CN206750371U - 一种基板搬运装置及镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供一种基板搬运装置及镀膜设备，涉及液晶显示器制作领域，能够方便弹簧定位块的安装，节省安装时间。所述基板搬运装置包括相对设置的内框架和外框架，外框架上设有基板押元；基板押元上设有多个弹性定位块，弹性定位块用于支撑和定位基板；弹性定位块包括支撑底座、支撑垫和弹性件；支撑底座的支撑面上设置有第一凹槽，支撑垫和弹性件均设置在第一凹槽内；弹性件的两端分别与第一凹槽的底面和支撑垫的底面抵接，弹性件可支撑支撑垫上下移动；弹性定位块还包括插入件，支撑底座的侧面上设置有插口，支撑垫上设置有与插入件配合的限位结构，插入件可插入插口和限位结构中，以限制支撑垫的位移量。本实用新型用于基板搬运。

Description

一种基板搬运装置及镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及液晶显示器制作领域，尤其涉及一种基板搬运装置及镀膜设备。

背景技术

在液晶面板的制造工艺中，金属膜和透明导电膜通常需要通过溅射成膜的技术来实现，在溅射成膜工艺中，一般利用基板搬送装置来承载玻璃基板在各个腔室中移动并完成镀膜。

现有技术中基板搬送装置的结构如图1所示，包括内框架01、外框架02、基板押元03和弹簧定位块04。内框架01和外框架02可以合并和分离，合并时会将玻璃基板固定在两者之间。基板押元03安装在外框架02上，弹簧定位块04安装在基板押元03上，起到定位和支撑玻璃基板的作用。如图2和图3所示，现有技术中的弹簧定位块04一般包括支撑底座041、支撑垫042和两个弹簧043，弹簧043安装在支撑底座041内部用以支撑支撑垫042，两个固定螺丝044将支撑底座041固定在基板押元03上。然而现有技术中在安装弹簧定位块04时，是将弹簧定位块04的各个部件逐一固定在基板押元03上的，这样使得弹簧定位块04安装起来不方便；并且现有技术中的弹簧043需要从支撑底座041的底部安装，由于弹簧043本身具有弹性，这样进一步造成安装不方便，并且会耗费大量安装时间。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种基板搬运装置及镀膜设备，能够方便弹簧定位块的安装，节省安装时间。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一方面，本实用新型实施例提供一种基板搬运装置，包括相对设置的内框架和外框架，所述基板的边缘可固定在所述内框架和所述外框架之间，所述外框架上设有基板押元；所述基板押元上设有多个弹性定位块，所述弹性定位块用于支撑和定位所述基板；

所述弹性定位块包括支撑底座、支撑垫和弹性件；所述支撑底座的支撑面上设置有第一凹槽，所述支撑垫和所述弹性件均设置在所述第一凹槽内；所述弹性件的两端分别与所述第一凹槽的底面和所述支撑垫的底面抵接，所述弹性件可支撑所述支撑垫上下移动；

所述弹性定位块还包括插入件，所述支撑底座的侧面上设置有插口，所述支撑垫上设置有与所述插入件配合的限位结构，所述插入件可插入所述插口和所述限位结构中，以限制所述支撑垫的位移量。

