CN206190621U - 一种电子束焊机油扩散泵 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种电子束焊机油扩散泵,油扩散泵包括泵体,设置在泵体内部用于输送高温油蒸汽的蒸汽导流管,及与蒸汽导流管连接、设置在泵体内部用于喷出高温油蒸汽的喷嘴,设置在泵体内、位于底部用于加热泵油的加热器和缠绕在泵体外壁中上部的第一冷却水管,其中,还包括缠绕在泵体外壁下部的第二冷却水管、及用来控制第二冷却水管打开或关闭的电磁水阀,所述电磁水阀设置于第二冷却水管上。由于采用了在泵体外壁下部缠绕冷却水管,加装控制冷却水管打开或关闭的电磁水阀,在加装可以控制打开或关闭底部水路的情况下,在扩散泵加热时不打开,不影响扩散泵的抽气效率,冷却时打开,提高了冷却效率,冷却时间由2.5小时降到40分钟。
Description
技术领域
本实用新型涉及电子束焊技术领域,尤其涉及的是一种电子束焊机油扩散泵。
背景技术
油扩散泵是电子束焊机真空系统的一个重要装置,工作范围在1.33*10²Pa以下,抽速大,范围广,结构简单,没有机械传动部分。油扩散泵由泵体,喷嘴,蒸汽导流管,加热器和中上部四周缠绕冷却水管组成。工作过程是:当扩散泵油在预真空中被加热到200℃时,产生高温油蒸汽,经过导流管,由各级喷嘴定向高速喷出。由于进气口附近的空气压力高于蒸汽流中该气体的压力,所以就不断地扩散到油蒸汽中,油蒸汽喷射到冷却的泵壁,经过几次碰撞,压缩到底部,由前级泵抽走。冷却油再次进入底部油锅,重新加热,再次循环。
但现有技术中存在的缺点是:油扩散泵的中上部四周缠绕冷却水铜管,但是由于底部温度较高,如果缠绕铜水管通水,加热缓慢,势必会降低扩散泵油的工作效率。但每天工作结束后,为防止扩散泵油氧化,必须冷却后才能关闭机器电源,而这个冷却过程要2小时以上,大大降低了工作效率。
因此,现有技术还有待于改进和发展。
实用新型内容
鉴于上述现有技术的不足之处,本实用新型的目的在于提供一种电子束焊机油扩散泵,旨在解决在不影响油扩散泵加热效率的前提下、大大提升工作结束后的冷却效率的问题。
为了达到上述目的,本实用新型采用的技术方案如下:
一种电子束焊机油扩散泵,包括泵体,设置在泵体内部用于输送高温油蒸汽的蒸汽导流管,及与蒸汽导流管连接、设置在泵体内部用于喷出高温油蒸汽的喷嘴,设置在泵体内、位于底部用于加热泵油的加热器和缠绕在泵体外壁中上部的第一冷却水管,其中,还包括缠绕在泵体外壁下部的第二冷却水管、及用来控制第二冷却水管打开或关闭的电磁水阀,所述电磁水阀设置于第二冷却水管上。
所述的电子束焊机油扩散泵,其中,还包括用于控制电磁水阀通断的可编程逻辑控制器,所述电磁水阀连接可编程逻辑控制器。
所述的电子束焊机油扩散泵,其中,所述第二冷却水管的表面设置有耐热涂料层。
所述的电子束焊机油扩散泵,其中,所述第二冷却水管固定在泵体外壁上。
所述的电子束焊机油扩散泵,其中,所述第二冷却水管至少一端连接有塑料接头。
所述的电子束焊机油扩散泵,其中,所述第二冷却水管的下端接口往上倾斜一预定角度、并缠绕在排气口的壁上。
所述的电子束焊机油扩散泵,其中,所述第二冷却水管设置为4圈。
所述的电子束焊机油扩散泵,其中,所述第二冷却水管为冷却水铜管。
所述的电子束焊机油扩散泵,其中,所述第二冷却水管用铜焊料焊牢在油扩散泵泵壁上。
有益效果:相较于现有技术,本实用新型提供的一种电子束焊机油扩散泵,所述油扩散泵包括泵体,设置在泵体内部用于输送高温油蒸汽的蒸汽导流管,及与蒸汽导流管连接、设置在泵体内部用于喷出高温油蒸汽的喷嘴,设置在泵体内、位于底部用于加热泵油的加热器和缠绕在泵体外壁中上部的第一冷却水管,其中,还包括缠绕在泵体外壁下部的第二冷却水管、及用来控制第二冷却水管打开或关闭的电磁水阀,所述电磁水阀设置于第二冷却水管上。由于采用了在泵体外壁下部缠绕冷却水管,并加装控制冷却水管打开或关闭的电磁水阀,在加装底部水路并可以控制打开或关闭的情况下,在油扩散泵加热时不打开,不影响油扩散泵的抽气效率,在冷却时打开,大大提高了冷却效率,使冷却时间由之前2.5小时降到40分钟。
附图说明
图1为本实用新型提供的电子束焊机油扩散泵的外部结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚、明确,以下参照附图并举实施例对本实用新型进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
