CN205900517U - 手持式静电吸盘装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种手持式静电吸盘装置，属于搬运超薄片状材料的搬运设备，所述手持式静电吸盘装置包括聚酰亚胺静电膜和用于支撑所述聚酰亚胺静电膜的静电膜支撑板，所述静电膜支撑板通过连接壳体连接手柄，所述手柄上设置有用于调节手柄顶端角度的角度调节旋钮。本实用新型的手持式静电吸盘装置不仅吸附力均匀，可以将工件稳定的固定住，而且操作简便。

Description

手持式静电吸盘装置

技术领域

本实用新型涉及搬运超薄片状材料的搬运设备，特别是指一种手持式静电吸盘装置。

背景技术

在半导体行业中，在硅晶片上锁加工制作成的各种电路元件结构，可以使之成为具有特定电性功能的IC产品，而这一加工过程往往都在超净间环境内完成，并且包含若干个加工步骤。在每一步的加工工序之间，操作人员需要对硅晶片进行移动，并且通常会使用金属镊子对硅晶片进行夹持搬运。

传统搬运方式不仅会对硅晶片造成污染，更重要的是：由于操作者在使用镊子进行夹持时有可能有利过大，导致晶片破损断裂，其碎片设置会影响到整个洁净室的洁净程度。因此，现有技术针对硅晶片加工过程中的搬运方式并非安全可靠。

实用新型内容

本实用新型提供一种吸附力均匀、操作简便的手持式静电吸盘装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供技术方案如下：

本实用新型提供一种手持式静电吸盘装置，包括聚酰亚胺静电膜和用于支撑所述聚酰亚胺静电膜的静电膜支撑板，所述静电膜支撑板通过连接壳体连接手柄，所述聚酰亚胺静电膜包括聚酰亚胺膜和与所述聚酰亚胺膜贴合的导电体，所述导电体为金属箔，所述金属箔的正负两极相互交错且不连通。

进一步的，所述手柄上设置有用于调节手柄顶端角度的角度调节旋钮。

进一步的，所述聚酰亚胺静电膜内设置有导线，所述连接壳体的内部设置有走线沟槽，所述静电膜支撑板上设置有通孔，所述导线穿过所述通孔，沿着所述走线沟槽延伸至所述手柄中，并与输电缆线连通，所述输电缆线连接电池盒。

进一步的，所述聚酰亚胺膜和导电体通过热压机进行热压。

进一步的，所述聚酰亚胺膜和导电体为一体化结构，所述导电体与聚酰亚胺膜通过覆膜机进行贴合。

进一步的，所述金属箔为铜箔或钢箔。

进一步的，所述手柄上设置有控制通断电的开关，所述开关与聚酰亚胺静电膜中的导线接通。

进一步的，所述聚酰亚胺静电膜粘贴在所述静电膜支撑板上。

进一步的，所述静电膜支撑板通过紧固螺钉和连接壳体装配在所述手柄上。

本实用新型具有以下有益效果：

与现有技术相比，本实用新型的手持式静电吸盘装置在使用时，静电膜支撑板对聚酰亚胺静电膜起支撑作用，其中聚酰亚胺静电膜是对聚酰亚胺膜进行相关的结构改进而制成的，将聚酰亚胺静电膜通过改进得到所需要的形状：即金属箔的正负两极相互交错且不连通，该结构使得聚酰亚胺静电膜在被接入高压直流电后，表面具有静电吸附效果，可以将工件稳定的吸附在聚酰亚胺静电膜的表面。操作者通过握住手柄可以方便的对硅晶片进行搬运或其他操作。本实用新型的手持式静电吸盘装置不仅吸附力均匀，可以将工件稳定的固定住，而且操作简便。

附图说明

图1为本实用新型的手持式静电吸盘装置的结构示意图；

图2为本实用新型的手持式静电吸盘装置的聚酰亚胺静电膜的剖面结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。

本实用新型提供一种手持式静电吸盘装置，如图1-2所示，包括聚酰亚胺静电膜1和用于支撑聚酰亚胺静电膜1的静电膜支撑板8，静电膜支撑板8通过连接壳体7连接手柄4，聚酰亚胺静电膜1包括聚酰亚胺膜9和与聚酰亚胺膜9贴合的导电体10，导电体10为金属箔，金属箔的正负两极相互交错且不连通。

与现有技术相比，本实用新型的手持式静电吸盘装置在使用时，静电膜支撑板对聚酰亚胺静电膜起支撑作用，其中聚酰亚胺静电膜是对聚酰亚胺膜进行相关的结构改进而制成的，将聚酰亚胺静电膜通过改进得到所需要的形状：即金属箔的正负两极相互交错且不连通，该结构使得聚酰亚胺静电膜在被接入高压直流电后，表面具有静电吸附效果，可以将工件稳定的吸附在聚酰亚胺静电膜的表面。操作者通过握住手柄可以方便的对硅晶片进行搬运或其他操作。本实用新型的手持式静电吸盘装置不仅吸附力均匀，可以将工件稳定的固定住，而且操作简便。

本实用新型中的静电膜支撑板采用柔性塑料材料制成，这样可以避免本实用新型于硅晶片接触时对硅晶片造成损伤，可以保证本实用新型实施例的手持式静电吸盘装置在使用时对被吸附物的保护。

作为本实用新型的一个实施例，进一步的，手柄4上设置有用于调节手柄顶端角度的角度调节旋钮3。手柄的顶端可以在一定角度内进行调节，操作者可根据自己的使用习惯及操作姿势调节手柄的角度，有利于对被吸附物进行可靠稳定的吸附。

其中，本实用新型中的聚酰亚胺静电膜为一种整体成型的柔性薄膜类产品，其结构设计与制备工艺是以聚酰亚胺薄膜加热膜为基础，并经过相关的结构改进而制成的。其外层绝缘层的材质为聚酰亚胺，并且在内部包含一层以金属箔、金属丝为材料所制成的导电体，整体经高温高压热合而成。聚酰亚胺静电膜具有优异的绝缘强度、抗电强度以及静电吸附性能。

为了使导线得到合理的走线布置和牢固的固定，聚酰亚胺静电膜内设置有导线，连接壳体的内部可以设置有走线沟槽，静电膜支撑板上优选设置有通孔，导线穿过通孔，沿着走线沟槽延伸至手柄中，并与输电缆线连通，输电缆线5连接电池盒。输电缆线可以实现聚酰亚胺静电膜中的导线与电池盒的连接。本实用新型实施例的手持式静电吸盘装置可通过可随身携带的电池盒进行供电，从而提供吸附硅晶片所需的静电力，且所用电池具有可充电功能，可以重复使用。在针对此实用新型所制作的试验样机中，电池盒被装入实验室专用侧挎背包内，并由操作者随身携带。

进一步的，聚酰亚胺膜和导电体可以通过热压机进行热压。金属箔形式的导电体与聚酰亚胺膜通过覆膜机进行贴合，通过刻蚀工艺得到所需要的形状：即正负两极相互交错且不连通。该结构使得聚酰亚胺静电膜在被接入高压直流电后，表面具有静电吸附效果。通过刻蚀工艺成型后的导电体与聚酰亚胺膜经过热压机进行热压，从而得到一体化的聚酰亚胺静电膜。此套制备工艺取代了传统工艺中金属电极层蒸镀成型的方式，避免了对大型镀膜设备的使用，节省了金属材料蒸镀成型所需要的较长的加工时间。

作为本实用新型的一种改进，聚酰亚胺膜和导电体优选为一体化结构，导电体与聚酰亚胺膜可以通过覆膜机进行贴合。这种技术避免了在类似的传统制作工艺中：将金属层通过蒸镀或溅射的方法成型在聚酰亚胺薄膜上的这一道工序，节省了制作难度，缩短了制作时间。本实用新型中的聚酰亚胺静电膜，各层之间是通过覆膜机贴合并热压成型的，结合过程简单，且结合力强，可间接性视为一个完整的结构一体化的部件。

优选的，金属箔可以为铜箔或钢箔。金属箔选用钢箔或铜箔材料制成，具体的选材可以根据所需的聚酰亚胺静电膜的整体面积尺寸而定。本实用新型中，金属底座内优选设置有加强筋。加强筋设计可以增强金属底座的稳定性，使得金属底座本身不易变形，且整体平整度得到更好的保证。

本实用新型中，手柄4上优选设置有控制通断电的开关6，开关6与聚酰亚胺静电膜1中的导线接通。操作者用手握住手柄对硅晶片进行搬运时，可以通过开关对本实用新型提供的静电吸附力进行快速开启和释放。开关上还设置有指示灯，当需要对硅晶片进行吸附固定时，打开开关，此时开关的指示灯在开启状态下点亮，可以清晰的显示其工作状态，使用者可以确定硅晶片是在被吸附固定的情况下对硅晶片进行搬运等操作，避免操作者的误操作造成被吸附物掉落甚至破碎。当开关关闭时，开关的指示灯熄灭，这种情况下本实用新型实施例的手持式静电吸盘装置对硅晶片没有吸附力，这种情况下如果需要对硅晶片进行搬运等操作，需要先打开开关，待硅晶片被稳定吸附住后再进行操作。

进一步的，聚酰亚胺静电膜优选粘贴在静电膜支撑板上。这种粘贴的方式使得本实用新型操作方便，很容易就能实现将聚酰亚胺静电膜固定在静电膜支撑板上，而且聚酰亚胺静电膜的可替换性强，方便更换。具体的，聚酰亚胺静电膜可通过3M双面胶粘结的方式粘贴在静电膜支撑板上。

优选的，静电膜支撑板8通过紧固螺钉2和连接壳体装配在手柄4上。连接壳体是一个具有规则形状的矩形金属块，内部有镂空，用于电缆线的走线；静电膜支撑板底部上设有4个小孔，与连接壳体其中一面上的4个螺纹孔相配合，通过4根内六角螺钉连接紧固(见图1，该图为手持式静电吸盘模型在角度约为45°时的外观样貌)。整个连接形式较为简单。

本实用新型中的聚酰亚胺静电膜，首先是由第一层聚酰亚胺薄膜及一层金属箔通过覆膜机进行贴合并热压成型，而后通过对金属箔的蚀刻得到所需的导电体形状，再将另一层聚酰亚胺薄膜与其通过覆膜机进行贴合并热压成型，从而形成上层和下层为聚酰亚胺薄膜，中间一层为导电体的组合体，并称之为聚酰亚胺静电膜。该技术避免了在类似的传统制作工艺中：将金属层通过蒸镀或溅射的方法成型在第一层聚酰亚胺薄膜上的这一道工序，节省了制作难度，缩短了制作时间。本实用新型中可以直接将聚酰亚胺静电膜通过3M双面胶粘接在静电膜支撑板上。

本实用新型涉及一种超薄板件材料的加工辅助设备，尤其涉及一种对于平板显示器(FPD)超薄玻璃加工过程中进行复制夹持的设备，本实用新型还可以适用于激光切割工艺中对被切割工件，如超波玻璃以及PET薄膜的吸附固定。

综上，本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型所提供的静电力可以对硅晶片进行稳定的吸附，从而达到安全可靠的搬运效果；

2、本实用新型通过可随身携带的电池盒进行充电，使用方便灵活，并可通过充电而恢复使用；

3、本实用新型所采用的聚酰亚胺静电膜贴膜集成的方式灵活性强，操作便捷，可替换性强。

以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (9)

1.一种手持式静电吸盘装置，其特征在于，包括聚酰亚胺静电膜和用于支撑所述聚酰亚胺静电膜的静电膜支撑板，所述静电膜支撑板通过连接壳体连接手柄，所述聚酰亚胺静电膜包括聚酰亚胺膜和与所述聚酰亚胺膜贴合的导电体，所述导电体为金属箔，所述金属箔的正负两极相互交错且不连通。

2.根据权利要求1所述的手持式静电吸盘装置，其特征在于，所述手柄上设置有用于调节手柄顶端角度的角度调节旋钮。

3.根据权利要求1所述的手持式静电吸盘装置，其特征在于，所述聚酰亚胺静电膜内设置有导线，所述连接壳体的内部设置有走线沟槽，所述静电膜支撑板上设置有通孔，所述导线穿过所述通孔，沿着所述走线沟槽延伸至所述手柄中，并与输电缆线连通，所述输电缆线连接电池盒。

4.根据权利要求1所述的手持式静电吸盘装置，其特征在于，所述聚酰亚胺膜和导电体通过热压机进行热压。

5.根据权利要求1至4中任一所述的手持式静电吸盘装置，其特征在于，所述聚酰亚胺膜和导电体为一体化结构，所述导电体与聚酰亚胺膜通过覆膜机进行贴合。

6.根据权利要求5所述的手持式静电吸盘装置，其特征在于，所述金属箔为铜箔或钢箔。

7.根据权利要求5所述的手持式静电吸盘装置，其特征在于，所述手柄上设置有控制通断电的开关，所述开关与聚酰亚胺静电膜中的导线接通。

8.根据权利要求5所述的手持式静电吸盘装置，其特征在于，所述聚酰亚胺静电膜粘贴在所述静电膜支撑板上。

9.根据权利要求5所述的手持式静电吸盘装置，其特征在于，所述静电膜支撑板通过紧固螺钉和连接壳体装配在所述手柄上。