CN206195140U - 一种激光功率实时监控的闭环控制装置 - Google Patents

一种激光功率实时监控的闭环控制装置 Download PDF

Info

Publication number
CN206195140U
CN206195140U CN201621306242.4U CN201621306242U CN206195140U CN 206195140 U CN206195140 U CN 206195140U CN 201621306242 U CN201621306242 U CN 201621306242U CN 206195140 U CN206195140 U CN 206195140U
Authority
CN
China
Prior art keywords
face
real time
closed
control device
laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201621306242.4U
Other languages
English (en)
Inventor
王建刚
王雪辉
雷桂明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wuhan Huagong Laser Engineering Co Ltd
Original Assignee
Wuhan Huagong Laser Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wuhan Huagong Laser Engineering Co Ltd filed Critical Wuhan Huagong Laser Engineering Co Ltd
Priority to CN201621306242.4U priority Critical patent/CN206195140U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN206195140U publication Critical patent/CN206195140U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Lasers (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种激光功率实时监控的闭环控制装置,包括在待监测激光光束的光路上依次设置的电动衰减器和取样镜片,激光光束与取样镜片之间形成角度为α的第一入射角,激光光束经取样镜片反射到监测器,监测器的信号输出端连接控制器的信号输入端,控制器的信号输出端连接电动衰减器的控制端,本实用新型的结构简单,制作成本低,调节效果好,使用方便,具有较高的实用价值和广泛的适用性。