应当说明的是,本实用新型所使用的术语“上”、“下”“、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的,并不表示是唯一的实施方式。
请参见图1,图1是本实用新型提供的电子束焊机油扩散泵的外部结构示意图,包括:泵体1,泵体顶盖2,设置在泵体内部用于输送高温油蒸汽的蒸汽导流管,及与蒸汽导流管连接、设置在泵体内部用于喷出高温油蒸汽的喷嘴,设置在泵体内、位于底部用于加热泵油的加热器(图中未示出)和缠绕在泵体中上部的第一冷却水管3,其中,还包括缠绕在泵体外壁下部的第二冷却水管4、及用来控制第二冷却水管4打开或关闭的电磁水阀(图中未示出),所述电磁水阀设置于第二冷却水管4上。
工作时,加装缠绕在油扩散泵的泵体1外壁下部的冷却水管4水路后,在扩散泵油加热时,由电磁水阀控制第二冷却水管4处于关闭状态,解决了在油扩散泵的泵体外壁下部缠绕冷却水管通水会导致加热缓慢的问题,从而不影响油扩散泵的抽气工作效率;每天工作结束后,为防止扩散泵油氧化,在冷却扩散泵油时,为了提高真空泵油冷却时的效率,考虑到泵底部的油温是最高的,此时由电磁水阀控制第二冷却水管4处于打开状态通水,加速扩散泵油冷却,与传统真空油扩散泵相比,在油扩散泵外壁下部扩充冷却水管后不影响油扩散泵加热效率的前提下,能迅速将油扩散泵底油温降下来,冷却效率大大提高,使冷却时间由之前2.5小时降到40分钟。
优选的,还包括用于控制电磁水阀通断的可编程逻辑控制器,所述电磁水阀连接可编程逻辑控制器,即所述电磁水阀通过可编程逻辑控制器信号控制通断,即电磁水阀信号由PLC (Programmable Logic Controller,可编程逻辑控制器 ,缩写为PLC)控制,由PLC程序通过信号控制第二冷却水管4进行打开或关闭实现通断,可以使加装的电磁水阀控制油扩散泵下部冷却水路4的工作更加智能化,减少手动操作的不确定性,更加方便、安全,不会因为人为误操作造成机器损坏和人体伤害,其中,由可编程逻辑控制器控制电磁水阀是现有技术,在此不再赘述。
优选的,所述第二冷却水管4的表面设置有耐热涂料层,即所述第二冷却水管4表面喷涂有一层耐热涂料层,所述涂料层厚度以能够防止第二冷却水管4的高温对油扩散泵泵体外壁下部的油漆影响为佳。为了防止油扩散泵表面生锈,通常都会在油扩散泵外壁表面喷漆来防止生锈,但由于泵底部的油温是最高的,通过第二冷却水管4在冷却扩散泵油时,通常冷却水管的温度也会很高,为了防止和油扩散泵外壁下部接触的第二冷却水管4由于温度太高导致油扩散泵壁上的油漆脱落,在第二冷却水管4表面喷涂耐热涂料,使油扩散泵表面上的油漆和第二冷却水管4隔离,可以很好的防止油扩散泵外壁下部油漆脱落,从而防止油扩散泵壁生锈,延长可油扩散泵的使用寿命。
优选的,所述第二冷却水管4固定在泵体外壁上,使第二冷却水管4和油扩散泵外壁下部紧密贴合,从而可以使第二冷却水管4固定、起到更好的冷却效果。
优选的,所述第二冷却水管4至少一端连接塑料接头。由于第二冷却水管4的冷却水要形成循环的活水,从而起到冷却效果,因此第二冷却水管4要和其他水路连接形成循环水路,因此优选的第二冷却水管4端部采用易于连接的塑料接头,由卡箍等连接方式通过塑料接头将第二冷却水管4和其他水路连接形成循环水路,从而实现冷却的目的。
优选的,所述第二冷却水管4的下端接口往上倾斜一预定角度、并缠绕在排气口的壁上,即所述第二冷却水管4下端接口往上倾斜一个角度、并缠绕在排气口5的壁上。由于油扩散泵底部温度最高,第二冷却水管4下端的接口往上倾斜一个角度,使接口尽可能远离温度最高的油扩散泵底部,减少高温对接口的影响,延长接口的使用寿命。
优选的,所述第二冷却水管4设置为4圈。由于油扩散泵下部的空间有限,一般在40cm左右,管子的内径在12mm-15mm之间,两根管子相距8cm,因此,第二冷却水管设置为4圈最为合适,可以最大程度的起到冷却效果,既可以避免冷却水管缠绕圈数少导致冷却效果不好,又避免多缠绕水管造成水管材料的浪费,节省了成本。
优选的,所述第二冷却水管4为冷却水铜管。由于金属材质具有很好的导热性,而铜管又具有很好的柔韧性,便于缠绕,因此优选的第二冷却水管采用铜管。当采用铜管时,用铜焊料将油扩散泵外壁下部第二冷却水铜管4焊牢在油扩散泵泵体外壁上,固定效果最好,同时可实现最优程度的冷却效果。