可选的，所述限位结构为卡槽，所述卡槽位于所述支撑垫的侧面上，所述插入件可插入所述插口和所述卡槽中，以限制所述支撑垫的位移量。

可选的，所述弹性件为弹簧，

所述第一凹槽的底面设置有圆柱状的第二凹槽，所述第二凹槽的直径与所述弹簧的外径相等；所述弹簧的一端与所述第二凹槽的底面抵接。

可选的，所述插入件上设置有第三凹槽，当所述插入件插入所述插口中时，所述第三凹槽的侧面和底面均与所述弹性件接触。

可选的，所述内框架或所述外框架靠近所述基板的一侧设置有温度传感器；

所述内框架上还设置有加热件，所述加热件用于对所述内框架进行加热；

还包括控制器，所述控制器用于根据所述温度传感器检测到的温度控制所述加热件的开启和关闭。

可选的，至少一个所述弹性定位块的所述插入件为所述温度传感器。

可选的，所述加热件围绕所述内框架一周分布。

可选的，所述温度传感器为负温度系数热敏电阻。

另一方面，本实用新型实施例提供一种镀膜设备，包括上述任一所述的基板搬运装置，以及具有所述基板搬运装置进口的箱体。

可选的，所述箱体的内侧底面上设置有轨道，所述基板搬运装置可沿所述轨道进入到所述箱体内。

本实用新型实施例提供的基板搬运装置，包括相对设置的内框架和外框架，基板的边缘可固定在内框架和外框架之间，外框架上设有基板押元；基板押元上设有多个弹性定位块，弹性定位块用于支撑和定位基板；弹性定位块包括支撑底座、支撑垫和弹性件；支撑底座的支撑面上设置有第一凹槽，支撑垫和弹性件均设置在第一凹槽内；弹性件的两端分别与第一凹槽的底面和支撑垫的底面抵接，弹性件可支撑支撑垫上下移动；弹性定位块还包括插入件，支撑底座的侧面上设置有插口，支撑垫上设置有与插入件配合的限位结构，插入件可插入插口和限位结构中，以限制支撑垫的位移量。相较于现有技术，本实用新型实施例中通过改变弹性定位块的结构，使得弹性定位块的各部分可以先组装成一个整体，然后再将组合后的弹性定位块安装在基板押元上，这样使得弹性定位块的安装更加方便；并且由于本实用新型实施例中的弹性件可以从支撑底座的上部放入，这样进一步方便了弹性定位块的安装，从而节省了安装时间。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术提供的一种基板搬运装置结构示意图；

图2为现有技术提供的一种弹性定位块的结构示意图；

图3为现有技术提供的一种弹性定位块的结构侧视图；

图4为本实用新型实施例提供的一种弹性定位块的结构爆炸图；

图5为本实用新型实施例提供的一种弹性定位块的结构示意图；

图6为本实用新型实施例提供的一种箱体及基板搬运装置结构示意图；

图7为本实用新型实施例提供的一种箱体结构示意图；

图8为本实用新型实施例提供的一种箱体及基板搬运装置结构正视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型实施例提供一种基板搬运装置10，如图4至图6所示，包括相对设置的内框架11和外框架12，所述基板的边缘可固定在内框架11和外框架12之间，外框架12上设有基板押元13；基板押元13上设有多个弹性定位块14，弹性定位块14用于支撑和定位所述基板；弹性定位块14包括支撑底座141、支撑垫142和弹性件143；支撑底座141的支撑面上设置有第一凹槽，支撑垫142和弹性件143均设置在所述第一凹槽内；弹性件143的两端分别与所述第一凹槽的底面和支撑垫142的底面抵接，弹性件143可支撑支撑垫142上下移动；弹性定位块14还包括插入件144，支撑底座141的侧面上设置有插口145，支撑垫142上设置有与插入件144配合的限位结构146，插入件144可插入插口145和限位结构146中，以限制支撑垫142的位移量。在实际应用中，基板搬运装置10也可称为托盘(Tray)。

参考图4和图5所示，在组装弹性定位块14时，先将弹性件143和支撑垫142放置在支撑底座141的所述第一凹槽内，使得弹性件143的两端分别与所述第一凹槽的底面和支撑垫142的底面抵接；然后将插入件144从支撑底座141的侧面的插口145插入支撑垫142的限位结构146中，实现支撑底座141与支撑垫142之间的连接，至此弹性定位块14的各部件就组装为一体了。再利用固定螺丝18将弹性定位块14固定在基板押元13上，这样方便了弹性定位块14的安装。

参考图5所示，图5中单向箭头示出了所述基板的下压方向，双向箭头示出了弹性件143的伸缩方向。在实际应用时，支撑垫142在弹性件143的弹力作用下会被顶起，而插入件144会限制支撑垫142的上移量，不会令支撑垫142在弹力的作用下无限上移。当所述基板压在弹性定位块14上时，首先接触到的是支撑垫142，所述基板的重力会将支撑垫142下压，此时插入件144会限制支撑垫142的下移量，不会令支撑垫142在所述基板的重力作用下无限下移。其中弹性件143起到缓冲作用。

这样一来，相较于现有技术，本实用新型实施例中通过改变弹性定位块的结构，使得弹性定位块的各部分可以先组装成一个整体，然后再将组合后的弹性定位块安装在基板押元上，这样使得弹性定位块的安装更加方便；并且由于本实用新型实施例中的弹性件可以从支撑底座的上部放入，这样进一步方便了弹性定位块的安装，从而节省了安装时间。

进一步的，参考图4所示，限位结构146为卡槽，所述卡槽位于支撑垫142的侧面上，插入件144可插入插口145和所述卡槽中，以限制支撑垫142的位移量。通过将插入件144插入插口145和所述卡槽中，可以简单方便的实现支撑底座141和支撑垫142之间的连接。

需要说明的是，在实际应用中，还可以在支撑垫142上设凸起，在插入件144上设卡槽，当插入件144从插口145插入时，支撑垫142上的凸起插入到插入件144的卡槽中，这种结构同样可以实现支撑底座141和支撑垫142之间的连接。

进一步的，参考图4所示，弹性件143为弹簧，所述第一凹槽的底面设置有圆柱状的第二凹槽147，第二凹槽147的直径与所述弹簧的外径相等；所述弹簧的一端与第二凹槽147的底面抵接。通过设置第二凹槽147可对弹簧底部进行定位，防止弹簧底部晃动，并且方便弹簧的安装。

可选的，参考图4所示，插入件144上设置有第三凹槽148，当插入件144插入插口145中时，第三凹槽148的侧面和底面均与弹性件143接触。这样第三凹槽148可在径向方向上对弹性件143进行定位和支撑，使得弹性件143只能上下伸缩，从而更好地支撑支撑垫142。

在实际应用中，由于镀膜设备的腔室是高温、高真空环境的，腔室内的高温可以对基板搬运装置起到加热作用，但当镀膜设备出现故障而停机时，停留在大气中和真空大气转换腔室中的基板搬运装置没有热源对其加热，此时基板搬运装置会降温，降温后的基板搬运装置极易吸收空气中的水汽等杂质气体。由于基板搬运装置的四周与基板直接接触，四周气氛异常会导致成膜后膜质异常，影响产品的良率，严重时会导致基板报废。另外，膜质异常时对后工序也会产生影响。因此，为杜绝此类不良的发生，基板搬运装置的温度管控至关重要。

因而进一步的，参考图6所示，内框架11或外框架12靠近所述基板的一侧设置有温度传感器；内框架11上还设置有加热件15，加热件15用于对内框架11进行加热；还包括控制器16，控制器16用于根据所述温度传感器检测到的温度控制加热件15的开启和关闭。

其中，所述温度传感器可以为正温度系数热敏电阻，也可以为负温度系数热敏电阻，本实用新型实施例对此不作限定。由于负温度系数热敏电阻的温度测量范围较宽，因而较佳的，所述温度传感器为负温度系数热敏电阻。

所述温度传感器位于内框架11或外框架12靠近所述基板的一侧，本实用新型实施例对于温度传感器的具体设置位置不作限定。由于弹性定位块14与基板直接接触，因而较佳的，将温度传感器设置在弹性定位块14上，或者将温度传感器作为弹性定位块14的一个组成部分，即至少一个弹性定位块14的插入件144为所述温度传感器。这样插入件144在完成固定功能的同时，也可感知温度。图6中实心黑色的弹性定位块14的插入件144为所述温度传感器，本实用新型实施例对于所述温度传感器的设置数量和分布等均不作限定。

当镀膜设备需长时间停机时，工作人员启动负温度系数热敏电阻与控制器16连接的开关。当基板搬运装置10温度下降到第一预设值后，负温度系数热敏电阻的阻值急剧增大，控制器16指示开始加热，安装在内框架11上的加热件15与电源17接通，使得加热件15通电开始加热。当温度上升到第二预设值时，负温度系数热敏电阻的阻值急剧下降，控制器16控制加热件15停止加热，如此往复，使基板搬运装置10维持在特定的温度内。需要说明的是，本实用新型实施例中控制器16根据所述温度传感器检测到的温度控制加热件15的开启和关闭中所涉及的软件程序内容其功能实现为现有技术，因而在此不做赘述。

现有技术中的基板搬运装置10的内框架11一般为实心金属框架，本实用新型实施例中内框架11内部的加热件15选用金属加热丝。为了对基板搬运装置10进行均匀加热，加热件15围绕内框架11一周分布。

现有设计中，基板搬运装置10长时间使用后吸收了空气中大量的杂质气体，而一般镀膜设备的腔室内的温度设置不能达到基板搬运装置10材质的排气点，使得大量杂质气体不能排出，滞留在基板搬运装置10内而最终影响产品良率。而本实用新型实施例中由于基板搬运装置10的内框架11内设置了加热件15，控制器16可以控制加热件15按照需求温度进行加热，使得基板搬运装置10的温度达到其材质的排气点，进而使得基板搬运装置10内的大量杂质气体被排出。这样延长了基板搬运装置10的使用寿命，同时避免了基板搬运装置10气氛异常影响产品良率。

