CN206095454U - 一种单晶硅烧结炉专用多点阶梯测温铂铑热电偶 - Google Patents

一种单晶硅烧结炉专用多点阶梯测温铂铑热电偶 Download PDF

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华庆生
秦凌
卢长征
周爱军
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Abstract

本实用新型公开了一种单晶硅烧结炉专用多点阶梯测温铂铑热电偶,包括耐高温绝缘高纯刚玉芯,耐高温绝缘高纯刚玉芯内设有五组铂铑热电偶,耐高温绝缘高纯刚玉芯上端焊接有铝制接头,铝制接头一侧通过不锈钢软管连接有镍基插头支架,镍基插头支架中固定有五组陶瓷插头,五组铂铑热电偶分别通过从不锈钢软管中穿过的补偿导线与五组陶瓷插头一一对应连接。本实用新型高温段精度高,热响应时间短,体积小。在不增加热电偶数量的情况下,能够同时准确进行多个点位的温度采集,实现了一支热电偶同时采集5个点位的温度,结构尺寸可灵活设计。

Description

一种单晶硅烧结炉专用多点阶梯测温铂铑热电偶
技术领域
本实用新型涉及热电偶领域,具体是一种单晶硅烧结炉专用多点阶梯测温铂铑热电偶。
背景技术
热电偶是温度测量仪表中常用的测温元件,热电偶直接与被测对象接触进行测温,热电偶测温的基本原理是采用两种不同材质的导体组成闭合回路,当两端存在温度梯度时,回路中就会有电流通过,此时两端之间就产生热电效应,两端温度差越大,电流就会越大。热电偶的测量精度高、测量范围广、构造简单、使用方便,其应用范围非常广泛。
传统的单晶硅烧结炉用铂铑热电偶,铂丝和铂铑合金丝焊接起来形成闭合回路,由陶瓷管、陶瓷芯和接线盒组装而成,只能单点测温,体积很大,如需要测量多个点位的温度时,只能通过增加热电偶的数量来满足要求,占用空间大,安装繁琐。
实用新型内容 本实用新型目的就是为了弥补已有技术的缺陷,提供一种单晶硅烧结炉专用多点阶梯测温铂铑热电偶。
为了达到上述目的,本实用新型所采用的技术方案为:
一种单晶硅烧结炉专用多点阶梯测温铂铑热电偶,其特征在于:包括耐高温绝缘高纯刚玉芯,耐高温绝缘高纯刚玉芯内设有五组铂铑热电偶,每组铂铑热电偶分别由一个铂丝和一个铂铑合金丝首尾对应焊接形成闭合回路后构成,耐高温绝缘高纯刚玉芯上端焊接有铝制接头,五组铂铑热电偶分别伸入铝制接头中,铝制接头一侧焊接有不锈钢软管,不锈钢软管管端连接有镍基插头支架,镍基插头支架中固定有五组陶瓷插头,五组铂铑热电偶分别通过从不锈钢软管中穿过的补偿导线与五组陶瓷插头一一对应连接。
所述的一种单晶硅烧结炉专用多点阶梯测温铂铑热电偶,其特征在于:耐高温绝缘高纯刚玉芯中设有五个安装孔对,每个安装孔对分别由两个安装孔构成,共十个安装孔呈环形均匀分布,每个安装孔的上端分别延伸至耐高温绝缘高纯刚玉芯上端并与铝制接头内连通,每个安装孔对中两个安装孔下端在耐高温绝缘高纯刚玉芯中长度位置相同,不同安装孔对中的安装孔下端在耐高温绝缘高纯刚玉芯中长度位置不同,耐高温绝缘高纯刚玉芯侧壁对应安装孔下端位置分别设有与安装孔连通的开窗,五组铂铑热电偶中的铂丝和铑丝分别通过开窗设置在安装孔中,从而形成五组铂铑热电偶的不同点位。
所述的一种单晶硅烧结炉专用多点阶梯测温铂铑热电偶,其特征在于:所述耐高温绝缘高纯刚玉芯上端通过耐高温氧化铜无机胶与铝制接头焊接。
所述的一种单晶硅烧结炉专用多点阶梯测温铂铑热电偶,其特征在于:所述不锈钢软管管端通过卡套螺纹方式与镍基插头支架连接。
与已有技术相比,本实用新型的有益效果体现在:
本实用新型属于一种无套管露端式多点铂铑热电偶,最大的优点是高温段精度高,热响应时间短,体积小。在不增加热电偶数量的情况下,能够同时准确进行多个点位的温度采集,实现了一支热电偶同时采集5个点位的温度,结构尺寸可灵活设计,热电性能非常稳定,最小可做到外径6mm,减少了占用空间,安装简便快捷。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
图2为本实用新型耐高温绝缘高纯刚玉芯中安装孔分布俯视图。
图3为本实用新型耐高温绝缘高纯刚玉芯中开窗分布侧视图。
具体实施方式
如图1-图3所示,一种单晶硅烧结炉专用多点阶梯测温铂铑热电偶,包括耐高温绝缘高纯刚玉芯1,耐高温绝缘高纯刚玉芯1内设有五组铂铑热电偶,每组铂铑热电偶分别由一个铂丝和一个铂铑合金丝首尾对应焊接形成闭合回路后构成,耐高温绝缘高纯刚玉芯1上端焊接有铝制接头2,五组铂铑热电偶分别伸入铝制接头2中,铝制接头2一侧焊接有不锈钢软管3,不锈钢软管3管端连接有镍基插头支架4,镍基插头支架4中固定有五组陶瓷插头5,五组铂铑热电偶分别通过从不锈钢软管3中穿过的补偿导线6与五组陶瓷插头5一一对应连接。
耐高温绝缘高纯刚玉芯1中设有五个安装孔对,每个安装孔对分别由两个安装孔7构成,共十个安装孔7呈环形均匀分布,每个安装孔7的上端分别延伸至耐高温绝缘高纯刚玉芯1上端并与铝制接头2内连通,每个安装孔对中两个安装孔下端在耐高温绝缘高纯刚玉芯1中长度位置相同,不同安装孔对中的安装孔7下端在耐高温绝缘高纯刚玉芯1中长度位置不同,耐高温绝缘高纯刚玉芯1侧壁对应安装孔7下端位置分别设有与安装孔连通的开窗8,五组铂铑热电偶中的铂丝和铑丝分别通过开窗设置在安装孔中,从而形成五组铂铑热电偶的不同点位。
耐高温绝缘高纯刚玉芯1上端通过耐高温氧化铜无机胶与铝制接头2焊接。
不锈钢软管3管端通过卡套螺纹方式与镍基插头支架4连接。

