CN206410275U - 一种半导体厂房新风机组 - Google Patents

一种半导体厂房新风机组 Download PDF

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杨林峰
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Abstract

本实用新型提供一种半导体厂房新风机组，包括箱体和箱体通过水平放置的保温隔板隔开的上箱体和下箱体，其特征在于，下箱体包括过滤腔、冷风腔和热风腔，过滤腔内依次设置有初效过滤器、中高效过滤器、氯气过滤器、一号化学过滤器和紫外线杀菌灯，冷风腔内依次设置一号湿膜过滤器和表冷器，热风腔两侧设置有二号风机和二号出风风阀，热风腔内设置有电热装置；上箱体内设置有二号化学过滤器、二号湿膜过滤器和活性炭过滤装置。本实用新型结构简单，操作方便，能对新风达到进行除菌、去除腐蚀性气体的过滤效果，模块化设置新风、回风的输出与过滤，稳定厂房内气压，提供洁净的工作空间，针对输出气体过滤腐蚀性气体，保护环境。

Description

一种半导体厂房新风机组
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域，特别是涉及一种半导体厂房新风机组。
背景技术
目前，半导体厂房存在四大类污染，颗粒、纤维、细菌、粘液等，有一部分是操作中产生的，而有一部分是新风系统导致的。现有新风系统大多包括空气过滤装置，除菌效果差，氯的含量过高将导致晶片表面受到不需要的刻蚀，也无模块化式部署，结构复杂，成本高，空气洁净度达不到半导体厂房的等级。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种半导体厂房新风机组，用于解决现有技术的难点。
为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种半导体厂房新风机组，包括：箱体，所述箱体包括通过水平放置的保温隔板隔开的上箱体1和下箱体2，其特征在于，所述下箱体包括通过水平放置的T字型保温隔板隔开的过滤腔3、冷风腔4和热风腔5，所述过滤腔3远离冷风腔4的一侧设置有一号进风风阀31，所述过滤腔3内随新风输入方向依次设置有初效过滤器32、中高效过滤器33、氯气过滤器34和一号化学过滤器35，所述过滤腔3顶部安装有紫外线杀菌灯36；所述冷风腔4靠近过滤腔3的一侧设置有一号风机41，所述冷风腔4的另一侧设置有一号出风风阀42，所述冷风腔4内随新风输入方向依次设置一号湿膜过滤器43和表冷器44，所述热风腔5靠近过滤腔3的一侧设置有二号风机51，所述热风腔5的另一侧设置有二号出风风阀52，所述热风腔5内设置有电热装置53；所述上箱体1靠近一号出风风阀42的一侧设置有一号回风风阀11，所述上箱体1内随回风输出方向依次设置有二号化学过滤器12、二号湿膜过滤器13和活性炭过滤装置14，所述上箱体1远离一号回风风阀11的一侧设置有三号出风风阀15。
优选的，所述上箱体1靠近三号出风风阀15的一侧通过水平放置的T型保温隔板隔成出风腔6和回风腔7，所述活性炭过滤装置14设置在出风腔6内，所述出风腔6靠近二号湿膜过滤器13的一侧设置有四号出风风阀61，所述回风腔7靠近二号湿膜过滤器13的一侧设置有二号回风风阀71，所述回风腔7下方靠近一号进风风阀31的一端设置有二号进风风阀72。
优选的，所述二号湿膜过滤器13通过管道17与设置在上箱体1内的水箱16连接，所述设置在二号湿膜过滤器13下方的保温隔板上设置有通孔，所述一号湿膜过滤器43通过管道17穿过通孔与水箱16连接，所述管道17与保温隔板之间设置有密封装置。
优选的，所述密封装置为弹性密封圈。
如上所述，本实用新型提供一种洁净室公共管架，新风从一号进风风阀31进入，依次经过初效过滤器32、中高效过滤器33、氯气过滤器34和一号化学过滤器35过滤，并经过紫外线杀菌灯36杀菌处理，当室内温度过高时，一号出风风阀42开启，一号风机41运作，经过一号湿膜过滤器43和表冷器44的冷风从一号出风风阀42输出；当当室内温度过低时，一号出风风阀42关闭，一号风机41停止运作，二号出风风阀52开启，二号风机51运作，新风经过电热装置53的热风从二号出风风阀52输出；