综上所述,本实用新型提供的一种电子束焊机油扩散泵,所述油扩散泵包括泵体,设置在泵体内部用于输送高温油蒸汽的蒸汽导流管,及与蒸汽导流管连接、设置在泵体内部用于定向高速喷出高温油蒸汽的喷嘴,设置在泵体内、位于底部用于加热泵油的加热器和缠绕在泵体外壁中上部的第一冷却水管,其中,还包括缠绕在泵体外壁下部的第二冷却水管、及用来控制第二冷却水管打开或关闭的电磁水阀,所述电磁水阀设置于第二冷却水管上。由于采用了在泵体外壁下部缠绕冷却水管,并加装控制冷却水管打开或关闭的电磁水阀,在加装底部水路并可以控制打开或关闭的情况下,在油扩散泵加热时不打开,不影响油扩散泵的抽气效率,在冷却时打开,大大提高了冷却效率,使冷却时间由之前2.5小时降到40分钟。
在本说明书的描述中,术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解,例如,“连接”可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接 ;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本说明书的描述中,术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且,描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
应当理解的是,本实用新型的应用不限于上述的举例,对本领域普通技术人员来说,可以根据上述说明加以改进或变换,所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。
Claims (9)
1.一种电子束焊机油扩散泵,包括泵体,设置在泵体内部用于输送高温油蒸汽的蒸汽导流管,及与蒸汽导流管连接、设置在泵体内部用于喷出高温油蒸汽的喷嘴,设置在泵体内、位于底部用于加热泵油的加热器和缠绕在泵体外壁中上部的第一冷却水管,其特征在于,还包括缠绕在泵体外壁下部的第二冷却水管、及用来控制第二冷却水管打开或关闭的电磁水阀,所述电磁水阀设置于第二冷却水管上。
2.根据权利要求1所述的电子束焊机油扩散泵,其特征在于,还包括用于控制电磁水阀通断的可编程逻辑控制器,所述电磁水阀连接可编程逻辑控制器。
3.根据权利要求1所述的电子束焊机油扩散泵,其特征在于,所述第二冷却水管的表面设置有耐热涂料层。
4.根据权利要求1所述的电子束焊机油扩散泵,其特征在于,所述第二冷却水管固定在泵体外壁上。
5.根据权利要求1所述的电子束焊机油扩散泵,其特征在于,所述第二冷却水管至少一端连接有塑料接头。
6.根据权利要求5所述的电子束焊机油扩散泵,其特征在于,所述第二冷却水管的下端接口往上倾斜一预定角度、并缠绕在排气口的壁上。
7.根据权利要求1所述的电子束焊机油扩散泵,其特征在于,所述第二冷却水管设置为4圈。
8.根据权利要求1-7任意一项所述的电子束焊机油扩散泵,其特征在于,所述第二冷却水管为冷却水铜管。
9.根据权利要求8所述的电子束焊机油扩散泵,其特征在于,所述第二冷却水管用铜焊料焊牢在油扩散泵泵壁上。
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CN201621250420.6U CN206190621U (zh) | 2016-11-22 | 2016-11-22 | 一种电子束焊机油扩散泵 |
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CN112128149A (zh) * | 2020-09-04 | 2020-12-25 | 深圳第三代半导体研究院 | 一种新型扩散泵冷却装置 |
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- 2016-11-22 CN CN201621250420.6U patent/CN206190621U/zh active Active
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