CN206308446U - 一种新型硅晶炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种新型硅晶炉，其包括炉壳，所述的炉壳的底壁上设有支撑柱，支撑柱的顶端设有坩埚座，在坩埚座上设有坩埚，在炉壳内还设有供气管，供气管的一端与炉壳的进气口相接通，供气管的另一端延伸至坩埚的内腔，在炉壳的两侧分别设有第一出气口和第二出气口，第一出气口与第二出气口成镜像对称，所述的第一出气口和第二出气口高于坩埚下表面，第一出气口和第二出气口低于供气管的出气端，采用双开口式结构，使得惰性气体进入坩埚后均匀向两侧扩散，使得惰性气体分散均匀后下料加热，使得各个部分惰性气体分散浓度相同，不会出现侧偏的情况。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅晶制作设备中用单晶炉，特别适用于快速换气均匀热场硅晶炉。
背景技术
多晶铸锭炉保温部件在其中占有很重要的位置，且在产品制造过程加工中的成本分量很大，尤其是一些易损件更换频率较高，直接增加了加工成本,并且硅晶炉中需要冲入氩气，以防止产品与氧气反应，但是冲入的氩气会影响内部热场均匀度，当内部热场出现热场温度不均时，产生的硅料会有较大下次，所以需要一种技术方案来均匀硅晶炉内部热场。
发明内容
实用新型目的，本实用新型针对上述现有的单晶炉容易出现热场不均的问题，而提供了一种新型硅晶炉，其具备自动均衡热场，加热高效，可以根据热量进行高度调节的功能。
本实用新型所要解决的问题是由以下技术方案实现的：
提供了了一种新型硅晶炉，其包括炉壳，其特征在于：所述的炉壳的底壁上设有支撑柱，支撑柱的顶端设有坩埚座，在坩埚座上设有坩埚，在炉壳内还设有供气管，供气管的一端与炉壳的进气口相接通，供气管的的另一端延伸至坩埚的内腔，在炉壳的两侧分别设有第一出气口和第二出气口，第一出气口与第二出气口成镜像对称，所述的第一出气口和第二出气口高于坩埚下表面，第一出气口和第二出气口低于供气管的出气端。
进一步的，还包括方形的密封舱，所述的炉壳内设有提升杆，提升杆的底端设有挡块，提升杆穿过密封舱，所述的支撑柱穿过密封舱，所述的坩埚位于密封舱内。
进一步的，所述的密封舱的底部开有多个出气缝，所述的出气缝为条形开口。
进一步的，所述的密封舱由六块面板组成。
进一步的，还包括坩埚固定板，坩埚固定板固定在坩埚的上表面，坩埚固定板与提升杆固定连接。
进一步的，还包括加热圈，所述的加热圈环绕坩埚设置。
本实用新型相对于现有而言具有的有益效果：
采用双开口式结构，使得惰性气体进入坩埚后溢出呈螺旋线状均匀向两侧扩散，使得惰性气体分散均匀后下料加热，使得各个部分惰性气体分散浓度相同，不会出现侧偏的情况。
通过采用升降式结构，使用导向柱进行升降，保证竖直方向的准心度，并且保证水平高度以适应不同温度。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型的坩埚结构示意图。
其中，炉壳1、支撑柱2、坩埚座3、提升杆4、供气管5、坩埚固定板6、坩埚7、加热圈8。
具体实施方式
参照图1、图2所示，提供了一种新型硅晶炉，包括炉壳1、还方形的密封舱，所述的炉壳的底壁上设有支撑柱2，所述的炉壳内顶壁上设有提升杆4，提升杆的底端设有挡块，提升杆穿过密封舱，所述的支撑柱穿过密封舱，所述的坩埚位于密封舱内，所述的密封舱由六块面板组成，支撑柱的顶端设有坩埚座3，在坩埚座上设有坩埚7，坩埚位于密封舱内，在坩埚的上表面固定有坩埚固定板，坩埚固定板与提升杆固定连接，坩埚设置外环绕有加热圈。
为保证良好的气体环境，在炉壳内还设有供气管5，供气管的一端与炉壳的进气口相接通，供气管的的另一端延伸至坩埚的内腔，在炉壳的两侧分别设有第一出气口和第二出气口，第一出气口与第二出气口成镜像对称，所述的第一出气口和第二出气口高于坩埚下表面，第一出气口和第二出气口低于供气管的出气端，所述的密封舱的底部开有多个出气缝，所述的出气缝为条形开口。
Claims (6)
1.一种新型硅晶炉，包括炉壳（1），其特征在于：所述的炉壳的底壁上设有支撑柱（2），支撑柱的顶端设有坩埚座（3），在坩埚座上设有坩埚（7），在炉壳内还设有供气管（5），供气管的一端与炉壳的进气口相接通，供气管的另一端延伸至坩埚的内腔，在炉壳的两侧分别设有第一出气口和第二出气口，第一出气口与第二出气口成镜像对称，所述的第一出气口和第二出气口高于坩埚下表面，第一出气口和第二出气口低于供气管的出气端。
2.根据权利要求1所述的一种新型硅晶炉，其特征在于：还包括方形的密封舱，所述的炉壳内设有提升杆（4），提升杆的底端设有挡块，提升杆穿过密封舱，所述的支撑柱穿过密封舱，所述的坩埚位于密封舱内。
3.根据权利要求2所述的一种新型硅晶炉，其特征在于：所述的密封舱的底部开有多个出气缝，所述的出气缝为条形开口。
4.根据权利要求2所述的一种新型硅晶炉，其特征在于：所述的密封舱由六块面板组成。
5.根据权利要求2所述的一种新型硅晶炉，其特征在于：还包括坩埚固定板（6），坩埚固定板固定在坩埚的上表面，坩埚固定板与提升杆固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种新型硅晶炉，其特征在于：还包括加热圈（8），所述的加热圈环绕坩埚设置。
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| CN201621487645.3U CN206308446U (zh) | 2016-12-30 | 2016-12-30 | 一种新型硅晶炉 |
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Publications (1)
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| CN206308446U true CN206308446U (zh) | 2017-07-07 |
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| CN (1) | CN206308446U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109183148A (zh) * | 2018-11-21 | 2019-01-11 | 晶科能源有限公司 | 一种铸锭炉 |
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2016
- 2016-12-30 CN CN201621487645.3U patent/CN206308446U/zh not_active Expired - Fee Related
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