此外，回风从一号回风风阀11进入，并依次由二号湿膜过滤器13和活性炭过滤装置14过滤从三号出风风阀15输出。
本实用新型结构简单，操作方便，能对新风达到进行除菌、去除腐蚀性气体的过滤效果，模块化设置新风、回风的输出与过滤，根据厂房实际情况，冷热风的及时调整，稳定厂房内气压，提供洁净的工作空间，针对输出气体过滤腐蚀性气体，保护环境。
附图说明
图1显示为本实用新型实施例一的结构示意图；
图2显示为本实用新型实施例二的结构示意图；
标号说明
1、上箱体，11、一号回风风阀，12、二号化学过滤器，13、二号湿膜过滤器，14、活性炭过滤装置，15、三号出风风阀，16、水箱，17、管道；
2、下箱体；
3、过滤腔，31、一号进风风阀，32、初效过滤器，33、中高效过滤器，34、氯气过滤器，35、一号化学过滤器，36、紫外线杀菌灯；
4、冷风腔，41、一号风机，42、一号出风风阀，43、一号湿膜过滤器，44、表冷器；
5、热风腔，51、二号风机，52、二号出风风阀，53、电热装置；
6、出风腔，61、四号出风风阀；
7、回风腔，71、二号回风风阀。
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
实施例一，如图1所示，本实用新型提供一种半导体厂房新风机组，包括：箱体，所述箱体包括通过水平放置的保温隔板隔开的上箱体1和下箱体2，其特征在于，所述下箱体包括通过水平放置的T字型保温隔板隔开的过滤腔3、冷风腔4和热风腔5，所述过滤腔3远离冷风腔4的一侧设置有一号进风风阀31，所述过滤腔3内随新风输入方向依次设置有初效过滤器32、中高效过滤器33、氯气过滤器34和一号化学过滤器35，所述过滤腔3顶部安装有紫外线杀菌灯36；所述冷风腔4靠近过滤腔3的一侧设置有一号风机41，所述冷风腔4的另一侧设置有一号出风风阀42，所述冷风腔4内随新风输入方向依次设置一号湿膜过滤器43和表冷器44，所述热风腔5靠近过滤腔3的一侧设置有二号风机51，所述热风腔5的另一侧设置有二号出风风阀52，所述热风腔5内设置有电热装置53；所述上箱体1靠近一号出风风阀42的一侧设置有一号回风风阀11，所述上箱体1内随回风输出方向依次设置有二号化学过滤器12、二号湿膜过滤器13和活性炭过滤装置14，所述上箱体1远离一号回风风阀11的一侧设置有三号出风风阀15。
本实施中优选的，所述二号湿膜过滤器13通过管道17与设置在上箱体1内的水箱16连接，所述设置在二号湿膜过滤器13下方的保温隔板上设置有通孔，所述一号湿膜过滤器43通过管道17穿过通孔与水箱16连接，所述管道17与保温隔板之间设置有密封装置。
本实施中优选的，所述密封装置为弹性密封圈。
如上所述，本实用新型提供一种洁净室公共管架，新风从一号进风风阀31进入，依次经过初效过滤器32、中高效过滤器33、氯气过滤器34和一号化学过滤器35过滤，并经过紫外线杀菌灯36杀菌处理，当室内温度过高时，一号出风风阀42开启，一号风机41运作，经过一号湿膜过滤器43和表冷器44的冷风从一号出风风阀42输出；当当室内温度过低时，一号出风风阀42关闭，一号风机41停止运作，二号出风风阀52开启，二号风机51运作，新风经过电热装置53的热风从二号出风风阀52输出；
此外，因半导体生产过程中会生成些加工设备在生产过程中会产生各种废气或腐蚀性气 体，排出的也应该经过过滤，回风从一号回风风阀11进入，并依次由二号湿膜过滤器13和活性炭过滤装置14过滤从三号出风风阀15输出。
实施例二，如图2所示，实施例二和实施例一编号相同代表的意义相同，不重述，其区别在于：本实施例二所述上箱体1靠近三号出风风阀15的一侧通过水平放置的T型保温隔板隔成出风腔6和回风腔7，所述活性炭过滤装置14设置在出风腔6内，所述出风腔6靠近二号湿膜过滤器13的一侧设置有四号出风风阀61，所述回风腔7靠近二号湿膜过滤器13的一侧设置有二号回风风阀71，所述回风腔7下方靠近一号进风风阀31的一端设置有二号进风风阀72。
如上所述，本实用新型提供一种洁净室公共管架，实施例二新风过滤与出风与实施例一相同，不同在于，实施例二设置有回风装置，回风从一号回风风阀11进入，并由二号湿膜过滤器13过滤，二号回风风阀71开启，并从二号进风风阀72输出，进入过滤腔3，与新风混合，具有节能的效果。
所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (4)

