CN207148047U - 一种基于螺旋副实现快速同步扫描的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种基于螺旋副实现快速同步扫描的装置，包括第一运动机构、第二运动机构、检测部件，其中：第一运动机构为螺旋副，第一运动机构沿第一方向做往复直线运动，第二运动机构沿第二方向运动；检测部件、检测样品分别与第一运动机构、第二运动机构其中一个连接并带动检测部件、检测样品实现第一方向往复直线运动、第二方向运动；第一运动机构与第二运动机构结合同步扫描合成预定的扫描轨迹。本实用新型能够实现快速同步扫描，既能保证良好的扫描效果，又能大大提高扫描速度。

Description

一种基于螺旋副实现快速同步扫描的装置

技术领域

本实用新型属于无损检测技术领域，特别涉及一种基于螺旋副实现快速同步扫描的装置。

背景技术

无损检测是利用物质的声、光、磁和电等特性，在不损害或不影响被检测对象使用性能的前提下，检测被检对象中是否存在缺陷或不均匀性，给出缺陷大小，位置，性质和数量等信息。它与破坏性检测相比，无损检测有以下特点。第一是具有非破坏性，因为它在做检测时不会损害被检测对象的使用性能；第二具有全面性，由于检测是非破坏性，因此必要时可对被检测对象进行100％的全面检测，这是破坏性检测办不到的；第三具有全程性，破坏性检测一般只适用于对原材料进行检测，如机械工程中普遍采用的拉伸、压缩、弯曲等，破坏性检验都是针对制造用原材料进行的，对于产成品和在用品，除非不准备让其继续服役，否则是不能进行破坏性检测的，而无损检测因不损坏被检测对象的使用性能。所以，它不仅可对制造用原材料，各中间工艺环节、直至最终产成品进行全程检测，也可对服役中的设备进行检测。

无损检测部件包括超声波显微镜、电磁、X射线等设备。广泛应用于电接触触点焊接质量检测、关键电子器件和精密机械部件的无损检测与评估，同时也广泛用于生物组织的显微观测。

无损检测部件中，常采用二维机械扫描机构携带检测模块完成对整个被测样品的检测。扫描机构的执行器一般都采用直线电机或旋转电机加精密滚珠丝杠。传统的二维机械扫描模式为栅格扫描模式，扫描轴负责扫描，每扫描完一行，步进轴运动一次，步进大小为一个像素所对应的大小。

为了提高扫描超声波显微成像的速度，德国KSI公司采用了多探头同时扫描方案，即每个探头扫描一个子区域，然后将各个子区域拼接起来，形成最终的扫描结果。采用N个探头，那么扫描时间就可以节约N倍。但是这种方法明显增加了成本。

公开号为CN102608208A的中国发明专利，公开了一种基于双轴联动式的栅格扫描模式，该方法通过两轴联动缩短了扫描和步进的时间，但是本质上仍然是步进栅格扫描模式，提升的扫描效率有限。

目前，国外大公司提高效率的方式都是在现有的栅格扫描模式下对每个电机的硬件结构提出优化，在满足运动精度的前提下，尽可能地提高X或Y电机的速度。但是这种方式不能根本性的显著提高电机速度，电机速度的最大值受限于光栅频率和分辨率。

因此，采用常规的技术思路即通过栅格扫描模式下的技术改进，已经很难再提升扫描速度，这制约了整个行业的进一步发展，成为了整个行业的技术难题。

实用新型内容

针对上述现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是设计一种基于螺旋副实现快速同步扫描的装置，能够快速有效的实现快速同步扫描，既能保证良好的扫描效果，又能大大提高扫描速度。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种基于螺旋副实现快速同步扫描的装置，包括第一运动机构即扫描机构、第二运动机构、检测部件，其中：

所述第一运动机构沿第一方向做往复直线运动，所述第二运动机构沿第二方向运动；所述检测部件与所述第一运动机构、所述第二运动机构中一个连接，检测样品则与所述第一运动机构、所述第二运动机构中另一个连接，所述第一运动机构、所述第二运动机构带动所述检测部件、所述检测样品实现第一方向的往复直线运动、第二方向运动；所述第一运动机构与所述第二运动机构同步扫描，合成预定的扫描轨迹；

