CN205786293U - 一种综合性自校准气体检测分析装置 - Google Patents

一种综合性自校准气体检测分析装置 Download PDF

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Abstract

本实用新型涉及一种综合性自校准气体检测分析装置,具有光源,光源经光线处理装置处理后通入检测通道,参比通道,和校准通道Ⅰ;检测通道内装有检测器Ⅰ和检测器II;检测通道的一侧设有检测进气口Ⅰ和II;检测通道的另一侧设有检测出气口;参比通道内装有检测器III;参比通道的一侧设有用于通入参比气体的参比进气口,参比通道的另一侧设有参比出气口;校准通道Ⅰ内装有检测器IV;校准通道Ⅰ的一侧设有校准进气口,校准通道Ⅰ的另一侧设有校准出气口,校准出气口通过三通切换装置Ⅰ,分别与检测进气口II和待测气体进气口相连。利用本装置可采用多种方法对多种气体进行检测,且自带校准功能,极大地减少了实际工作量,成本低。

Description

一种综合性自校准气体检测分析装置
技术领域
本实用新型涉及一种综合性自校准气体检测分析装置,综合利用吸收光谱法、荧光光谱法或者化学发光法对多种气体成分进行分析且自带校准功能。
背景技术
众所周知,检测气体成分常用的方法有吸收光谱法、荧光光谱法、化学发光法,等等,各种方法通常有各自单独的仪器,但由于实际工作中气体中往往含有多种成分,每种成分通常都在多个波段有吸收,许多成分之间的吸收光谱有部分重合,或者多种成分在多个波段都有荧光产生,为了把它们区分开来,往往需要利用多台不同方法的仪器进行多次检测;或者,在实际工作中需要同时检测气体中的多种成分的含量,而其中的不同成分往往需要用不同的检测方法来检测,这就需要使用多台仪器,造成成本高,工作量大,且各台仪器都需要校准和标定,往往需要一个庞大的系统来完成所需的工作,给实际工作造成很大的不便,且不利于经济条件差的地区大规模地开展相关气体的检测工作。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种综合性自校准气体检测分析装置,即通过综合性的装置采用多种方法对多种气体进行检测,且自带校准功能,极大地减少了实际工作量,成本低,费效比高。
本实用新型采用的技术方案为:
一种综合性自校准气体检测分析装置,具有光源机构,检测通道(10),参比通道(6),校准通道Ⅰ(13)和若干个检测器;
所述光源机构具有光源(1)和光线处理装置(2);所述光源1经光线处理装置(2)处理后通入检测通道(10),参比通道(6),和校准通道Ⅰ(13);
所述检测通道(10)内装有检测器Ⅰ(11)和检测器II(17),所述检测器Ⅰ(11)用于检测气体的吸收光强,所述检测器II(17)用于检测气体的荧光光强和化学发光光强;所述检测通道(10)的一侧设有检测进气口Ⅰ(10.1)和检测进气口II(10.2),所述检测进气口Ⅰ(10.1)用于通入反应气体;检测通道(10)的另一侧设有检测出气口(10.3);
所述参比通道(6)内装有检测器III(7),用于检测参比气体相应的参比光强;所述参比通道(6)的一侧设有用于通入参比气体的参比进气口(6.1),参比通道(6)的另一侧设有参比出气口(6.2);
所述校准通道Ⅰ(13)内装有检测器IV(14),用于检测校准通道Ⅰ(13)内气体的入射光强;所述校准通道Ⅰ(13)的一侧设有校准进气口(13.1),校准通道Ⅰ(13)的另一侧设有校准出气口(13.2),所述校准出气口(13.2)通过三通切换装置Ⅰ(12),分别与检测进气口II(10.2)和待测气体进气口(22)相连。
所述的一种综合性自校准气体检测分析装置,所述检测通道(10)内还设有校准通道II(19),所述校准通道II(19)内通入含有固定浓度的目标气体;在校准通道II(19)的光路上设有光路切换/遮挡装置(4),使得仅当通过校准通道II(19)校准时,校准通道II(19)才参与检测通道(10)的光路,通过检测器Ⅰ(11)和/或检测器II(17)检测校准通道II(19)所产生的光信号,进行校准。
所述的一种综合性自校准气体检测分析装置,所述校准进气口(13.1)通过三通切换装置II(15),分别与待测气体进气口(22)和洁净气体进气口(23)相连,使得校准通道Ⅰ(13)可选择从待测气体进气口(22)或洁净气体进气口(23)吸入气体。