Description

一种激光功率实时监控的闭环控制装置
技术领域
本实用新型专利属于激光控制技术领域,具体涉及一种激光功率实时监控的闭环控制装置。
背景技术
在激光的加工设备中,激光的功率状态对激光加工的影响很大;激光器会随着工作时间的增加、环境温度等因素的变化,或者供电不稳等情况,功率会有所变化,对激光加工效果影响极大;另外激光加工不同材料,所用激光功率也不一样,也需要精确调整功率,因此功率实时监控很重要。
目前行业中最常用的方式是常备一个功率计,发现加工工艺出现了变化的时候用功率计测试后再校准,或把功率计集成到设备中,如一种激光功率实时监测装置,可以让操作者时刻关注功率的变化,一旦功率发生变化,及时手动调整功率。
以上方法多采用人工调节功率,主观性较强,且响应时间相对较慢,此时急需一种自动调节快速功率的装置。
发明内容:
本实用新型的目的是提供一种激光功率实时监控的闭环控制装置,能够对激光光束进行实时的闭环监测控制,以克服背景技术中存在的问题。
为了实现上述目的,本实用新型的技术方案为:
一种激光功率实时监控的闭环控制装置,包括在待监测激光光束的光路上依次设置的电动衰减器和取样镜片,激光光束与取样镜片之间形成角度为α的第一入射角,0°≤α<90°,激光光束经取样镜片反射到监测器,监测器的信号输出端连接控制器的信号输入端,控制器的信号输出端连接电动衰减器的控制端。
较佳地,监测器包括功率探测器、光电传感器、能量计和光束质量分析仪。
较佳地,取样镜片面对激光光束入射方向的一侧为第一面,取样镜片面对激光光束出射方向的一侧为第二面;第一面镀有部分反射膜,第二面镀有激光抗反射增透膜。
较佳地,部分反射膜的反射率为0-10%。
较佳地,部分反射膜包括单波长膜和宽带膜,单波长膜包括的波长包括355nm、532nm和1064nm。
较佳地,还包括指示器,指示器发出指示光束到取样镜片的第二面。
较佳地,指示光束从第二面入射时的入射角为第二入射角,第二入射角的角度与第一入射角的角度相同。
较佳地,第一入射角的角度优选15°。
本实用新型的有益效果在于:可以对激光光束包括功率在内的数据指标进行实时的监测,控制器可以实时接收到监测器输送过来的数据信号,并输出相应的控制信号对电动衰减器进行控制,电动衰减器可依据控制器输出的控制信号对激光光束进行实时的调控。而调控之后的激光光束仍然被反射到监测器继续进行监测并由控制器控制电动衰减器进行调整,达到对激光光束进行闭环控制的目的。取样镜片的第一面和第二面镀不同的膜,第一面镀有部分反射膜,第二面镀有激光抗反射增透膜,入射角度和取样镜片镀的膜可以依据需要做不同的调整,达到更好的取样和调整效果。本实用新型的结构简单,制作成本低,调节效果好,使用方便,具有较高的实用价值和广泛的适用性。
附图说明
图1为本实用新型实施例的结构示意图。
图中:1-电动衰减器,2-取样镜片,3-监测器,4-控制器,5-指示器。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明。
一种激光功率实时监控的闭环控制装置,包括在待监测激光光束的光路上依次设置的电动衰减器1和取样镜片2,激光光束与取样镜片2之间形成角度为α的第一入射角,0°≤α<90°,激光光束经取样镜片2反射到监测器3,监测器3的信号输出端连接控制器4的信号输入端,控制器4的信号输出端连接电动衰减器1的控制端。监测器3包括功率探测器、光电传感器、能量计和光束质量分析仪。本实施例的监测器3为功率探测器。第一入射角的角度优选15°。
取样镜片2面对激光光束入射方向的一侧为第一面,取样镜片2面对激光光束出射方向的一侧为第二面;第一面镀有部分反射膜HR,第二面镀有激光抗反射增透膜AR。部分反射膜的反射率为0-10%。
第一面的部分反射膜包括单波长膜和宽带膜,单波长膜包括的波长包括355nm、532nm和1064nm。第一面的部分反射膜可根据不同情况而镀膜不同的膜,对于偏振状态不好的激光,需要镀消偏振的反射膜;对于偏振状态较好的激光,可选择仅做抛光处理。
还包括指示器5,指示器5发出指示光束从取样镜片2的第二面,由从取样镜片2的第二面,经第二面反射后与激光重合,起指示作用。
本实施了的工作方法为:通过设置在待监测激光光束光路上的取样镜片2将激光光束反射到监测器3,由监测器3实时获取激光光束并转换为数据信号发送至控制器4,控制器4对数据信息进行分析,并生成控制信号输出至设置在取样镜片2前端的激光光束光路上的电动衰减器1,电动衰减器1依据控制信号对激光光束进行调节,经调节滞后的激光光束再经取样镜片2反射到监测器3,形成对激光光束的闭环控制。
由监测器3获取激光光束并转换为数据信号包括通过功率探测器获取激光光束的并转换为功率数据信号控制器4判断数据信号是否在预设范围之内,若在预设范围之内则不作处理,若数据信号高于预设范围的上限,则控制电动衰减器1降低激光光束的功率,若数据信号低于预设范围的下限,则控制电动衰减器1增大激光光束的功率。功率探测器是高精度的集成功率探测器,功率探测器固定在一块铝板且连接在光具座底板上用于散热。功率探测器的测试数据需要做处理,实际测得的功率只是取样功率,实际功率=取样功率/反射率。电动衰减器1具有响应速度快,精度高,且重复性好等特点。
本实施例还可以通过能量计获取激光光束并转换为能量数据信号,通过光束质量分析仪获取激光光束并转换为质量数据信号;并由控制器4进行后续分析处理,并输出相应的控制信号。
应当理解的是,对本领域普通技术人员来说,可以根据上述说明加以改进或变换,而所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。本说明书中未作详细描述的部分属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

Claims (8)