所述第一运动机构为螺旋副，包括第一驱动部件、支座、第一带轮、第一丝杠座、第一丝杠、第一运动导板和第一导轨，其中：所述第一驱动部件安装在所述支座上，所述第一驱动部件通过所述第一带轮与所述第一丝杠连接并驱动所述第一丝杠；所述第一丝杠的两端分别固定在所述第一丝杠座上；所述第一运动导板与所述第一丝杠、所述第一导轨连接；所述第一运动导板连接所述检测部件或检测样品；所述第一导轨保证所述第一运动导板带动所述检测部件或检测样品进行往复直线运动。

所述第一驱动部件驱动所述第一带轮旋转，所述第一带轮带动所述第一丝杠旋转，所述第一丝杠带动所述第一运动导板沿所述第一导轨方向进行往复直线运动，进而带动所述检测部件或检测样品完成第一方向往复直线运动。

优选地，所述第二运动机构为实现第二方向步进运动、匀速直线运动或变速直线运动的装置，所述第二运动机构带动检测样品或所述检测部件实现第二方向步进运动、匀速直线运动或变速直线运动。

更优选地，所述第二运动机构包括：第二驱动部件和水平转盘，其中：

所述第二驱动部件连接所述水平转盘并驱动所述水平转盘，所述水平转盘在水平面内进行第二方向步进运动、匀速圆周运动或变速圆周运动，检测样品或检测部件放置在所述水平转盘上并随所述水平转盘在水平面内做第二方向步进运动、匀速圆周运动或变速圆周运动。

更优选地，所述第二运动机构包括第三驱动部件和垂直转盘，其中：

所述第三驱动部件连接所述垂直转盘并驱动所述垂直转盘，所述垂直转盘在竖直面内进行第二方向步进运动、匀速圆周运动或变速圆周运动；检测样品或检测部件放置在所述垂直转盘上并随所述垂直转盘在竖直面内做第二方向步进运动、匀速圆周运动或变速圆周运动。

优选地，所述装置进一步包括支撑部件，所述支撑部件用于连接和支撑所述第一运动机构、所述第二运动机构。

优选地，所述第一驱动部件、第二驱动部件、第三驱动部件为电机，或者是气压、液压等其他形式的驱动部件，或者是由其他机构传动得到的驱动机构，或者是手动驱动的形式。

优选地，所述装置进一步包括平衡机构，所述平衡机构与所述第一运动机构对称布置但运动方向相反，以产生与所述第一运动机构大小相等、方向相反的作用力，从而抵消所述第一运动机构的作用力。

更优选地，所述平衡机构包括：平衡带轮、平衡丝杠座、平衡导轨、平衡丝杠、平衡运动导板、平衡质量块，其中：

所述平衡带轮通过传送带与第一带轮连接；所述平衡带轮连接所述平衡丝杠；所述平衡丝杠的两端固定在所述平衡丝杠座上；所述平衡运动导板与所述平衡丝杠、所述平衡导轨连接；所述平衡运动导板连接所述平衡质量块；所述平衡导轨保证所述平衡运动导板带动所述平衡质量块进行往复直线运动；

所述第一驱动部件驱动所述第一带轮旋转，所述第一带轮通过传送带带动所述平衡带轮旋转，所述平衡带轮带动所述平衡丝杠旋转，所述平衡丝杠带动所述平衡运动导板沿所述平衡导轨方向进行往复直线运动，进而带动固定在所述平衡运动导板上的所述平衡质量块进行往复直线运动。

更优选地，所述平衡丝杠的旋向与所述第一丝杠的旋向相反，从而所述平衡质量块与所述检测部件或检测样品的运动方向相反。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1.本实用新型摒弃了常规的技术思路即通过栅格扫描模式下的改进，而是将第一方向运动和第二方向运动由不同的机构执行，结合同步扫描，可以合成预定的扫描轨迹，从而克服了制约整个行业进一步发展的技术难题，对整个行业的发展具有重要意义。

2.本实用新型第二方向运动为步进运动、匀速运动或变速运动，第一方向运动为快速往返直线运动，提高了扫描速度。

3.本实用新型采用螺旋副作为运动机构，结构简单，运动精确，机构稳定性较好。

4.本实用新型的第一运动机构和第二运动机构可以带动扫描部件或检测样品实现第一方向的运动和第二方向的运动。

5.进一步的，本实用新型的平衡机构可以提高装置整体的稳定性，减小了振动，保证了检测的精度。

6.进一步的，本实用新型可以集成到在线检测并实现全检，即将所述装置和生产工件的设备连接之后，可以对生产的每一个工件进行检测。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一实施例中装置结构示意图；