所述的一种综合性自校准气体检测分析装置,所述检测出气口(10.3)和参比出气口(6.2)通过三通阀连接,再通过与三通阀连接的密封管路经流量测量控制及废气处理装置(8)与真空泵(9)相连,将气体排出。
所述的一种综合性自校准气体检测分析装置,所述参比进气口(6.1)处设有参比气体发生装置(5),气体经过参比气体发生装置(5)处理后经参比进气口(6.1)进入参比通道(6);
所述的一种综合性自校准气体检测分析装置,其特征在于,所述待测气体进气口(22)处设有预处理装置(20),待测气体经过预处理装置(20)的处理后由待测气体进气口(22)通入;
所述的一种综合性自校准气体检测分析装置,所述校准进气口(13.1)处设有洁净气体发生装置(16),所述洁净气体发生装置(16)产生的洁净气体由校准进气口(13.1)通入。
所述的一种综合性自校准气体检测分析装置,所述光源机构具有一个或两个以上的发光光源(1),每个光源(1)均设有与其相应的光线处理装置(2)。
本实用新型具有以下有益效果:
本实用新型一种综合性自校准气体检测分析装置包括光源、检测器、检测通道、参比通道和校准通道,光源可由一个或一个以上的发光光源组成,并包括相应的单色、平行、分束、遮挡、偏转等光线处理装置;检测通道可至少有一个通道,且每个通道内至少装有一个检测器,待测气体通入检测通道中;参比通道装有检测器,通入不含目标气体的参比气体,该通道可视工作方式的不同与检测通道共用相同的通道和检测器;校准通道安装有检测器,通入不含目标气体的洁净气体或已知浓度的目标气体,该通道可视工作方式的不同与检测通道共用相同的通道和检测器。各通道均通过密封管路与外界相连,根据检测工作的具体内容而通入不同的气体。
本实用新型能够自动连续地根据目标气体的不同特性采用多种方法监测气体中的多种成分,极大了减少了仪器购置成本,减轻了工作量,为科研、环保等领域的应用提供了科学、合理的装置。
附图说明
图1为实施例1的一种综合性自校准气体检测分析装置的示意图。
图2为实施例2的一种综合性自校准气体检测分析装置的示意图。
图3为实施例3的一种综合性自校准气体检测分析装置的示意图。
其中:光源1,光线处理装置2,检测器VI3,光路切换/遮挡装置4,参比气体发生装置5,参比通道6,参比进气口6.1,参比出气口6.2,检测器III7,流量测量控制及废气处理装置8,真空泵9,检测通道10,检测进气口Ⅰ10.1,检测进气口II10.2,检测出气口10.3,检测器Ⅰ11,三通切换装置Ⅰ12,校准通道Ⅰ13,校准进气口13.1,校准出气口13.2,检测器IV14,三通切换装置II15,洁净气体发生装置16,检测器II17,检测通道Ⅰ18校准通道II19,预处理装置20,三通切换装置III21,待测气体进气口22,洁净气体进气口23,总出气口24。
具体实施方式
实施例1一种综合性自校准气体检测分析装置
如图1所示,为方便起见,本实施例仅以一个检测通道10、一个参比通道6以及两个不同类型的校准通道Ⅰ13和II19为例,其中校准通道II19内置于检测通道10,校准通道Ⅰ13单独设立,实际上各通道可以根据需要无限制地增加。该分析装置包括光源1及光线处理装置2(如图中虚线所示,为根据实际需要增加的光源1'及光线处理装置2',当采用多个发光光源时可相应增加)、检测器Ⅴ3'(当采用多个发光光源时亦相应增加)、检测器III7、Ⅰ11、IV14和II17、检测通道10、参比通道6以及校准通道Ⅰ13和II19。
在检测通道10内安装检测器Ⅰ11、检测器II17和校准通道II19,检测通道10的一侧设有两个进气口分别为检测进气口Ⅰ10.1和检测进气口II10.2,其中检测进气口Ⅰ10.1为采用化学发光法检测时反应气体的入口,该气体可与目标气体发生化学反应并发出特定波长的光;在检测通道10的另外一侧设有检测出气口10.3;
参比通道6内装有检测器III7,用于检测参比气体相应的参比光强;所述参比通道6的一侧设有用于通入参比气体的参比进气口6.1,通过密封管路吸入参比气体发生装置5所产生的参比气体,参比通道6的另一侧设有参比出气口6.2;
两个校准通道分别采用不同的形式,其中独立的校准通道Ⅰ13内装有检测器IV14,用于检测校准通道Ⅰ13内气体的入射光强;所述校准通道Ⅰ13的一侧设有校准进气口13.1,校准通道Ⅰ13的另一侧设有校准出气口13.2,所述校准出气口13.2通过三通切换装置Ⅰ12,分别与检测进气口II10.2和待测气体进气口22相连;校准进气口13.1通过三通切换装置II15,分别与待测气体进气口22和洁净气体进气口23相连,使得校准通道Ⅰ13可选择从待测气体进气口22或洁净气体进气口23吸入气体。