由于安装在弹性定位块14内的负温度系数热敏电阻可实时监控基板搬运装置10的温度变化，并且控制器16可根据所述温度变化自动控制加热件15加热，使得基板搬运装置10的温度维持在工艺需求的温度范围内，这样当镀膜设备复机时，可将基板搬运装置10直接导入设备内使用，不需要再对基板搬运装置10进行加热，因而缩短了镀膜设备的复机时间。

本实用新型实施例提供的基板搬运装置，包括相对设置的内框架和外框架，基板的边缘可固定在内框架和外框架之间，外框架上设有基板押元；基板押元上设有多个弹性定位块，弹性定位块用于支撑和定位基板；弹性定位块包括支撑底座、支撑垫和弹性件；支撑底座的支撑面上设置有第一凹槽，支撑垫和弹性件均设置在第一凹槽内；弹性件的两端分别与第一凹槽的底面和支撑垫的底面抵接，弹性件可支撑支撑垫上下移动；弹性定位块还包括插入件，支撑底座的侧面上设置有插口，支撑垫上设置有与插入件配合的限位结构，插入件可插入插口和限位结构中，以限制支撑垫的位移量。相较于现有技术，本实用新型实施例中通过改变弹性定位块的结构，使得弹性定位块的各部分可以先组装成一个整体，然后再将组合后的弹性定位块安装在基板押元上，这样使得弹性定位块的安装更加方便；并且由于本实用新型实施例中的弹性件可以从支撑底座的上部放入，这样进一步方便了弹性定位块的安装，从而节省了安装时间。

本实用新型另一实施例提供一种镀膜设备，参考图7和图8所示，包括上述任一所述的基板搬运装置10，以及具有基板搬运装置10进口的箱体20。其中，箱体20具有耐高温和隔热的功能。当需要对基板搬运装置10进行加热时，可将基板搬运装置10从大气中或真空大气转换腔室中移动到箱体20中进行加热，这样可以保证加热时的安全性。

进一步的，参考图8所示，箱体20的内侧底面上设置有轨道21，基板搬运装置10可沿轨道21进入到箱体20内。这样方便了基板搬运装置10的移动。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种基板搬运装置，包括相对设置的内框架和外框架，所述基板的边缘可固定在所述内框架和所述外框架之间，所述外框架上设有基板押元；其特征在于，所述基板押元上设有多个弹性定位块，所述弹性定位块用于支撑和定位所述基板；

所述弹性定位块包括支撑底座、支撑垫和弹性件；所述支撑底座的支撑面上设置有第一凹槽，所述支撑垫和所述弹性件均设置在所述第一凹槽内；所述弹性件的两端分别与所述第一凹槽的底面和所述支撑垫的底面抵接，所述弹性件可支撑所述支撑垫上下移动；

所述弹性定位块还包括插入件，所述支撑底座的侧面上设置有插口，所述支撑垫上设置有与所述插入件配合的限位结构，所述插入件可插入所述插口和所述限位结构中，以限制所述支撑垫的位移量。

2.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，所述限位结构为卡槽，所述卡槽位于所述支撑垫的侧面上，所述插入件可插入所述插口和所述卡槽中，以限制所述支撑垫的位移量。

3.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，所述弹性件为弹簧，

所述第一凹槽的底面设置有圆柱状的第二凹槽，所述第二凹槽的直径与所述弹簧的外径相等；所述弹簧的一端与所述第二凹槽的底面抵接。

4.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，

所述插入件上设置有第三凹槽，当所述插入件插入所述插口中时，所述第三凹槽的侧面和底面均与所述弹性件接触。

5.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，所述内框架或所述外框架靠近所述基板的一侧设置有温度传感器；

所述内框架上还设置有加热件，所述加热件用于对所述内框架进行加热；

还包括控制器，所述控制器用于根据所述温度传感器检测到的温度控制所述加热件的开启和关闭。

6.根据权利要求5所述的基板搬运装置，其特征在于，至少一个所述弹性定位块的所述插入件为所述温度传感器。

7.根据权利要求5所述的基板搬运装置，其特征在于，所述加热件围绕所述内框架一周分布。

8.根据权利要求5所述的基板搬运装置，其特征在于，所述温度传感器为负温度系数热敏电阻。

9.一种镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1至8中任一项所述的基板搬运装置，以及具有所述基板搬运装置进口的箱体。

10.根据权利要求9所述的镀膜设备，其特征在于，所述箱体的内侧底面上设置有轨道，所述基板搬运装置可沿所述轨道进入到所述箱体内。