CN206862285U - 一种光学元件面形在位检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了检测装置技术领域的一种光学元件面形在位检测装置，包括运动架，所述运动架的左壁顶部设置有横移电机，所述运动架的前侧外壁安装有纵移电机，所述运动架的内腔顶部横向设置有横移直线模组，所述横移直线模组的外壁设置有第一滑块，所述运动架的内腔顶部纵向设置有纵移直线模组，所述纵移直线模组的底部滑动连接有第二滑块，所述第二滑块的底部安装有摄像机，所述运动架的内腔底部安装有工作台，所述运动架的右侧设置有计算机，所述计算机的内腔设置有图像采集卡，解决了对于大口径光学元件面形检测的问题，大大减少大口径光学元件的面形检测时间，缩短元件的加工周期，检测过程中稳定性好，检测精度高。

Description

一种光学元件面形在位检测装置

技术领域

本实用新型涉及检测装置技术领域，具体为一种光学元件面形在位检测装置。

背景技术

随着光学技术的不断发展，现代光学工业对光学元件表面质量的要求越来越高，尤其是是激光惯性约束聚变驱动器中的大口径精密光学元件，表面任何种类的缺陷都可能对整个元件的工作产生极强的破坏力，缺陷的散热效应严重影响光束质量，消耗掉大量的能量，缺陷的衍射使得其他元件受到的光强不均匀，当光束强度超过元件的损伤阈值时，会光学元件的损坏，这些缺陷严重影响着强激光的传输和光学系统的质量，从而影响着整个产品的质量，严重时甚至对系统产生致命的损害，所以缺陷检测已经成为精密元件质量检测中不可或缺的项目，目前国内对光学面形检测的方法主要还是传统的目测法，其方法是利用光的散射特性在暗场照明的条件下使用光学放大镜或直接用肉眼进行观察并判断缺陷的种类、大小和分布，传统的目测法检测效率低，主观性较强，另外，滤波成像法、满散射光接收法、频谱接收分析法亦为当前检测常用的手段，这些方法对面积较小的光学元件检测有良好的效果，但是不适用于大口径光学元件的检测，鉴于上述提到的问题，本实用新型设计一种光学元件面形在位检测装置，以解决上述提到的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光学元件面形在位检测装置，以解决上述背景技术中提出的传统的目测法检测效率低，主观性较强，另外，滤波成像法、满散射光接收法、频谱接收分析法亦为当前检测常用的手段，不适用于大口径光学元件的检测的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光学元件面形在 位检测装置，包括运动架，所述运动架的左壁顶部设置有横移电机，所述运动架的前侧外壁安装有纵移电机，所述运动架的内腔顶部横向设置有横移直线模组，所述横移电机的动力输出端与横移直线模组的左端连接，所述横移直线模组的外壁设置有第一滑块，所述运动架的内腔顶部纵向设置有纵移直线模组，所述纵移电机的动力输出端与纵移直线模组的底端连接，所述纵移直线模组通过第一滑块与纵移直线模组连接，所述纵移直线模组的底部滑动连接有第二滑块，所述第二滑块的底部安装有摄像机，所述运动架的内腔底部安装有工作台，所述运动架的右侧设置有计算机，所述计算机的内腔设置有图像采集卡，所述工作台包括第一固定板，所述第一固定板的外壁设置有两组螺杆，所述第一固定板通过两组螺杆连接有第二固定板，所述螺杆的外壁顶部螺接有限位螺母，所述第二固定板的底部和第一固定板的顶部均开设有夹槽。

优选的，所述运动架的外壁四周均开设有长槽，所述横移直线模组的两端分别贯穿左右两组长槽，所述纵移直线模组的两端分别贯穿顶部和底部两组长槽。

优选的，所述摄像机为CCD摄像机。

优选的，所述第二固定板的外壁开设有两组螺槽，且两组螺杆的顶端均贯穿螺槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该种光学元件面形在位检测装置，针对大口径光学元件，通过横移电机和纵移电机带动横移直线模组和纵移直线模组配合运动，从而实现CCD摄像机在平面内以蛇形运行方式对光学元件进行扫描，形成目标图像，并通过图像采集卡对摄取的图像进行采集，解决了对于大口径光学元件面形检测的问题，大大减少大口径光学元件的面形检测时间，缩短元件的加工周期，检测过程中稳定性好，检测精度高。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型俯视图；

