CN206443651U - 微电子器件除尘装置 - Google Patents
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Abstract
微电子器件除尘装置，包括支撑圆板，支撑圆板的外周设有环形套，环形套的套体为中空结构，环形套的套体内侧开设数个通气孔，环形套连接导管的一端，导管的另一端连接吸尘器；支撑圆板的中间处安装离子风枪，离子风枪连接离子发生器。本实用新型中，通过环形套扣在芯片上，形成一个较为封闭的空间，灰尘由外周的通气孔吸走，避免灰尘飘落，提高除尘效率。
Description
技术领域
本实用新型属于微电子除尘领域，具体地说是一种微电子器件除尘装置。
背景技术
微电子器件属于精密器件，其对生产环境有较高要求，当该器件遇有灰尘时，必须及时清除。但是实际应用中，缺少有效的除尘工具和装置。CN 102599848 A公开了一种微电子器件除尘装置，这种装置除尘密封性较差，容易造成灰尘四处飘落。
实用新型内容
本实用新型提供一种微电子器件除尘装置，用以解决现有技术中的缺陷。
本实用新型通过以下技术方案予以实现：
微电子器件除尘装置，包括支撑圆板，支撑圆板的外周设有环形套，环形套的套体为中空结构，环形套的套体内侧开设数个通气孔，环形套连接导管的一端，导管的另一端连接吸尘器；支撑圆板的中间处安装离子风枪，离子风枪连接离子发生器。
如上所述的微电子器件除尘装置，所述的支撑圆板上安装导风管，导风管的下口与支撑圆板相通，导风管的上口安装风扇。
如上所述的微电子器件除尘装置，所述的离子发生器和吸尘器均安装在导风管上。
如上所述的微电子器件除尘装置，所述的环形套的下部安装支撑环，支撑环的下部安装刷毛。
本实用新型的优点是：本实用新型中，通过环形套扣在芯片上，形成一个较为封闭的空间，灰尘由外周的通气孔吸走，避免灰尘飘落，提高除尘效率。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型的结构示意图。
图号标注：1离子发生器，2风扇，3吸尘器，4导管，5支撑环，6刷毛，7环形套，8支撑圆板，9离子风枪，10导风管，11通气孔。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
微电子器件除尘装置，如图1所示，包括支撑圆板8，支撑圆板8的外周设有环形套7，环形套7的套体为中空结构，环形套7的套体内侧开设数个通气孔11，环形套7连接导管4的一端，导管4的另一端连接吸尘器3；支撑圆板8的中间处安装离子风枪9，离子风枪9连接离子发生器1。
具体而言，本实施例所述的支撑圆板8上安装导风管10，导风管10的下口与支撑圆板8相通，导风管10的上口安装风扇2。风扇2将风流出入导风管10内，导风管10将支撑圆板8内的离子继续分散，提高除尘效果。
具体的，为了使各个部件更加紧凑，本实施例所述的离子发生器1和吸尘器3均安装在导风管10上。
进一步的，为了方便对灰尘进行初步清理，本实施例所述的环形套7的下部安装支撑环5，支撑环5的下部安装刷毛6。通过刷毛6能够提高清洁效果。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (4)
1.微电子器件除尘装置，其特征在于：包括支撑圆板（8），支撑圆板（8）的外周设有环形套（7），环形套（7）的套体为中空结构，环形套（7）的套体内侧开设数个通气孔（11），环形套（7）连接导管（4）的一端，导管（4）的另一端连接吸尘器（3）；支撑圆板（8）的中间处安装离子风枪（9），离子风枪（9）连接离子发生器（1）。
2.根据权利要求1所述的微电子器件除尘装置，其特征在于：所述的支撑圆板（8）上安装导风管（10），导风管（10）的下口与支撑圆板（8）相通，导风管（10）的上口安装风扇（2）。
3.根据权利要求2所述的微电子器件除尘装置，其特征在于：所述的离子发生器（1）和吸尘器（3）均安装在导风管（10）上。
4.根据权利要求1所述的微电子器件除尘装置，其特征在于：所述的环形套（7）的下部安装支撑环（5），支撑环（5）的下部安装刷毛（6）。
Priority Applications (1)
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| CN201621107716.2U CN206443651U (zh) | 2016-10-10 | 2016-10-10 | 微电子器件除尘装置 |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN206443651U true CN206443651U (zh) | 2017-08-29 |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108499919A (zh) * | 2018-05-30 | 2018-09-07 | 广东长天精密设备科技有限公司 | 一种背光源清洁机构 |
| CN109174819A (zh) * | 2018-08-23 | 2019-01-11 | 安徽星宇生产力促进中心有限公司 | 一种微电子器件除尘装置 |
| CN109909230A (zh) * | 2019-03-06 | 2019-06-21 | 泉州丰泽如德机械科技有限公司 | 一种电子产品用电路板除尘设备 |
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2016
- 2016-10-10 CN CN201621107716.2U patent/CN206443651U/zh not_active Expired - Fee Related
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