CN206755189U - 可监测管路是否堵塞的排气管路监控系统 - Google Patents
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Abstract
一种可监测管路是否堵塞的排气管路监控系统，包含一个排气单元、一个尾气处理单元、一个感测单元，及一个监控单元。该排气单元包括一个用以运输废气的导气管。该感测单元包括一个连接该排气单元的导气管以侦测压力的压力侦测器，及一个电连接该压力侦测器并可显示该压力侦测器所测得的压力值的压力警示器。该监控单元包括一个设置于该尾气处理单元上且电连接该感测单元的控制器，及一个电连接该控制器的中央监控器。该压力侦测器可量测该导气管的压力值，并通过该压力警示器显示该导气管的压力状况，以供使用者评估该导气管是否有堵塞现象并可提早排除。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种排气管路监控系统，特别是涉及一种用于半导体制程设备且可监测管路是否堵塞的排气管路监控系统。
背景技术
半导体是目前市面上电子产品不可或缺的核心组件，因此需求甚巨，然而半导体制程中会产生具可燃性、爆炸性，及腐蚀性等性质的有害废气，若未经处理便直接排入大气中，不但会对人体造成伤害，也会对自然生态带来莫大的冲击。因此现时多会使用排气管路系统来处理半导体制程设备所产生的有害气体。
参阅图1，现有的排气管路系统1包含一个排气单元11、一个连接该排气单元11的尾气处理单元12，及一个设置于该排气单元11 上的温度侦测单元13。该排气单元11包括一个提供抽气动力的真空泵111、一个连接该真空泵111及该尾气处理单元12的导气管112、一个连接该导气管112并可受控制地启闭的电磁阀113，及一个连接该电磁阀113的进气管114。该温度侦测单元13包括一个连接该导气管112以侦测温度的温度侦测器131，及一个电连接该温度侦测器131 及该电磁阀113的温度警示器132。
该真空泵111可将有害气体引入该导气管112中，并顺着该导气管112流向该尾气处理单元12进行处理。而该温度侦测器131可监控该导气管112的温度，当温度超过设定值时，该温度警示器132便控制该电磁阀113开启以使该进气管114连通该导气管112，并引入大量氮气以稀释该导气管112内的气体，从而达到降低温度以避免回火的功效。同时该温度警示器132可显示温度并提出警示。
然而于该导气管112内流动的有害气体常带有各类粉尘，长期使用下容易堆积于该导气管112中而造成管路堵塞，造成机具损坏并产生安全问题。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种可监测管路是否堵塞的排气管路监控系统。
本实用新型可监测管路是否堵塞的排气管路监控系统；其特征在于：该排气管路监控系统包含一个排气单元、一个尾气处理单元、一个感测单元，及一个监控单元，该排气单元包括一个导气管、一个连接该导气管并用于将气体沿该导气管泵送的真空泵、一个连接该导气管并可受控制而启闭的电磁阀，及一个连接该电磁阀并可导入氮气的进气管，当该电磁阀开启时，该进气管是连通该导气管，以将氮气送入该进气管，当该电磁阀关闭时，该进气管是不连通该导气管，该尾气处理单元连通该导气管并处理由该导气管输入的气体，该感测单元包括一个连接该导气管以侦测温度的温度侦测器、一个电连接该温度侦测器及该排气单元的电磁阀的温度警示器、一个连接该导气管以侦测压力的压力侦测器，及一个电连接该压力侦测器的压力警示器，该温度警示器可显示该温度侦测器所测得的温度，并根据温度控制该电磁阀的启闭，该压力警示器可显示该压力侦测器所测得的压力，该监控单元包括一个设置于该尾气处理单元上且电连接该温度警示器及该压力警示器的控制器，及一个电连接该控制器的中央监控器，其中，该温度警示器及该压力警示器所接收到的量测信息，事先送至该控制器以供该尾气处理单元运用，再将量测信息连同该尾气处理单元的讯号一同发送给该中央监控器运用。
本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
较佳地，前述可监测管路是否堵塞的排气管路监控系统，其中该感测单元的温度警示器可在该导气管超过设定的温度时发出警示。
较佳地，前述可监测管路是否堵塞的排气管路监控系统，其中该感测单元的压力警示器可在该导气管超过设定的压力时发出警示。
本实用新型的有益的效果在于：该压力侦测器可量测该导气管的压力值，并通过该压力警示器显示该导气管的压力状况，以供使用者评估该导气管是否有堵塞现象并可提早排除。该温度警示器及该压力警示器所接收到的量测信息，是先送至该控制器以供该尾气处理单元运用，再将量测信息连通该尾气处理单元的讯号一同发送给该中央监控器运用。
附图说明
图1是一个示意图，说明一个现有的排气管路系统；及
图2是一个示意图，说明本实用新型可监测管路是否堵塞的排气管路监控系统的一个实施例。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。