图3为本实用新型工作台俯视图。

图中：1运动架、2横移电机、3纵移电机、4横移直线模组、5第一滑块、6纵移直线模组、7第二滑块、8摄像机、9工作台、10计算机、11第一固定板、12螺杆、13第二固定板、14限位螺母、15夹槽、16图像采集卡。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种光学元件面形在位检测装置，包括运动架1，所述运动架1的左壁顶部设置有横移电机2，所述运动架1的前侧外壁安装有纵移电机3，所述运动架1的内腔顶部横向设置有横移直线模组4，所述横移电机2的动力输出端与横移直线模组4的左端连接，所述横移直线模组4的外壁设置有第一滑块、5，所述运动架1的内腔顶部纵向设置有纵移直线模组6，所述纵移电机3的动力输出端与纵移直线模组6的底端连接，所述纵移直线模组4通过第一滑块5与纵移直线模组6连接，所述纵移直线模组6的底部滑动连接有第二滑块7，所述第二滑块7的底部安装有摄像机8，所述运动架1的内腔底部安装有工作台9，所述运动架1的右侧设置有计算机10，所述计算机10的内腔设置有图像采集卡16，所述工作台9包括第一固定板11，所述第一固定板11的外壁设置有两组螺杆12，所述第一固定板11通过两组螺杆12连接有第二固定板13，所述螺杆12的外壁顶部螺接有限位螺母14，所述第二固定板13的底部和第一固定板11的顶部均开 设有夹槽15。

其中，所述运动架1的外壁四周均开设有长槽，所述横移直线模组4的两端分别贯穿左右两组长槽，所述纵移直线模组6的两端分别贯穿顶部和底部两组长槽，所述摄像机8为CCD摄像机，所述第二固定板13的外壁开设有两组螺槽，且两组螺杆12的顶端均贯穿螺槽。

工作原理：需要对大口径光学元件进行检测时，由于第二固定板13与螺杆12螺接，通过旋转限位螺母14和和螺杆12，调节第二固定板13上下移动，然后将大口径光学元件安装在两组夹槽15内，再对第二固定板13进行调节，固定光学元件，然后同时启动横移电机2和纵移电机3，通过横移电机2和纵移电机3带动横移直线模组4和纵移直线模组6配合运动，从而实现摄像机8在平面内以蛇形运行方式对光学元件进行扫描，形成目标图像，然后摄取的图像通过CameraLink协议传输到计算机10内的图像采集卡10，然后图像采集卡10负责把图像数据通过PCI总线传输到图像处理器进行图像存储和缺陷测试。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种光学元件面形在位检测装置，包括运动架(1)，其特征在于：所述运动架(1)的左壁顶部设置有横移电机(2)，所述运动架(1)的前侧外壁安装有纵移电机(3)，所述运动架(1)的内腔顶部横向设置有横移直线模组(4)，所述横移电机(2)的动力输出端与横移直线模组(4)的左端连接，所述横移直线模组(4)的外壁设置有第一滑块(5)，所述运动架(1)的内腔顶部纵向设置有纵移直线模组(6)，所述纵移电机(3)的动力输出端与纵移直线模组(6)的底端连接，所述纵移直线模组(4)通过第一滑块(5)与纵移直线模组(6)连接，所述纵移直线模组(6)的底部滑动连接有第二滑块(7)，所述第二滑块(7)的底部安装有摄像机(8)，所述运动架(1)的内腔底部安装有工作台(9)，所述运动架(1)的右侧设置有计算机(10)，所述计算机(10)的内腔设置有图像采集卡(16)，所述工作台(9)包括第一固定板(11)，所述第一固定板(11)的外壁设置有两组螺杆(12)，所述第一固定板(11)通过两组螺杆(12)连接有第二固定板(13)，所述螺杆(12)的外壁顶部螺接有限位螺母(14)，所述第二固定板(13)的底部和第一固定板(11)的顶部均开设有夹槽(15)。

2.根据权利要求1所述的一种光学元件面形在位检测装置，其特征在于：所述运动架(1)的外壁四周均开设有长槽，所述横移直线模组(4)的两端分别贯穿左右两组长槽，所述纵移直线模组(6)的两端分别贯穿顶部和底部两组长槽。

3.根据权利要求1所述的一种光学元件面形在位检测装置，其特征在于：所述摄像机(8)为CCD摄像机。

4.根据权利要求1所述的一种光学元件面形在位检测装置，其特征在于：所述第二固定板(13)的外壁开设有两组螺槽，且两组螺杆(12)的顶端均贯穿螺槽。