Claims (4)

1.一种单晶硅烧结炉专用多点阶梯测温铂铑热电偶,其特征在于:包括耐高温绝缘高纯刚玉芯,耐高温绝缘高纯刚玉芯内设有五组铂铑热电偶,每组铂铑热电偶分别由一个铂丝和一个铂铑合金丝首尾对应焊接形成闭合回路后构成,耐高温绝缘高纯刚玉芯上端焊接有铝制接头,五组铂铑热电偶分别伸入铝制接头中,铝制接头一侧焊接有不锈钢软管,不锈钢软管管端连接有镍基插头支架,镍基插头支架中固定有五组陶瓷插头,五组铂铑热电偶分别通过从不锈钢软管中穿过的补偿导线与五组陶瓷插头一一对应连接。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅烧结炉专用多点阶梯测温铂铑热电偶,其特征在于:耐高温绝缘高纯刚玉芯中设有五个安装孔对,每个安装孔对分别由两个安装孔构成,共十个安装孔呈环形均匀分布,每个安装孔的上端分别延伸至耐高温绝缘高纯刚玉芯上端并与铝制接头内连通,每个安装孔对中两个安装孔下端在耐高温绝缘高纯刚玉芯中长度位置相同,不同安装孔对中的安装孔下端在耐高温绝缘高纯刚玉芯中长度位置不同,耐高温绝缘高纯刚玉芯侧壁对应安装孔下端位置分别设有与安装孔连通的开窗,五组铂铑热电偶中的铂丝和铂铑合金丝分别通过开窗设置在安装孔中,从而形成五组铂铑热电偶的不同点位。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅烧结炉专用多点阶梯测温铂铑热电偶,其特征在于:所述耐高温绝缘高纯刚玉芯上端通过耐高温氧化铜无机胶与铝制接头焊接。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅烧结炉专用多点阶梯测温铂铑热电偶,其特征在于:所述不锈钢软管管端通过卡套螺纹方式与镍基插头支架连接。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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