设置一密封件。
进一步在所述的筒体的上部设置一段螺纹。
本实用新型的技术效果在于，可以将冷却水通过冷却水通道连接上端部的进水口组件以及连接下端部的靶端组件；实现在旋转靶用磁路组件上实现的冷却水的接入以及循环使用。
附图说明
图1是本实用新型的立体的示视图。
图2是本实用新型的全剖示意图。
图3是本实用新型的上端部的放大示意图。
图4是本实用新型的下端部的放大示意图。
图5是本实用新型的进水口组件的放大示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型中的实施例结合附图1、附图2所示，提供了一种旋转靶用磁路组件，包括上端部1、靶材2、磁路组件4、下端部3，所述的旋转靶用磁路组件包括靶材2制成的筒体；在筒体内部设置磁路组件4，在磁路组件4中设置冷却水通道41；冷却水通道41连接上端部1的进水口组件11以及连接下端部3的靶端组件31。以上的结构构成了本实施例在旋转靶用磁路组件上实现的冷却水的接入以及循环使用的结构应用。
结合附图1、附图5、附图3中所示，为了更好的实现冷却水的接入以及循环使用的效果，在进水口组件11包括进水管6、定位销7；定位销7横向穿过进水管6的底部并形成十字连接结构；十字连接结构插入设置在上端部1的入水管10上设置的U型插口9中。
再结合附图2中所示，在筒体的上部设置一段螺纹42。主要为了封住上端部1使用，使用带有螺纹的封盖(在图中未标注)拧入螺纹42中。
这样的机构保证了在上端部1上的冷却水连接结构，在封住上端部1以后，十字连接结构可以牢固的固定在上端部1中，不易从U型插口9脱出，从而实现连接牢固。方便拆卸的功能。
结合附图2、附图4中所示，靶端组件31包括螺纹端盖32、轴承套33、轴承35；螺纹端盖32设置在下端部的筒体的螺纹34上；在螺纹端盖32的中心位置设置轴承套33；在轴承套33中设置一轴承35；螺纹端盖32与筒体之间设置一密封件36。以上结构下端部3的靶端组件31上实现了冷却水的末端的接入以及循环使用。
作为本实用新型的优选的实施例，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型，也是本实用新型的保护范围。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (4)
1.一种旋转靶用磁路组件，包括上端部、靶材、磁路组件、下端部，所述的旋转靶用磁路组件包括靶材制成的筒体；在所述的筒体内部设置磁路组件，其特征在于，在所述的磁路组件中设置冷却水通道；所述的冷却水通道连接上端部的进水口组件以及连接下端部的靶端组件。
2.如权利要求1所述的一种旋转靶用磁路组件，其特征在于，所述的进水口组件包括进水管、定位销；定位销横向穿过进水管的底部并形成十字连接结构；十字连接结构插入设置在上端部的入水管上设置的U型插口中。
3.如权利要求1所述的一种旋转靶用磁路组件，其特征在于，所述的靶端组件包括螺纹端盖、轴承套、轴承；螺纹端盖设置在下端部的筒体的螺纹上；在螺纹端盖的中心位置设置轴承套；在轴承套中设置一轴承；螺纹端盖与筒体之间设置一密封件。
4.如权利要求1所述的一种旋转靶用磁路组件，其特征在于，在所述的筒体的上部设置一段螺纹。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721135273.2U CN207176066U (zh) | 2017-09-06 | 2017-09-06 | 一种旋转靶用磁路组件 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201721135273.2U CN207176066U (zh) | 2017-09-06 | 2017-09-06 | 一种旋转靶用磁路组件 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN207176066U true CN207176066U (zh) | 2018-04-03 |
Family
ID=61742853
Family Applications (1)
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| CN201721135273.2U Active CN207176066U (zh) | 2017-09-06 | 2017-09-06 | 一种旋转靶用磁路组件 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN207176066U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109609918A (zh) * | 2019-01-09 | 2019-04-12 | 伟业智芯（北京）科技有限公司 | 多工位水冷靶及其制造方法 |
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2017
- 2017-09-06 CN CN201721135273.2U patent/CN207176066U/zh active Active
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