图2为本实用新型一实施例中第二运动机构结构示意图；

图3为本实用新型另一实施例中第二运动机构结构示意图；

图4为现有技术栅格扫描方式示意图；

图5为本实用新型一实施例的三角形扫描轨迹采样点第一方向等间距分布示意图；

图6为本实用新型一实施例的最终位图阵列矩阵合成像素图像示意图；

图中：

机架1、第一驱动电机2、电机座3、第一丝杠座4、第一导轨6、第一丝杠7，第一运动导板8、检测部件9、检测样品10、第二运动机构11、第二驱动电机12、水平转盘13、第三驱动电机14、垂直转盘15、第一带轮16、传送带17、平衡带轮18、平衡丝杠座19、平衡导轨20、平衡丝杠21、平衡运动导板22、平衡质量块23。

具体实施方式

以下对本实用新型的技术方案作进一步的说明，以下的说明仅为理解本实用新型技术方案之用，不用于限定本实用新型的范围，本实用新型的保护范围以权利要求书为准。

实施例1

如图1所示，为本实用新型基于螺旋副实现快速同步扫描的装置的优选实施例，包括机架1、第一运动机构、检测部件9、第二运动机构11和平衡机构，其中：

所述第一运动机构与所述机架1连接，所述第二运动机构11与所述机架1连接，所述检测部件9与所述第一运动机构或所述第二运动机构11中的一个连接，检测样品10与所述第一运动机构或所述第二运动机构11中的另一个连接，所述第一运动机构、所述第二运动机构11带动所述检测部件9或者所述检测样品10实现第一方向往复直线运动、第二方向运动；所述第一运动机构与所述第二运动机构11结合同步扫描，合成预定的扫描轨迹；

所述平衡机构与所述机架1连接并与所述第一运动机构对称布置，所述平衡机构与所述第一运动机构运动方向相反，从而产生与所述第一运动机构大小相等、方向相反的作用力，抵消所述第一运动机构的作用力。

本实施例中，所述第一运动机构为螺旋副，包括：第一驱动电机2、电机座3、第一丝杠座4、第一导轨6、第一丝杠7，第一运动导板8，其中：

所述第一驱动电机2通过所述电机座3固定在所述机架1上，所述第一驱动电机2通过第一带轮16与所述第一丝杠7连接并驱动所述第一丝杠7，所述第一丝杠7的两端分别通过所述第一丝杠座4固定在所述机架1上，所述第一导轨6固定在所述机架1上，所述第一运动导板8连接在所述第一丝杠7上，同时与所述第一导轨6连接；所述检测部件9或检测样品10固定在所述第一运动导板8上，所述第一导轨6用于保证所述第一运动导板8带动所述检测部件9或检测样品10进行往复直线运动。

本实施例中，当所述检测部件9设置在第一运动机构上，则检测样品10设置在所述第二运动机构11上；相反的，如所述检测样品10设置在第一运动机构上，则所述检测部件9设置在所述第二运动机构11上，从而通过所述第一运动机构与所述第二运动机构11带动所述检测样品10、所述检测部件9实现不同方向的运动。

本实施例中，所述平衡机构包括：平衡带轮18、平衡丝杠座19、平衡导轨20、平衡丝杠21、平衡运动导板22、平衡质量块23，其中：

所述平衡带轮18通过传送带17与第一带轮16连接，所述平衡带轮18连接所述平衡丝杠21，所述平衡丝杠21的两端分别通过所述平衡丝杠座19固定在所述机架1上；所述平衡运动导板22连接在所述平衡丝杠21上，同时，所述平衡运动导板22与所述平衡导轨20连接；；所述平衡导轨20固定在所述机架1上；所述平衡运动导板22连接所述平衡质量块23，所述平衡导轨20保证所述平衡运动导板22带动所述平衡质量块23进行往复直线运动；如所述装置没有所述机架1，则所述平衡导轨20、所述平衡丝杠21则固定在所述第一运动机构、所述第二运动机构自身的支撑部分上。

当所述第一驱动电机2工作时，所述第一驱动电机2驱动第一带轮16旋转，从而带动第一丝杠7旋转；所述第一丝杠7带动所述第一运动导板8沿所述第一导轨6进行第一方向的往复直线运动，从而带动与所述第一运动导板8固定连接的所述检测部件9作第一方向往复直线运动。

