CN205856657U - 一种碳化硅单晶炉用监控系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种碳化硅单晶炉用监控系统，它包括主控制器，在所述主控制器一侧连接设有压力模块和温度模块，它们与报警模块相连，所述报警模块与故障定位模块相连，所述故障定位模块与主控制器相连，在所述主控制器另一侧连接设有远程控制模块和显示模块。本实用新型控制精确，运行平稳。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种监控系统，具体涉及一种单晶炉用监控系统。
背景技术
目前，在碳化硅单晶炉上还没有比较稳定、控制精确的监控系统，一般都是比较单一的功能模块，不能满足高要求使用场合。
发明内容
发明目的：本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种控制精确，运行平稳的碳化硅单晶炉用监控系统。
技术方案：为了解决上述技术问题，本实用新型所述的一种碳化硅单晶炉用监控系统，它包括主控制器，在所述主控制器一侧连接设有压力模块和温度模块，它们与报警模块相连，所述报警模块与故障定位模块相连，所述故障定位模块与主控制器相连，在所述主控制器另一侧连接设有远程控制模块和显示模块。
在所述主控制器上连接设有能耗计量模块。
所述主控制器与备用控制器相连。
有益效果：本实用新型与现有技术相比，其显著优点是：本实用新型整体结构设置合理，设置主控制器和备用控制器，确保整体运行平稳可靠， 压力模块、温度模块与报警模块相连，压力和温度的异常可以及时报警提示，故障定位模块可以快速寻找并且定位故障位置，方便工作人员解决故障，设置远程控制模块，可以实现远程操控，设置能耗计量模块，可以有效节约能耗，本系统控制精确，可以满足各种使用要求。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。
如图1所示，本实用新型所述的一种碳化硅单晶炉用监控系统，它包括主控制器1，在所述主控制器1一侧连接设有压力模块2和温度模块3，它们与报警模块4相连，所述报警模块4与故障定位模块5相连，所述故障定位模块5与主控制器1相连，在所述主控制器1另一侧连接设有远程控制模块6和显示模块7；在所述主控制器1上连接设有能耗计量模块8；所述主控制器1与备用控制器9相连。本实用新型整体结构设置合理，设置主控制器和备用控制器，确保整体运行平稳可靠， 压力模块、温度模块与报警模块相连，压力和温度的异常可以及时报警提示，故障定位模块可以快速寻找并且定位故障位置，方便工作人员解决故障，设置远程控制模块，可以实现远程操控，设置能耗计量模块，可以有效节约能耗，本系统控制精确，可以满足各种使用要求。
本实用新型提供了一种思路及方法，具体实现该技术方案的方法和途径很多，以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围，本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。
Claims (3)
1.一种碳化硅单晶炉用监控系统，其特征在于：它包括主控制器（1），在所述主控制器（1）一侧连接设有压力模块（2）和温度模块（3），它们与报警模块（4）相连，所述报警模块（4）与故障定位模块（5）相连，所述故障定位模块（5）与主控制器（1）相连，在所述主控制器（1）另一侧连接设有远程控制模块（6）和显示模块（7）。
2.根据权利要求1所述的碳化硅单晶炉用监控系统，其特征在于：在所述主控制器（1）上连接设有能耗计量模块（8）。
3.根据权利要求1所述的碳化硅单晶炉用监控系统，其特征在于：所述主控制器（1）与备用控制器（9）相连。
Priority Applications (1)
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| CN201620617666.6U CN205856657U (zh) | 2016-06-22 | 2016-06-22 | 一种碳化硅单晶炉用监控系统 |
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| CN (1) | CN205856657U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107523873A (zh) * | 2016-06-22 | 2017-12-29 | 江苏拜尔特光电设备有限公司 | 一种碳化硅单晶炉用监控系统 |
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2016
- 2016-06-22 CN CN201620617666.6U patent/CN205856657U/zh not_active Expired - Fee Related
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