1.一种半导体厂房新风机组，包括：箱体，所述箱体包括通过水平放置的保温隔板隔开的上箱体（1）和下箱体（2），其特征在于，所述下箱体包括通过水平放置的T字型保温隔板隔开的过滤腔（3）、冷风腔（4）和热风腔（5），
所述过滤腔（3）远离冷风腔（4）的一侧设置有一号进风风阀（31），所述过滤腔（3）内随新风输入方向依次设置有初效过滤器（32）、中高效过滤器（33）、氯气过滤器（34）和一号化学过滤器（35），所述过滤腔（3）顶部安装有紫外线杀菌灯（36）；
所述冷风腔（4）靠近过滤腔（3）的一侧设置有一号风机（41），所述冷风腔（4）的另一侧设置有一号出风风阀（42），所述冷风腔（4）内随新风输入方向依次设置一号湿膜过滤器（43）和表冷器（44），所述热风腔（5）靠近过滤腔（3）的一侧设置有二号风机（51），所述热风腔（5）的另一侧设置有二号出风风阀（52），所述热风腔（5）内设置有电热装置（53）；
所述上箱体（1）靠近一号出风风阀（42）的一侧设置有一号回风风阀（11），所述上箱体（1）内随回风输出方向依次设置有二号化学过滤器（12）、二号湿膜过滤器（13）和活性炭过滤装置（14），所述上箱体（1）远离一号回风风阀（11）的一侧设置有三号出风风阀（15）。
2.根据权利要求1所述的一种半导体厂房新风机组，其特征在于，所述上箱体（1）靠近三号出风风阀（15）的一侧通过水平放置的T型保温隔板隔成出风腔（6）和回风腔（7），所述活性炭过滤装置（14）设置在出风腔（6）内，所述出风腔（6）靠近二号湿膜过滤器（13）的一侧设置有四号出风风阀（61），所述回风腔（7）靠近二号湿膜过滤器（13）的一侧设置有二号回风风阀（71），所述回风腔（7）下方靠近一号进风风阀（31）的一端设置有二号进风风阀（72）。
3.根据权利要求1或2所述的一种半导体厂房新风机组，其特征在于，所述二号湿膜过滤器（13）通过管道（17）与设置在上箱体（1）内的水箱（16）连接，所述设置在二号湿膜过滤器（13）下方的保温隔板上设置有通孔，所述一号湿膜过滤器（43）通过管道（17）穿过通孔与水箱（16）连接，所述管道（17）与保温隔板之间设置有密封装置。
4.根据权利要求3所述的一种半导体厂房新风机组，其特征在于，所述密封装置为弹性密封圈。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN107781936A (zh) * 2017-11-22 2018-03-09 纳琦环保科技有限公司 一种流体温控呼吸通畅滤化仪

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