CN205942457U - 一种废气处理系统 - Google Patents
一种废气处理系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN205942457U CN205942457U CN201620819861.7U CN201620819861U CN205942457U CN 205942457 U CN205942457 U CN 205942457U CN 201620819861 U CN201620819861 U CN 201620819861U CN 205942457 U CN205942457 U CN 205942457U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- waste gas
- unit
- delivery line
- treatment system
- exhaust treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 title claims abstract description 120
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims abstract description 68
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims abstract description 45
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims abstract description 45
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 42
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 claims description 22
- 239000004531 microgranule Substances 0.000 claims description 15
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 13
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 6
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000010802 sludge Substances 0.000 claims description 6
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000009795 derivation Methods 0.000 claims 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 abstract 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 4
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 4
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000010852 non-hazardous waste Substances 0.000 description 2
- 231100000252 nontoxic Toxicity 0.000 description 2
- 230000003000 nontoxic effect Effects 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N arsane Chemical compound [AsH3] RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000070 arsenic hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000009514 concussion Effects 0.000 description 1
- 230000036461 convulsion Effects 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 239000002274 desiccant Substances 0.000 description 1
- MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N dichlorosilane Chemical compound Cl[SiH2]Cl MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000010892 non-toxic waste Substances 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N trichlorosilane Chemical compound Cl[SiH](Cl)Cl ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005052 trichlorosilane Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
一种废气处理系统，包括一废气洗涤单元、一压缩单元以及一检测/控制单元，该废气洗涤单元包含一第一导入管以及一第一导出管，该第一导入管提供一废气至该废气洗涤单元内进行一废气洗涤，该第一导出管将该废气洗涤后的该废气从该废气洗涤单元排出，该压缩单元与该第一导出管连通，包含一第二导出管，该压缩单元将该第一导出管排出的该废气进行一压力调整，该第二导出管将该压力调整后的该废气从该压缩单元中排出，该检测/控制单元设置于该第一导入管和该第二导出管之间，检测该废气流过该废气处理系统的压力并控制该废气的流量。
Description
技术领域
本实用新型为涉及一种废气处理系统，尤指一种具有压力调整以及流量控制的废气处理系统。
背景技术
一般来说，半导体制造过程是利用多种反应方法来进行半导体的制作，例如化学气相沉积、电化学沉积、离子注入或光刻等方法，而在该些方法中会添加多种反应物，例如二氯硅烷、三氯氢硅、磷化氢、砷化氢、氢或二氧化硅，使半导体制造过程所排放的废气中含有该些反应物，而该些反应物对环境会造成污染，故废气在排放至外界前，需将废气中的该些反应物移除。
如中国台湾实用新型专利公告第394092号，提出一种高温燃烧水洗式废气处理装置，用以将半导体工厂所产生的待处理废气分解成无毒以及无危险的废气与粉末，其包括有一燃烧器、一水洗冲刷单元、一粉末收集、一水气分离器以及一抽气装置，该燃烧器用于燃烧一废气，该水洗冲刷单元与该燃烧器相通，该水气分离器与该水洗冲刷单元的排气管相通，该抽气装置与该水气分离器相连接，并且抽动该废气而使该废气经过该燃烧器、该水洗冲刷单元以及该水气分离器，其中在该燃烧器的内部配设有一可产生高温的加热器，用以主动燃烧该废气，而通过高温燃烧将该废气中不易燃的成分分解成无毒、无危险的废气与粉末，且该加热器的两侧设有一喷水嘴，用以清洗该加热器及该燃烧室，以免该加热器的表面或该燃烧室的内壁附着过多的粉末而影响加热效率。
在以上现有技术中，当该废气进入该燃烧器以及该水洗冲刷单元进行废气处理后，由该抽气装置持续地将该燃烧器以及该水洗冲刷单元内的气体抽出，使该燃烧器内形成该负压环境，然而，由于半导体制备设备是直接与该废气处理装置连接，该负压环境会使半导体制备设备因压力的震荡而造成产品良率不佳的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种废气处理系统，以解决现有废气处理装置不具有压力调整以及流量控制，进而造成所制造的产品良率不佳的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供一种废气处理系统，包括：
一废气洗涤单元，该废气洗涤单元包含一第一导入管以及一第一导出管，该第一导入管与该废气洗涤单元连通并提供一废气至该废气洗涤单元内进行一废气洗涤，该第一导出管与该废气洗涤单元连通并将该废气洗涤后的该废气从该废气洗涤单元排出；
一与该第一导出管连通的压缩单元，该压缩单元包含一第二导出管，该压缩单元将该第一导出管排出的该废气进行一压力调整，该第二导出管与该压缩单元连通并将该压力调整后的该废气从该压缩单元中排出；以及
一设置于该第一导入管和该第二导出管之间的检测/控制单元，该检测/控制单元检测该废气流过该废气处理系统的压力并控制该废气的流量。
进一步的，该废气洗涤单元还包含一与该废气洗涤单元连通并提供一水溶性洗涤介质至该废气洗涤单元中的第二导入管以及一与该废气洗涤单元连通并将一含有该水溶性洗涤介质的该废气从该废气洗涤单元中排出的第三导出管。
进一步的，该废气处理系统还包含一与该第三导出管连通并接收含有该水溶性洗涤介质的该废气的中和反应单元，该中和反应单元包含分别与该中和反应单元连通的一中和介质导入管、一中性液体导出管以及一固态污泥导出管。
进一步的，该废气处理系统还包含一除雾单元以及一微粒移除单元，该除雾单元设置于该第一导出管上且与该废气洗涤单元相邻，该微粒移除单元设置于该第一导出管上且与该压缩单元相邻。
进一步的，该废气处理系统还包含一设置于该除雾单元与该微粒移除单元之间的该第一导出管上的混合单元，该混合单元包含一与该混合单元连通的空气导入管以及一设置于该空气导入管上的气体流量控制阀。
进一步的，该检测/控制单元包含一设置于该第一导入管上的第一检测件、一设置于该第一导出管上的第一流量控制阀以及一与该第一检测件电性连接且驱动该第一流量控制阀动作的阀驱动器。
进一步的，该废气处理系统还包含一设置于该第二导出管上的排气单元。
进一步的，该废气处理系统还包含一设置于该第一导出管上的第一分流件、一设置于该第二导出管上的第一汇流件以及一设置于该第一分流件与该第一汇 流件之间的第一分流管。
进一步的，该检测/控制单元包含一第二流量控制阀、一第三流量控制阀以及一第四流量控制阀，该第二流量控制阀设置于该第一分流件与该压缩单元之间的该第一导出管上，该第三流量控制阀设置于该第一汇流件与该压缩单元之间的该第二导出管上，该第四流量控制阀设置于该第一分流件与该第一汇流件之间的该第一分流管上。
进一步的，该检测/控制单元包含一孔板、一第二检测件以及一比例-积分-微分控制器，该孔板设置于该第一导出管上，该第二检测件具有一设置于该废气洗涤单元与该孔板之间的第一检测点以及一设置于该压缩单元与该孔板之间的第二检测点，该比例-积分-微分控制器分别与该第二检测件和该压缩单元电性连接。
由以上可知，本实用新型相较于现有技术的有益效果在于，利用该压缩单元以及该检测/控制单元的设置，可进一步对该废气处理系统中的该废气进行该压力调整以及控制该废气的流量，使该废气处理系统中的该废气维持在稳定的压力范围内，故半导体制备设备直接与该废气处理系统连接仍可维持正常运作，使产线的良率相对提升。
附图说明
图1为本实用新型第一实施例的废气处理系统示意图。
图2为本实用新型第二实施例的废气处理系统示意图。
图3为本实用新型第三实施例的废气处理系统示意图。
其中，附图标记：
10、废气洗涤单元 11、第一导入管 12、第一导出管 13、第二导入管 14、第三导出管
20、压缩单元 21、第二导出管
30、检测/控制单元 31、第一检测件 32、第一流量控制阀 33、阀驱动器 34、第一流量控制组 341、第二流量控制阀 342、第三流量控制阀第四 343、流量控制阀 35、第二流量控制组 351、第五流量控制阀 352、第六流量控制阀 353、第七流量控制阀 36、第三流量控制组 361、第八流量控制阀 362、第九流量控制阀 363、第十流量控制阀 37、孔板 38、第二检测件 381、第一检测点 382、该第二检测点 39、PID控制器
40、中和反应单元 41、中和介质导入管 42、中性液体导出管 43、固态污泥导出管
50、除雾单元
60、微粒移除单元
70、混合单元 71、空气导入管 72、气体流量控制阀
80、排气单元
90、第一分流单元 901、第一分流件 902、第一汇流件 903、第一分流管 91、第二分流单元 911、第二分流件 912、第二汇流件 913、第二分流管 92、第三分流单元 921、第三分流件 922、第三汇流件 923、第三分流管
具体实施方式
涉及本实用新型的详细说明及技术内容，现就配合附图说明如下：
请搭配参阅图1所示，为本实用新型第一实施例的废气处理系统示意图，本实用新型为一种废气处理系统，包括一废气洗涤单元10、一压缩单元20以及一检测/控制单元30，该废气洗涤单元10包含一第一导入管11以及一第一导出管12，该第一导入管11与该废气洗涤单元10的一端连通并提供一废气至该废气洗涤单元10内进行一废气洗涤，该废气洗涤为将该废气中的一化学成分和一第一微粒移除，该第一导出管12与该废气洗涤单元10的另一端连通并将该废气洗涤后的该废气从该废气洗涤单元10排出。该压缩单元20包含一第二导出管21，其中该第一导出管12与该压缩单元20的一端连通，将该废气洗涤单元10排出的该废气送至该压缩单元20内进行一压力调整，该第二导出管21与该压缩单元20的另一端连通，将该压力调整后的该废气从该压缩单元20中排出。在本实施例中，该废气洗涤单元10还包含一第二导入管13以及一第三导出管14，该第二导入管13与该废气洗涤单元10连通并提供一水溶性洗涤介质至该废气洗涤单元10中，该第三导出管14与该废气洗涤单元10连通并将一含有该水溶性洗涤介质的该废气从该废气洗涤单元10中排出。该检测/控制单元30设置于该第一导入管11和该第二导出管21之间，用于检测该废气流过该废气处理系统的压力并控制该废气的流量。
在本实施例中，该废气处理系统包含一中和反应单元40、一除雾单元50、一微粒移除单元60以及一混合单元70，该中和反应单元40包含分别与该中和 反应单元40连通的一中和介质导入管41、一中性液体导出管42以及一固态污泥导出管43，该中和反应单元40与该第三导出管14连通并接收含有该水溶性洗涤介质的该废气，该中和介质导入管41提供一中和介质至该中和反应单元40中，该中和介质与含有该水溶性洗涤介质的该废气进行一中和反应，该中性液体导出管42将该中和反应后所产生的一中性液体自该中和反应单元40中排出，该固态污泥导出管43则将该中和反应后的一固态污泥自该中和反应单元40中排出。该除雾单元50设置于该第一导出管12上且与该废气洗涤单元10相邻，该除雾单元50将该废气洗涤单元10所排出且已完成该废气洗涤的该废气进行一除水化，使该废气中的水移除，该微粒移除单元60设置于该第一导出管12上且与该压缩单元20相邻，用于将该废气中的一第二微粒移除，其中该第二微粒的粒径小于该第一微粒的粒径。该微粒移除单元60的设置位置只要为该废气进入该压缩单元20之前即可，不以本实用新型的举例为限。该混合单元70设置于该除雾单元50与该微粒移除单元60之间的该第一导出管12上，该混合单元70包含一空气导入管71以及一气体流量控制阀72，该空气导入管71与该混合单元70连通并提供一空气至该混合单元70中，该气体流量控制阀72设置于该空气导入管71上，用于控制该空气进入该混合单元70的流量，该空气与该除雾单元50排出的该废气在该混合单元70内进行混合，混合后的该空气通过一干燥剂床或一水移除剂，使该废气的湿度维持在一设定值内，主要为避免有害水蒸气在经过该混合单元70之后的该些导管时造成设备的毁损。在本实施例中，该废气处理系统还包含一排气单元80，该排气单元80设置于该第二导出管21上，用于将该压缩单元20中已完成该压力调整的该废气抽离。