所述第一驱动电机2驱动第一带轮16旋转的同时，所述第一带轮16通过传送带17带动所述平衡带轮18转动，所述平衡带轮18带动所述平衡丝杠21转动，所述平衡丝杠21带动所述平衡运动导板22沿所述平衡导轨20方向进行往复直线运动，进而带动所述平衡质量块23进行往复直线运动；所述平衡丝杠21的旋向与所述第一丝杠7的旋向相反，进而所述平衡质量块23与所述检测部件9的运动方向相反。

本实施例中，所述机架1是一个整体，所述第二运动机构11、所述第一运动机构以及平衡机构均与所述机架1连接，所述平衡机构与所述第一运动机构对称设置但运动方向相反，从而使平衡机构与第一运动机构之间形成力平衡。

本实施例中，所述检测部件9可以为超声换能器，也可以是其他的形式，包括发射和接收光或电磁波或诸如中子、电子、或者其他粒子或者流体、气体或声波或者磁场或电场的装置，或者其他可以检测或影响目标物的媒介。

本实施例中，第一运动机构和第二运动机构可以带动扫描部件或检测样品实现第一方向的运动和第二方向的运动；采用上述螺旋副作为第一运动机构，结构简单，运动精确，机构稳定性较好。

本实施例中，采用平衡机构可以提高装置整体的稳定性，减小了振动，保证了检测的精度。

实施例2

本实施例与实施例1不同在于，取消图1中所示的平衡机构，即装置包括机架1、第一运动机构、检测部件9、第二运动机构11，所述第一运动机构、第二运动机构11设置在机架1上；其他结构与实施例1中类似。

当所述第一驱动电机2工作时，所述第一驱动电机2驱动第一带轮16旋转，从而带动第一丝杠7旋转；所述第一丝杠7带动所述第一运动导板8沿所述第一导轨6进行第一方向的往复直线运动，从而带动与所述第一运动导板8固定连接的所述检测部件9作第一方向往复直线运动。

本实施例取消平衡机构，同样能实现快速同步扫描的目的，只是装置整体的稳定性比实施例1稍差。

实施例3

本实施例与实施例1不同在于，取消图1中所示的平衡机构和机架，包括第一运动机构、检测部件9、第二运动机构11。此实施例适用于第一运动机构、第二运动机构11本身是具有支撑功能的，安装在实施例1机架上的部件可以对应安装在第一运动机构、第二运动机构11的支撑部分上。其他结构与实施例1中类似。

所述检测部件9与所述第一运动机构或所述第二运动机构11中的一个连接，检测样品10与所述第一运动机构或所述第二运动机构11中的另一个连接，所述第一运动机构、所述第二运动机构11带动所述检测部件9或者所述检测样品10实现第一方向往复直线运动、第二方向运动；所述第一运动机构与所述第二运动机构11结合同步扫描，合成预定的扫描轨迹。

当然，本实施例也可以取消机架，保留平衡机构，所述平衡机构可以固定在第一运动机构、第二运动机构自身的支撑部分上。

本实施例效果与实施例2接近，既能保证良好的扫描效果，又能大大提高扫描速度。

实施例4

本实施例中，对上述实施例中的第二运动机构的优选结构进行说明。

如图2所示，为第二运动机构11的一种实施例，所述第二运动机构11包括：第二驱动电机12、水平转盘13，其中：

所述第二驱动电机12与所述机架1固定连接，所述第二驱动电机12的输出端通过连接轴与所述水平转盘13连接，所述检测样品8放置在所述水平转盘13上；

当所述第二驱动电机12工作时，所述第二驱动电机12驱动所述水平转盘13绕所述连接轴在水平面内进行第二方向步进运动、匀速圆周运动或变速圆周运动，所述检测样品10随所述水平转盘13在水平面内做第二方向步进运动、匀速圆周运动或变速圆周运动；由于所述水平转盘13所选取的半径足够大，因此在所述检测部件9的运动范围内，所述检测样品10的第二方向运动可以近似为直线运动。

采用本实施例中的第二运动机构，结合实施例1-3中的结构，摒弃了栅格扫描模式下的改进，采用第一方向运动和第二方向运动由不同的机构执行，结合同步扫描，可以合成预定的扫描轨迹，从而克服了制约整个行业进一步发展的技术难题。