1.一种激光功率实时监控的闭环控制装置,其特征在于:包括在待监测激光光束的光路上依次设置的电动衰减器(1)和取样镜片(2),所述激光光束与所述取样镜片(2)之间形成角度为α的第一入射角,0°≤α<90°,所述激光光束经所述取样镜片(2)反射到监测器(3),所述监测器(3)的信号输出端连接控制器(4)的信号输入端,所述控制器(4)的信号输出端连接所述电动衰减器(1)的控制端。
2.根据权利要求1所述的一种激光功率实时监控的闭环控制装置,其特征在于:所述监测器(3)包括功率探测器、光电传感器、能量计和光束质量分析仪。
3.根据权利要求1所述的一种激光功率实时监控的闭环控制装置,其特征在于:所述取样镜片(2)面对所述激光光束入射方向的一侧为第一面,所述取样镜片(2)面对所述激光光束出射方向的一侧为第二面;所述第一面镀有部分反射膜,所述第二面镀有激光抗反射增透膜。
4.根据权利要求3所述的一种激光功率实时监控的闭环控制装置,其特征在于:所述部分反射膜的反射率为0-10%。
5.根据权利要求3所述的一种激光功率实时监控的闭环控制装置,其特征在于:所述部分反射膜包括单波长膜和宽带膜,所述单波长膜包括的波长包括355nm、532nm和1064nm。
6.根据权利要求3所述的一种激光功率实时监控的闭环控制装置,其特征在于:还包括指示器(5),所述指示器(5)发出指示光束到所述取样镜片(2)的所述第二面,经所述第二面反射。
7.根据权利要求6所述的一种激光功率实时监控的闭环控制装置,其特征在于:所述指示光束从所述第二面入射时的入射角为第二入射角,所述第二入射角的角度与所述第一入射角的角度相同。
8.根据权利要求1-7任一项所述的一种激光功率实时监控的闭环控制装置,其特征在于:所述第一入射角的角度优选15°。
CN201621306242.4U 2016-12-01 2016-12-01 一种激光功率实时监控的闭环控制装置 Active CN206195140U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201621306242.4U CN206195140U (zh) 2016-12-01 2016-12-01 一种激光功率实时监控的闭环控制装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201621306242.4U CN206195140U (zh) 2016-12-01 2016-12-01 一种激光功率实时监控的闭环控制装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN206195140U true CN206195140U (zh) 2017-05-24

Family

ID=58723497

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201621306242.4U Active CN206195140U (zh) 2016-12-01 2016-12-01 一种激光功率实时监控的闭环控制装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN206195140U (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106785813A (zh) * 2016-12-01 2017-05-31 武汉华工激光工程有限责任公司 一种激光功率实时监控的闭环控制装置和方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106785813A (zh) * 2016-12-01 2017-05-31 武汉华工激光工程有限责任公司 一种激光功率实时监控的闭环控制装置和方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108406092A (zh) 一种同轴实时检测的振镜扫描激光加工方法
CN102778426B (zh) 一种光学薄膜激光损伤测试装置
CN206291960U (zh) 一种对激光加工位置中激光光斑测量分析的装置
CN206195140U (zh) 一种激光功率实时监控的闭环控制装置
CN109406453A (zh) 一种改进的z扫描测量方法
CN108681093A (zh) 双光束激光准直系统
CN109323761B (zh) 一种激光功率在线监控方法和装置
CN104748674A (zh) 焦点监测装置和方法
CN106248636B (zh) 一种测量材料非线性吸收曲线的方法
US7103077B2 (en) System and method for measuring and controlling an energy of an ultra-short pulse of a laser beam
CN107976632B (zh) 一种光电转换效率测试装置及方法
CN107860334B (zh) 高功率激光击穿金属孔洞形状和面积实时测量装置及方法
CN106785813A (zh) 一种激光功率实时监控的闭环控制装置和方法
CN210664764U (zh) 高精度激光功率取样测量装置
CN108663381B (zh) 一种掺铁激光晶体缺陷检测方法和装置
US20180045507A1 (en) Method And System For Real-Time In-Process Measurement Of Coating Thickness
CN109668906A (zh) 一种用于测定光学膜层激光损伤阈值的测量方法及装置
CN108414194A (zh) 一种超高速相机时间响应特性测定平台及测定方法
CN208155560U (zh) 一种超高速相机时间响应特性测定平台
CN111650163B (zh) 一种高功率激光增透膜透过率测量方法及其测量装置
CN102879184A (zh) 可旋入式光束准直检测单元及光束准直度检测方法
CN114414212B (zh) 一种便携式激光光束质量β因子测试装置
CN106872069B (zh) 一种光学薄膜损伤过程中表面温度的实时测量方法
CN205043348U (zh) 激光检测装置及激光加工系统
CN113341628A (zh) 一种飞秒超连续白光产生装置

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant