CN206308446U - 一种新型硅晶炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种新型硅晶炉,其包括炉壳,所述的炉壳的底壁上设有支撑柱,支撑柱的顶端设有坩埚座,在坩埚座上设有坩埚,在炉壳内还设有供气管,供气管的一端与炉壳的进气口相接通,供气管的另一端延伸至坩埚的内腔,在炉壳的两侧分别设有第一出气口和第二出气口,第一出气口与第二出气口成镜像对称,所述的第一出气口和第二出气口高于坩埚下表面,第一出气口和第二出气口低于供气管的出气端,采用双开口式结构,使得惰性气体进入坩埚后均匀向两侧扩散,使得惰性气体分散均匀后下料加热,使得各个部分惰性气体分散浓度相同,不会出现侧偏的情况。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅晶制作设备中用单晶炉,特别适用于快速换气均匀热场硅晶炉。
背景技术
多晶铸锭炉保温部件在其中占有很重要的位置,且在产品制造过程加工中的成本分量很大,尤其是一些易损件更换频率较高,直接增加了加工成本,并且硅晶炉中需要冲入氩气,以防止产品与氧气反应,但是冲入的氩气会影响内部热场均匀度,当内部热场出现热场温度不均时,产生的硅料会有较大下次,所以需要一种技术方案来均匀硅晶炉内部热场。
发明内容
实用新型目的,本实用新型针对上述现有的单晶炉容易出现热场不均的问题,而提供了一种新型硅晶炉,其具备自动均衡热场,加热高效,可以根据热量进行高度调节的功能。
本实用新型所要解决的问题是由以下技术方案实现的:
提供了了一种新型硅晶炉,其包括炉壳,其特征在于:所述的炉壳的底壁上设有支撑柱,支撑柱的顶端设有坩埚座,在坩埚座上设有坩埚,在炉壳内还设有供气管,供气管的一端与炉壳的进气口相接通,供气管的的另一端延伸至坩埚的内腔,在炉壳的两侧分别设有第一出气口和第二出气口,第一出气口与第二出气口成镜像对称,所述的第一出气口和第二出气口高于坩埚下表面,第一出气口和第二出气口低于供气管的出气端。
进一步的,还包括方形的密封舱,所述的炉壳内设有提升杆,提升杆的底端设有挡块,提升杆穿过密封舱,所述的支撑柱穿过密封舱,所述的坩埚位于密封舱内。
进一步的,所述的密封舱的底部开有多个出气缝,所述的出气缝为条形开口。
进一步的,所述的密封舱由六块面板组成。
进一步的,还包括坩埚固定板,坩埚固定板固定在坩埚的上表面,坩埚固定板与提升杆固定连接。
进一步的,还包括加热圈,所述的加热圈环绕坩埚设置。
本实用新型相对于现有而言具有的有益效果:
采用双开口式结构,使得惰性气体进入坩埚后溢出呈螺旋线状均匀向两侧扩散,使得惰性气体分散均匀后下料加热,使得各个部分惰性气体分散浓度相同,不会出现侧偏的情况。
通过采用升降式结构,使用导向柱进行升降,保证竖直方向的准心度,并且保证水平高度以适应不同温度。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型的坩埚结构示意图。
其中,炉壳1、支撑柱2、坩埚座3、提升杆4、供气管5、坩埚固定板6、坩埚7、加热圈8。
具体实施方式
参照图1、图2所示,提供了一种新型硅晶炉,包括炉壳1、还方形的密封舱,所述的炉壳的底壁上设有支撑柱2,所述的炉壳内顶壁上设有提升杆4,提升杆的底端设有挡块,提升杆穿过密封舱,所述的支撑柱穿过密封舱,所述的坩埚位于密封舱内,所述的密封舱由六块面板组成,支撑柱的顶端设有坩埚座3,在坩埚座上设有坩埚7,坩埚位于密封舱内,在坩埚的上表面固定有坩埚固定板,坩埚固定板与提升杆固定连接,坩埚设置外环绕有加热圈。
为保证良好的气体环境,在炉壳内还设有供气管5,供气管的一端与炉壳的进气口相接通,供气管的的另一端延伸至坩埚的内腔,在炉壳的两侧分别设有第一出气口和第二出气口,第一出气口与第二出气口成镜像对称,所述的第一出气口和第二出气口高于坩埚下表面,第一出气口和第二出气口低于供气管的出气端,所述的密封舱的底部开有多个出气缝,所述的出气缝为条形开口。
Claims (6)
1.一种新型硅晶炉,包括炉壳(1),其特征在于:所述的炉壳的底壁上设有支撑柱(2),支撑柱的顶端设有坩埚座(3),在坩埚座上设有坩埚(7),在炉壳内还设有供气管(5),供气管的一端与炉壳的进气口相接通,供气管的另一端延伸至坩埚的内腔,在炉壳的两侧分别设有第一出气口和第二出气口,第一出气口与第二出气口成镜像对称,所述的第一出气口和第二出气口高于坩埚下表面,第一出气口和第二出气口低于供气管的出气端。
2.根据权利要求1所述的一种新型硅晶炉,其特征在于:还包括方形的密封舱,所述的炉壳内设有提升杆(4),提升杆的底端设有挡块,提升杆穿过密封舱,所述的支撑柱穿过密封舱,所述的坩埚位于密封舱内。
3.根据权利要求2所述的一种新型硅晶炉,其特征在于:所述的密封舱的底部开有多个出气缝,所述的出气缝为条形开口。
4.根据权利要求2所述的一种新型硅晶炉,其特征在于:所述的密封舱由六块面板组成。
5.根据权利要求2所述的一种新型硅晶炉,其特征在于:还包括坩埚固定板(6),坩埚固定板固定在坩埚的上表面,坩埚固定板与提升杆固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种新型硅晶炉,其特征在于:还包括加热圈(8),所述的加热圈环绕坩埚设置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN109183148A (zh) * | 2018-11-21 | 2019-01-11 | 晶科能源有限公司 | 一种铸锭炉 |
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