实施例5

本实施例中，对上述实施例中的第二运动机构的另一优选结构进行说明。

如图3所示，为第二运动机构11的另一种实施例，所述第二运动机构11包括：第三驱动电机14、垂直转盘15，其中：

所述第三驱动电机14与所述机架1连接固定，所述垂直转盘15通过连接轴与所述第三驱动电机14连接，检测样品10放置在所述垂直转盘15上；

当所述第三驱动电机14工作时，所述第三驱动电机14驱动所述垂直转盘15绕所述连接轴在竖直面内进行第二方向步进运动、匀速圆周运动或变速圆周运动，所述检测样品10随所述垂直转盘15在竖直面内做第二方向步进运动、匀速圆周运动或变速圆周运动；由于所述垂直转盘15的半径足够大，因此在所述检测部件9的运动范围内，所述检测样品10的第二方向运动可以近似为直线运动。

以上实施例4、5为是所述第二运动机构11的优选实施方式，在其他实施例中，所述第二运动机构11为可以实现直线运动的装置，所述实现直线运动的装置，可以为凸轮连杆机构、曲柄滑块机构、圆柱凸轮机构、齿轮齿条机构、丝杠螺母机构、同步带机构、圆柱端面凸轮机构、槽条机构以及电动缸等可以实现直线运动的装置。

采用上述实施例中装置进行同步扫描，取消步进栅格的扫描方式(如图4所示)，而是采用双轴同步的方式，当第一运动机构往复运动的同时，第二运动机构11同步运动以实现预设的轨迹。

为了进一步加深对本实用新型装置的理解，以下对本实用新型的工作步骤和原理进行描述：

步骤一、第一驱动电机2驱动第一丝杠7快速运动，进而使第一运动导板8带动检测部件9进行往复直线运动；同时，第二驱动电机12或第三驱动电机14驱动水平转盘13或垂直转盘15使检测样品10做直线运动；第一驱动电机2加减速过程通过控制器控制，使得扫描轨迹呈现三角形曲线、梯形曲线、正弦曲线或类似的各种曲线。

步骤二、采用光栅尺测量第一运动导板8直线位置，利用光栅尺信号等间距触发信号采集，从而实现第一方向等间距信号采集。光栅尺每圈固定触发采集卡采集信号N次必须满足以下公式，以保证第一运动方向检测分辨率满足需求：

N＞S*2/Y_resolution

式中：S为扫描行程，Y_resolution为第一运动方向检测分辨率，

三角形扫描轨迹下的第一运动方向等间距信号采集如图5所示。

本步骤中，利用第一驱动电机2旋转编码器信号，等间距触发信号采集，从而实现第一运动方向等间距信号采集。

本步骤中，采用光栅尺测量在第二运动机构11的直线位置，等间距触发信号采集，从而实现第二运动方向等间距信号采集。

本步骤中，利用在第二驱动电机12或在第三驱动电机14的旋转编码器信号，等间距触发信号采集，从而实现第二运动方向等间距信号采集。

步骤三、将规划路径上的采集点所获取的电压值转换成图像灰度值并做插值计算，得出最终所需的位图阵列矩阵，合成像素图像如图6所示。

所述第二运动机构11同时提供第一运动方向步进功能，针对大小超出第一运动机构扫描范围的检测样品10，在步骤三之后，可以通过第二运动机构11调节检测样品10第一运动方向步进，使得未扫描部分处于扫描装置的扫描区域，再返回步骤三进行扫描(此时第二运动方向与前一次扫描相反)，重复直到整个检测样品10扫描完成，最后通过所记录的位置信息完成图像拼接。

对于上述步骤三，可以采用图像处理设备实现，从而完成第一方向运动、第二方向运动同步扫描轨迹的处理和图像拼接，得到所需的图像。

本实用新型创造性地提出采用不同运动机构带动检测样品、检测部件实现不同方向的运动，通过第一方向运动、第二方向运动，在结合同步扫描，可以合成预定的扫描轨迹，提高了扫描速度。

进一步的，采用平衡机构可以提高装置整体的稳定性，减小了振动，保证了检测的精度。

尽管本实用新型的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本实用新型的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本实用新型的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本实用新型的保护范围应由所附的权利要求来限定。

Claims (10)

1.一种基于螺旋副实现快速同步扫描的装置，其特征在于：包括：第一运动机构即扫描机构、第二运动机构、检测部件，其中：

所述第一运动机构沿第一方向做往复直线运动，所述第二运动机构沿第二方向运动；所述检测部件与所述第一运动机构、所述第二运动机构中一个连接，检测样品则与所述第一运动机构、所述第二运动机构中另一个连接，所述第一运动机构、所述第二运动机构带动所述检测部件、所述检测样品实现第一方向的往复直线运动、第二方向运动；所述第一运动机构与所述第二运动机构同步扫描，合成预定的扫描轨迹；

