CN206266744U - 一种多晶炉真空泵故障跨接挽救装置 - Google Patents
一种多晶炉真空泵故障跨接挽救装置 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开了一种多晶炉真空泵故障跨接挽救装置，包括第一多晶炉、与第一多晶炉相邻的第二多晶炉；第一多晶炉的排气管与第一真空泵的进气管连接；第二多晶炉的排气管与第二真空泵的进气管，以及备用气管的一端通过三通接头连接；第一多晶炉的排气管上设有第一阀门；第二多晶炉的排气管上设有第二阀门；备用气管的两端分别设有第三阀门、第四阀门。本实用新型将发生真空泵故障的多晶炉抽气管路，转接至可正常运行的相邻炉台的真空泵预留接口上。此跨接装置的应急处理时间可以压缩到5分钟以内，对铸锭过程几乎没有影响，基本都可以将硅锭保住，避免铸锭报废。
Description
技术领域
本实用新型涉及光伏设备技术领域，具体涉及一种多晶炉真空泵故障跨接挽救装置。
背景技术
针对多晶硅铸锭行业工艺的特殊性，在开始多晶炉抽空阶段，要求能快速的抽到10Pa以下的压力，在融化、长晶、退火及冷却阶段，需要充入氩气作为保护气氛和排出杂质，并保持炉内氮气压力在60000Pa，此时需要真空系统能长时间进行维持。而多晶炉在铸锭过程中真空泵有可能会发生故障，真空泵更换和维修耗时太长，会对多晶铸锭的品质造成严重不良影响，通常会造成报废或部分报废，甚至还会存在安全隐患。因此采用一种简单有效的应急抢救措施，来避免此问题导致的铸锭过程中的报废是很有必要的。
实用新型内容
针对上述技术问题，本实用新型提出一种多晶炉真空泵故障跨接挽救装置，能够在真空泵发生故障时，及时排除不利影响。
为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种多晶炉真空泵故障跨接挽救装置，包括第一多晶炉、与第一多晶炉相邻的第二多晶炉；第一多晶炉的排气管与第一真空泵的进气管连接；第二多晶炉的排气管与第二真空泵的进气管，以及备用气管的一端通过三通接头连接；第一多晶炉的排气管上设有第一阀门；第二多晶炉的排气管上设有第二阀门；备用气管的两端分别设有第三阀门、第四阀门。
进一步的，所述备用气管为真空软管。
进一步的，所述第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门均为截止阀。
本实用新型的有益效果有：1、此跨接装置的应急处理时间可以压缩到5分钟以内，对铸锭过程几乎没有影响，基本都可以将硅锭保住，避免铸锭报废；2、利用真空软管、截止阀和三通接头等简易装置，将发生真空泵故障的铸锭炉抽气管路，转接至可正常运行的相邻炉台的真空泵预留接口上，结构简单，不需要增加太多设备成本；操作简单，能够及时排除不利影响。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图中标号：1、第一多晶炉；2、第二多晶炉；3、第一真空泵；4、第二真空泵；5、备用气管；6、第一阀门；7、第三阀门；8、第二阀门；9、第四阀门；10、三通接口。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作更进一步的说明。
如图1所示多晶炉真空泵故障跨接挽救装置，包括第一多晶炉1、与第一多晶炉1相邻的第二多晶炉2；第一多晶炉1的排气管与第一真空泵3的进气管连接；第二多晶炉2的排气管与第二真空泵4的进气管，以及备用气管5的一端通过三通接头10连接；第一多晶炉1的排气管上设有第一阀门6；第二多晶炉2的排气管上设有第二阀门8；备用气管5的两端分别设有第三阀门7、第四阀门9。所述备用气管5为真空软管。所述第一阀门6、第二阀门8、第三阀门7、第四阀门9均为截止阀。
第一真空泵3、第二真空泵4正常工作时，第一阀门6、第二阀门8开启，第三阀门7、第四阀门9关闭。第一真空泵3发生故障时，及时断开第一多晶炉1的排气管与第一真空泵3的进气管的连接，并将第一多晶炉1的排气管与备用气管5的另一端连接，然后打开第三阀门7和第四阀门9。这样第一多晶炉1的气体通过备用气管5被第二真空泵4抽走。此跨接装置的应急处理时间可以压缩到5分钟以内，对铸锭过程几乎没有影响，基本都可以将硅锭保住，避免铸锭报废。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (3)
1.一种多晶炉真空泵故障跨接挽救装置，其特征在于，包括第一多晶炉(1)、与第一多晶炉(1)相邻的第二多晶炉(2)；第一多晶炉(1)的排气管与第一真空泵(3)的进气管连接；第二多晶炉(2)的排气管与第二真空泵(4)的进气管，以及备用气管(5)的一端通过三通接头(10)连接；第一多晶炉(1)的排气管上设有第一阀门(6)；第二多晶炉(2)的排气管上设有第二阀门(8)；备用气管(5)的两端分别设有第三阀门(7)、第四阀门(9)。
2.根据权利要求1所述的一种多晶炉真空泵故障跨接挽救装置，其特征在于，所述备用气管(5)为真空软管。
3.根据权利要求1所述的一种多晶炉真空泵故障跨接挽救装置，其特征在于，所述第一阀门(6)、第二阀门(8)、第三阀门(7)、第四阀门(9)均为截止阀。
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| CN201621127134.0U CN206266744U (zh) | 2016-10-17 | 2016-10-17 | 一种多晶炉真空泵故障跨接挽救装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN106544725A (zh) * | 2016-10-17 | 2017-03-29 | 镇江荣德新能源科技有限公司 | 一种多晶炉真空泵故障跨接挽救装置 |
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