在本实施例中，该检测/控制单元30包含一第一检测件31、一第一流量控制阀32以及一阀驱动器33。该第一检测件31设置于该第一导入管11上，用于检测该废气流过该第一导入管11的一检测信号，该检测信号的种类可为一压力信号、一温度信号、一成分信号、一流量信号或上述的组合，该第一流量控制阀32设置于该第一导出管12上，该阀驱动器33与该第一检测件31电性连接且驱动该第一流量控制阀32动作，以控制从该混合单元70所排出的该废气的流量。
请搭配参阅图2所示，为本实用新型第二实施例的废气处理系统示意图，本实施例与第一实施例的差异为，该废气处理系统进一步包括一第一分流单元90以及一第一流量控制组34，该第一分流单元90包括一第一分流件901、一第 一汇流件902以及一第一分流管903，该第一分流件901设置于该第一导出管12上，该第一汇流件902设置于该第二导出管21上，该第一分流管903设置于该第一分流件901与该第一汇流件902之间，该第一流量控制组34包含一第二流量控制阀341、一第三流量控制阀342以及一第四流量控制阀343，该第二流量控制阀341设置于该第一分流件901与该压缩单元20之间的该第一导出管12上，该第三流量控制阀342设置于该第一汇流件902与该压缩单元20之间的该第二导出管21上，该第四流量控制阀343设置于该第一分流件901与该第一汇流件902之间的该第一分流管903上，该第二流量控制阀341、该第三流量控制阀342以及该第四流量控制阀343分别用于控制该废气流过该第一导出管12、该第二导出管21以及该第一分流管903的流量。其中该第一分流单元90的设置是为了当该压缩单元20回路需维护或维修时，可提供暂时性的回路，使该废气处理系统能维持正常运作。
请搭配参阅图3所示，为本实用新型第三实施例的废气处理系统示意图，本实施例与第一实施例的差异为，该废气处理系统进一步包括一第二分流单元91、一第三分流单元92、一第二流量控制组35以及一第三流量控制组36，该第二分流单元91包括一第二分流件911、一第二汇流件912以及一第二分流管913，该第二分流件911设置于该第一导入管11上，该第二汇流件912设置于该第一导出管12上，该第二分流管913设置于该第二分流件911与该第二汇流件912之间；该第三分流单元92包括一第三分流件921、一第三汇流件922以及一第三分流管923，该第三分流件921设置于该第一导出管12上，该第三汇流件922设置于该第二导出管21上，该第三分流管923设置于该第三分流件921与该第三汇流件922之间，其中该第二分流单元91以及该第三分流单元92的设置是分别为了当该废气洗涤单元10回路或该压缩单元20回路需维护或维修时，可提供暂时性的回路，使该废气处理系统能维持正常运作；该第二流量控制组35包含一第五流量控制阀351、一第六流量控制阀352以及一第七流量控制阀353，该第五流量控制阀351设置于该第二分流件911与该废气洗涤单元10之间的该第一导入管11上，该第六流量控制阀352设置于该第二汇流件912与该废气洗涤单元10之间的该第一导出管12上，该第七流量控制阀353设置于该第二分流件911与该第二汇流件912之间的该第二分流管913上，该第五流量控制阀351、该第六流量控制阀352以及该第七流量控制阀353分别用于控制该废气流过该第一导入管11、该第一导出管12以及该第二分流管913的流量； 该第三流量控制组36包含一第八流量控制阀361、一第九流量控制阀362以及一第十流量控制阀363，该第八流量控制阀361设置于该第三分流件921与该压缩单元20之间的该第一导出管12上，该第九流量控制阀362设置于该第三汇流件922与该压缩单元20之间的该第二导出管21上，该第十流量控制阀363设置于该第三分流件921与该第三汇流件922之间的该第三分流管923上，该第八流量控制阀361、该第九流量控制阀362以及该第十流量控制阀363分别用于控制该废气流过该第一导出管12、该第二导出管21以及该第三分流管923的流量。
在本实施例中，该检测/控制单元30包含一孔板37、一第二检测件38以及一比例-积分-微分控制器(Proportional Integral Derivative Controller，简称PID控制器)39，该孔板37设置于该第八流量控制阀361与该压缩单元20之间的该第一导出管12上，该第二检测件38具有一设置于该第八流量控制阀361与该孔板37之间的第一检测点381以及一设置于该压缩单元20与该孔板37之间的第二检测点382，该第一检测点381与该第二检测点382用于检测该废气流过该孔板37的压力而使该第二检测件38产生一压力信号，该PID控制器39分别与该第二检测件38和该压缩单元20电性连接，并接收该第二检测件38所传送的该压力信号，再根据该压力信号对该压缩单元20的一转速进行控制。
综上所述，由于是利用该压缩单元以及该检测/控制单元对该废气处理系统中的该废气进行该压力调整以及控制该废气的流量，使该废气处理系统中的该废气维持在稳定的压力范围内，并非常用该抽气装置会使该燃烧器内形成该负压环境，故半导体制备设备直接与本实用新型的该废气处理系统直接连接仍可维持正常运作，使产线的良率相对提升。