所述第一运动机构为螺旋副，包括第一驱动部件、支座、第一带轮、第一丝杠座、第一丝杠、第一运动导板和第一导轨，其中：所述第一驱动部件安装在所述支座上，所述第一驱动部件通过所述第一带轮与所述第一丝杠连接并驱动所述第一丝杠；所述第一丝杠的两端分别固定在所述第一丝杠座上；所述第一运动导板与所述第一丝杠、所述第一导轨连接；所述第一运动导板连接所述检测部件或检测样品；所述第一导轨保证所述第一运动导板带动所述检测部件或检测样品进行第一方向往复直线运动。

2.根据权利要求1所述的基于螺旋副实现快速同步扫描的装置，其特征在于：所述第一驱动部件驱动所述第一带轮旋转，所述第一带轮带动所述第一丝杠旋转，所述第一丝杠带动所述第一运动导板沿所述第一导轨方向进行往复直线运动，进而带动所述检测部件或检测样品完成第一方向往复直线运动。

3.根据权利要求1所述的基于螺旋副实现快速同步扫描的装置，其特征在于：所述第二运动机构为实现第二方向步进运动、匀速直线运动或变速直线运动的装置，所述第二运动机构带动所述检测样品或检测部件实现第二方向步进运动、匀速直线运动或变速直线运动。

4.根据权利要求3所述的基于螺旋副实现快速同步扫描的装置，其特征在于：所述第二运动机构包括第二驱动部件和水平转盘，其中：

所述第二驱动部件连接所述水平转盘并驱动所述水平转盘，所述水平转盘在水平面内进行第二方向步进运动、匀速圆周运动或变速圆周运动，检测样品放置在所述水平转盘上并随所述水平转盘在水平面内做第二方向步进运动、匀速圆周运动或变速圆周运动。

5.根据权利要求3所述的基于螺旋副实现快速同步扫描的装置，其特征在于：所述第二运动机构包括第三驱动部件和垂直转盘，其中：

所述第三驱动部件连接所述垂直转盘并驱动所述垂直转盘，所述垂直转盘在竖直面内进行第二方向步进运动、匀速圆周运动或变速圆周运动；检测样品放置在所述垂直转盘上并随所述垂直转盘在竖直面内做第二方向步进运动、匀速圆周运动或变速圆周运动。

6.根据权利要求1所述的基于螺旋副实现快速同步扫描的装置，其特征在于：所述装置进一步包括支撑部件，所述支撑部件用于连接和支撑所述第一运动机构、所述第二运动机构。

7.根据权利要求1-6任一项所述的基于螺旋副实现快速同步扫描的装置，其特征在于：所述装置进一步包括平衡机构，所述平衡机构与所述第一运动机构对称布置但运动方向相反，以产生与所述第一运动机构大小相等、方向相反的作用力，从而抵消所述第一运动机构的作用力。

8.根据权利要求7所述的基于螺旋副实现快速同步扫描的装置，其特征在于：所述平衡机构包括：平衡带轮、平衡丝杠座、平衡导轨、平衡丝杠、平衡运动导板、平衡质量块，其中：

所述平衡带轮通过传送带与第一带轮连接；所述平衡带轮连接所述平衡丝杠；所述平衡丝杠的两端固定在所述平衡丝杠座上；所述平衡运动导板与所述平衡丝杠、所述平衡导轨连接；所述平衡运动导板连接所述平衡质量块；所述平衡导轨保证所述平衡运动导板带动所述平衡质量块进行往复直线运动。

9.根据权利要求8所述的基于螺旋副实现快速同步扫描的装置，其特征在于：所述第一驱动部件驱动所述第一带轮旋转，所述第一带轮通过传送带带动所述平衡带轮旋转，所述平衡带轮带动所述平衡丝杠旋转，所述平衡丝杠带动所述平衡运动导板沿所述平衡导轨方向进行往复直线运动，进而带动固定在所述平衡运动导板上的所述平衡质量块进行往复直线运动。

10.根据权利要求9所述的基于螺旋副实现快速同步扫描的装置，其特征在于：所述平衡丝杠的旋向与所述第一丝杠的旋向相反，从而所述平衡质量块与所述检测部件或检测样品的运动方向相反。