CN205959965U - 用于晶圆制造圆片清洗的花篮 - Google Patents

Abstract

用于晶圆制造圆片清洗的花篮。涉及清洗工具，尤其涉及用于晶圆制造圆片清洗的花篮。提供了一种结构简单，提高产能，节约时间的用于晶圆制造圆片清洗的花篮。所述立板一和立板二之间设有一对平行且对称设置的撑杆一，一对撑杆一位于立板一的底部两端，所述撑杆一垂直于立板一，所述撑杆一在轴向上均布设有若干插槽一；所述立板一和立板二之间还设有撑杆二，所述撑杆二位于立板一的中间，所述撑杆二平行于撑杆一，所述撑杆二在轴向上均布设有若干插槽二，所述插槽一和插槽二一一对应。所述撑杆二具有一对，一对撑杆二之间的连线垂直于一对撑杆一之间的连线。本实用新型方便加工，节省了成本。

Description

用于晶圆制造圆片清洗的花篮

技术领域

本实用新型涉及清洗工具，尤其涉及用于晶圆制造圆片清洗的花篮。

背景技术

目前，晶圆制造过程中清洗工艺所采用的铁氟龙材质的25槽花篮，充分暴露出了其效率低，成本高等弊端；针对OJ线别产品的生产，随着产能的增加，原25槽花篮已达不到生产的需求（即花篮具有单个容置区）；同时，由于花篮支架结构较多，在清洗时常常出现卡舟死角处清洗不干净，造成电性不良，同时在电极工艺生产上，常出现晶片卡舟，出现镀层偏薄，不均匀现象。

实用新型内容

本实用新型针对以上问题，提供了一种结构简单，提高产能，节约时间的用于晶圆制造圆片清洗的花篮。

本实用新型的技术方案是：包括一对平行设置的立板一和立板二，所述立板一和立板二之间设有一对平行且对称设置的撑杆一，一对撑杆一位于立板一的底部两端，所述撑杆一垂直于立板一，所述撑杆一在轴向上均布设有若干插槽一；

所述立板一和立板二之间还设有撑杆二，所述撑杆二位于立板一的中间，所述撑杆二平行于撑杆一，所述撑杆二在轴向上均布设有若干插槽二，所述插槽一和插槽二一一对应。

所述撑杆二具有一对，一对撑杆二之间的连线垂直于一对撑杆一之间的连线。

所述撑杆二可拆卸连接在立板一和立板二上。

还包括一对把手，一对把手分别位于立板一的顶部两端。

本实用新型在工作中，立板一和立板二之间设有一对撑杆一，一对撑杆一的中间设有撑杆二，用于将花篮分隔成两容置区，便于放置数量较多的晶圆，提升了产能，大大节约了员工作业时间。同时，晶圆采用撑杆一和撑杆二支撑，使得晶圆的接触面积小，避免了晶圆与花篮的接触死角清洗不干净的现象。本实用新型方便加工，节省了成本。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图，

图2是图1的俯视图，

图3是本实用新型中撑杆一的局部结构示意图；

图中1是立板一，2是立板二，3是撑杆一，30是插槽一，4是撑杆二，5是把手，6是晶圆。

具体实施方式

本实用新型如图1-3所示，包括一对平行设置的立板一1和立板二2，所述立板一和立板二之间设有一对平行且对称设置的撑杆一3，一对撑杆一位于立板一的底部两端，所述撑杆一垂直于立板一，所述撑杆一3在轴向上均布设有若干插槽一30；

所述立板一和立板二之间还设有撑杆二4，所述撑杆二位于立板一的中间，（即位于一对撑杆一之间，将花篮分隔成两容置区）所述撑杆二平行于撑杆一，所述撑杆二在轴向上均布设有若干插槽二，所述插槽一和插槽二一一对应。

所述撑杆二4具有一对，一对撑杆二之间的连线垂直于一对撑杆一之间的连线，起到撑杆一和一对撑杆二形成三点支撑，便于晶圆的可靠放置。

所述撑杆二4可拆卸连接在立板一和立板二上，如立板一和立板二上设有穿孔，所述撑杆二穿设在穿孔内，方便安装、拆卸；撑杆二安装时可形成两容置区，用于放置规格小的晶圆；撑杆二拆卸时形成单一容置区，用于放置规格大的晶圆。

还包括一对把手5，一对把手分别位于立板一的顶部两端，便于花篮的提拿，方便、可靠。

Claims (4)

1.用于晶圆制造圆片清洗的花篮，其特征在于，包括一对平行设置的立板一和立板二，所述立板一和立板二之间设有一对平行且对称设置的撑杆一，一对撑杆一位于立板一的底部两端，所述撑杆一垂直于立板一，所述撑杆一在轴向上均布设有若干插槽一；

所述立板一和立板二之间还设有撑杆二，所述撑杆二位于立板一的中间，所述撑杆二平行于撑杆一，所述撑杆二在轴向上均布设有若干插槽二，所述插槽一和插槽二一一对应。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆制造圆片清洗的花篮，其特征在于，所述撑杆二具有一对，一对撑杆二之间的连线垂直于一对撑杆一之间的连线。

3.根据权利要求1所述的用于晶圆制造圆片清洗的花篮，其特征在于，所述撑杆二可拆卸连接在立板一和立板二上。

4.根据权利要求1-3中任一所述的用于晶圆制造圆片清洗的花篮，其特征在于，还包括一对把手，一对把手分别位于立板一的顶部两端。