当然，本实用新型还可有其它多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型权利要求的保护范围。
Claims (10)
1.一种废气处理系统，其特征在于，包括：
一废气洗涤单元，该废气洗涤单元包含一第一导入管以及一第一导出管，该第一导入管与该废气洗涤单元连通并提供一废气至该废气洗涤单元内进行一废气洗涤，该第一导出管与该废气洗涤单元连通并将该废气洗涤后的该废气从该废气洗涤单元排出；
一与该第一导出管连通的压缩单元，该压缩单元包含一第二导出管，该压缩单元将该第一导出管排出的该废气进行一压力调整，该第二导出管与该压缩单元连通并将该压力调整后的该废气从该压缩单元中排出；以及
一设置于该第一导入管和该第二导出管之间的检测/控制单元，该检测/控制单元检测该废气流过该废气处理系统的压力并控制该废气的流量。
2.根据权利要求1所述的废气处理系统，其特征在于，该废气洗涤单元还包含一与该废气洗涤单元连通并提供一水溶性洗涤介质至该废气洗涤单元中的第二导入管以及一与该废气洗涤单元连通并将一含有该水溶性洗涤介质的该废气从该废气洗涤单元中排出的第三导出管。
3.根据权利要求2所述的废气处理系统，其特征在于，还包含一与该第三导出管连通并接收含有该水溶性洗涤介质的该废气的中和反应单元，该中和反应单元包含分别与该中和反应单元连通的一中和介质导入管、一中性液体导出管以及一固态污泥导出管。
4.根据权利要求1所述的废气处理系统，其特征在于，还包含一除雾单元以及一微粒移除单元，该除雾单元设置于该第一导出管上且与该废气洗涤单元相邻，该微粒移除单元设置于该第一导出管上且与该压缩单元相邻。
5.根据权利要求4所述的废气处理系统，其特征在于，还包含一设置于该除雾单元与该微粒移除单元之间的该第一导出管上的混合单元，该混合单元包含一与该混合单元连通的空气导入管以及一设置于该空气导入管上的气体流量控制阀。
6.根据权利要求1所述的废气处理系统，其特征在于，该检测/控制单元包含一设置于该第一导入管上的第一检测件、一设置于该第一导出管上的第一流量控制阀以及一与该第一检测件电性连接且驱动该第一流量控制阀动作的阀驱动器。
7.根据权利要求1所述的废气处理系统，其特征在于，还包含一设置于该第二导出管上的排气单元。
8.根据权利要求1所述的废气处理系统，其特征在于，还包含一设置于该第一导出管上的第一分流件、一设置于该第二导出管上的第一汇流件以及一设置于该第一分流件与该第一汇流件之间的第一分流管。
9.根据权利要求8所述的废气处理系统，其特征在于，该检测/控制单元包含一第二流量控制阀、一第三流量控制阀以及一第四流量控制阀，该第二流量控制阀设置于该第一分流件与该压缩单元之间的该第一导出管上，该第三流量控制阀设置于该第一汇流件与该压缩单元之间的该第二导出管上，该第四流量控制阀设置于该第一分流件与该第一汇流件之间的该第一分流管上。
10.根据权利要求1所述的废气处理系统，其特征在于，该检测/控制单元包含一孔板、一第二检测件以及一比例-积分-微分控制器，该孔板设置于该第一导出管上，该第二检测件具有一设置于该废气洗涤单元与该孔板之间的第一检测点以及一设置于该压缩单元与该孔板之间的第二检测点，该比例-积分-微分控制器分别与该第二检测件和该压缩单元电性连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620819861.7U CN205942457U (zh) | 2016-07-29 | 2016-07-29 | 一种废气处理系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620819861.7U CN205942457U (zh) | 2016-07-29 | 2016-07-29 | 一种废气处理系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN205942457U true CN205942457U (zh) | 2017-02-08 |
Family
ID=57924107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201620819861.7U Active CN205942457U (zh) | 2016-07-29 | 2016-07-29 | 一种废气处理系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN205942457U (zh) |
-
2016
- 2016-07-29 CN CN201620819861.7U patent/CN205942457U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103866393B (zh) | 一种减压扩散炉反应管的密封装置 | |
| CN105895738A (zh) | 一种钝化接触n型太阳能电池及制备方法和组件、系统 | |
| CN205942457U (zh) | 一种废气处理系统 | |
| CN101989665A (zh) | 自循环燃料电池控制系统及其方法 | |