参阅图2，本实用新型可监测管路是否堵塞的排气管路监控系统 2的一个实施例，包含一个排气单元3、一个连接该排气单元3的尾气处理单元4、一个设置于该排气单元3上的感测单元5，及一个电连接该感测单元5的监控单元6。
该排气单元3包括一个导气管31、一个连接该导气管31并用于将气体沿该导气管31泵送的真空泵32、一个连接该导气管31并可受电子讯号控制而启闭的电磁阀33，及一个连接该电磁阀33并可导入氮气的进气管34。当该电磁阀33受控制而开启时，该导气管31是与该进气管34相连通，而当该电磁阀33关闭时，该导气管31是不与该进气管34相连通。该尾气处理单元4是连通该导气管31。
该感测单元5包括一个连接该导气管31以侦测温度的温度侦测器51、一个电连接该温度侦测器51及该排气单元3的电磁阀33的温度警示器52、一个连接该导气管31以侦测压力的压力侦测器53，及一个电连接该压力侦测器53的压力警示器54。该温度警示器52可显示该温度侦测器51所测得的温度，并根据温度控制该电磁阀33的启闭。该压力警示器54可显示该压力侦测器53所测得的压力。该监控单元6包括一个设置于该尾气处理单元4上且电连接该温度警示器52 及该压力警示器54的控制器61，及一个电连接该控制器61的中央监控器62。该温度警示器52与压力警示器54分别具有一可发出警告的警示元件，如警示灯、蜂鸣器或显示器。半导体制程设备(图未示)所排出的废气是送入该排气单元3的导气管31中，并由该真空泵32泵送而输入该尾气处理单元4中以进行燃烧等后续处理。当该感测单元5的温度侦测器51测得该导气管31内的温度超过一定值时(在本实施例中是取摄氏70度)，该温度警示器52会发出警告并开启该电磁阀 33，以使大量氮气由该进气管34流入该导气管31内，以防止回火的状况发生。当该压力侦测器53测得该导气管31内的压力超过一定值时(在本实施例中是取0.35千帕)，该压力警示器54会发出警告并显示所测得的压力值，以供维护人员评估该导气管31内的堵塞状况。该温度警示器52及该压力警示器54所接收到的量测信息，事先送至该控制器61以供该尾气处理单元4运用，再将量测信息连通该尾气处理单元4的讯号一同发送给该中央监控器62运用。
通过该温度警示器52控制该电磁阀33以引入氮气，可避免回火状况发生，而该压力警示器54可供维护人员评估该导气管31内的管路堵塞状况，并可先一步处理以防止管路堵塞发生。该温度警示器52 及该压力警示器54皆电连接位于该尾气处理单元4内的控制器61，而与该控制器61连接的中央监控器62可再与其他设备配合以将获取的信息数据做进一步的应用或呈现。
综上所述，本实用新型借由该温度警示器52控制该电磁阀33，以避免回火情形发生，并通过该压力警示器54先一步警告维护人员该导气管31的管路状况，使维护人员能在管路堵塞并发生危险前先一步进行排除，故确实能达成本实用新型的目的。
Claims (3)
1.一种可监测管路是否堵塞的排气管路监控系统；其特征在于：该排气管路监控系统包含一个排气单元、一个尾气处理单元、一个感测单元，及一个监控单元，该排气单元包括一个导气管、一个连接该导气管并用于将气体沿该导气管泵送的真空泵、一个连接该导气管并可受控制而启闭的电磁阀，及一个连接该电磁阀并可导入氮气的进气管，当该电磁阀开启时，该进气管是连通该导气管，以将氮气送入该进气管，当该电磁阀关闭时，该进气管是不连通该导气管，该尾气处理单元连通该导气管并处理由该导气管输入的气体，该感测单元包括一个连接该导气管以侦测温度的温度侦测器、一个电连接该温度侦测器及该排气单元的电磁阀的温度警示器、一个连接该导气管以侦测压力的压力侦测器，及一个电连接该压力侦测器的压力警示器，该温度警示器可显示该温度侦测器所测得的温度，并根据温度控制该电磁阀的启闭，该压力警示器可显示该压力侦测器所测得的压力，该监控单元包括一个设置于该尾气处理单元上且电连接该温度警示器及该压力警示器的控制器，及一个电连接该控制器的中央监控器，其中，该温度警示器及该压力警示器所接收到的量测信息，事先送至该控制器以供该尾气处理单元运用，再将量测信息连同该尾气处理单元的讯号一同发送给该中央监控器运用。
2.根据权利要求1所述可监测管路是否堵塞的排气管路监控系统，其特征在于：该感测单元的温度警示器可在该导气管超过设定的温度时发出警示。
3.根据权利要求2所述可监测管路是否堵塞的排气管路监控系统，其特征在于：该感测单元的压力警示器可在该导气管超过设定的压力时发出警示。
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| CN111271607A (zh) * | 2020-01-19 | 2020-06-12 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 用于半导体设备的过压保护装置、方法及异常检测方法 |
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