| CN204668282U (zh) | 一种高温低压扩散装置 | |
| CN204696138U (zh) | 一种太阳能电池多晶制绒设备的烘干装置 | |
| CN201804848U (zh) | 一种用于制造半导体器件的氧化装置 | |
| CN104269466B (zh) | 一种硅片的硼掺杂方法 | |
| CN103217932B (zh) | 燃料电池与家电设备的整合控制装置 | |
| CN107400143A (zh) | 一种制备苯基氯硅烷单体的节能系统及方法 | |
| CN114812121A (zh) | 硅片烘干装置及烘干方法、制绒硅片后处理系统及方法 | |
| CN208193972U (zh) | 黄磷车间烟气综合治理系统 | |
| CN110894599A (zh) | 等离子体化学气相沉积系统及方法 | |
| CN109680165A (zh) | 氢化还原装置 | |
| CN204918633U (zh) | 一种高炉煤气余压发电控制系统 | |
| CN104064789A (zh) | 燃料电池供给循环系统结构 | |
| CN210425801U (zh) | 一种烘干结构 | |
| CN202555272U (zh) | 一种高效节能反应釜 | |
| CN102679311A (zh) | 高效低能耗产生蒸汽的装置 | |
| CN202675905U (zh) | 沉降仓冷却控温装置 | |
| CN207581882U (zh) | 二级集汞器 | |
| CN206478616U (zh) | 锅炉系统和蒸汽系统 | |
| CN205328842U (zh) | 一种序批式热水解污泥处理装置 | |
| CN212650373U (zh) | 用于饲料调质器的供热系统 | |
| CN106422379A (zh) | 一种真空浓缩尾气热能利用系统 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20190517 Address after: No. 17 Langyashan Road, High-tech Industrial Development Zone, Yijiang District, Wuhu City, Anhui Province Patentee after: Anhui Kaiqian Automation Equipment Co., Ltd. Address before: No. 30 Garrison Square, Garrison Industrial Park, Singapore #01-23/24 Patentee before: Applied Materials Inc. |
|
| CP02 | Change in the address of a patent holder | ||
| CP02 | Change in the address of a patent holder |
Address after: 241002 1-3 floors of No. 3 Building, Soft Wuhu Software Park, No. 17 Langyashan Road, Yijiang District High-tech Industrial Development Zone, Wuhu City, Anhui Province Patentee after: Anhui Kaiqian Automation Equipment Co., Ltd. Address before: 241002 No. 17 Langyashan Road, Yijiang District High-tech Industrial Development Zone, Wuhu City, Anhui Province Patentee before: Anhui Kaiqian Automation Equipment Co., Ltd. |
|
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 241002 floor 1-3, building 3, zhongruan Wuhu Software Park, No.17 Langyashan Road, high tech Industrial Development Zone, Yijiang District, Wuhu City, Anhui Province Patentee after: Anhui yikos automation equipment Co., Ltd Address before: 241002 floor 1-3, building 3, zhongruan Wuhu Software Park, No.17 Langyashan Road, high tech Industrial Development Zone, Yijiang District, Wuhu City, Anhui Province Patentee before: Anhui Kaiqian Automation Equipment Co., Ltd. |