校准通道II19内置于检测通道10中,含有固定浓度的目标气体,在校准通道II19的光路上设有光路切换/遮挡装置4,使得仅当校准时,校准通道II19才参与检测通道10的光路,此时校准通道II19所产生的光信号才被检测器Ⅰ11和II17所检测,利用该数据对装置进行校准;校准通道Ⅰ13安装有检测器IV14,校准通道Ⅰ13一侧设有校准进气口13.1,通过三通切换装置II15,可选择从待测气体进气口22或洁净气体进气口23吸入气体,校准通道Ⅰ13另外一侧设有校准出气口13.2,该出气口通过三通切换装置Ⅰ12分别与检测通道10的检测进气口II10.2及检测进气口II10.2相连。
除上述典型结构外,该气体分析装置亦可采用对检测通道10依次通入参比气体及洁净气体的方式,从而把参比通道6和校准通道13中的某个或全部通道与检测通道10合为一个。
检测时,根据所欲检测目标气体的特性,利用上述综合性自校准气体检测分析装置,采用下述其中至少一种方法进行检测:
(1)当采用吸收光谱法进行检测时,首先对光源进行平行、单色等处理后分成几部分,一部分光照射检测通道10,光线经过其中待检测气体后部分被目标气体吸收并被检测器Ⅰ11检测光强;另外一部分光照射充满参比气体的参比通道6,光线经过其中的参比气体后被检测器III7检测光强,通过比较两者的光强从而得出目标气体的浓度;
或者重复上述过程但采用不同波长的光线,通过对目标气体在不同波长的吸收强度的综合拟合从而得到目标气体的浓度。
当参比通道6与检测通道10共用同一个通道时,依次通入待测气体和参比气体,通过比较光线通过两者后的不同光强从而得出目标气体的浓度。
(2)当采用荧光光谱法进行测量时,根据目标气体的特性对光源进行平行、单色等处理后分成几部分,一部分光照射检测通道10,并用检测器II17分别检测入射光线光强和目标气体所产生的荧光光强;另外一部分光照射充满参比气体的参比通道6,光线经过其中的参比气体后用检测器III7检测入射光强,比较两个通道的入射光强和荧光光强,从而得出目标气体的浓度;
或者,当参比通道6与检测通道10共用同一个通道时,依次通入待测气体和参比气体,通过比较两者荧光光强从而得出目标气体的浓度。
可通过重复上述步骤但采用不同波长的入射光线,通过检测不同波长入射光线下待测气体的荧光光强和入射光线的光强从而得到目标气体的浓度。
(3)当采用化学发光法进行检测时,给检测通道10通入可以与目标气体发生化学反应的特定成分A,该成分A可与目标气体发生化学反应并发出特定波长b的光,通过检测器检测该化学反应所发出的波长b的光强从而得到目标气体的浓度;
或者,当该特定成分A可由待测气体中某种成分转化而来时,根据所欲检测的目标气体的特性对光源进行处理,把特定波长a的光线照射入检测通道,把待测气体中的某种成分转化成特定成分A,该成分A可与目标气体发生化学反应并发出特定波长b的光,通过检测器Ⅰ11和/或检测器II17检测该化学反应所发出的波长b的光强从而得到目标气体的浓度;
进一步,当成分A可用吸收光谱法或荧光光谱法进行检测时,可对校准通道Ⅰ13通入洁净气体,用特定波长a的光线照射入校准通道Ⅰ13,把洁净气体中与待测气体中某种相同的成分转化成特定成分A,用检测器IV14检测此时的入射光强Ia;再把此时校准通道Ⅰ13的气体通入检测通道10,采用前述(1)的吸收光谱法或者前述(2)的荧光光谱法检测该特定成分A的浓度A1,之后,把待测气体通入校准通道Ⅰ13,把特定波长a的光线用相同光强Ia照射入校准通道,此时所产生的特定成分A与目标气体发生化学反应并消耗掉对应浓度,再把此时校准通道Ⅰ13的气体通入检测通道10,采用前述(1)吸收光谱法或者(2)荧光光谱法检测该特定成分A的浓度A2,计算A1与A2的差值即可得到目标气体的浓度。
当校准通道Ⅰ13与检测通道10共用相同的通道及检测器时,对检测通道10依次通入洁净气体及待测气体,并通入波长a的光线产生特定成分A,再用吸收光谱法或荧光光谱法分别对成分A进行检测,得到其浓度分别是A1和A2,因为在待测气体中成分A与目标气体发生化学反应而消耗掉相应的浓度,通过比较A1与A2的差值即可得到目标气体的浓度。
当校准时,可分为零点校准和标点校准:
校零时,把相同的洁净气体同时通入参比通道6及检测通道10,或者,当两者共用同一个通道时,直接通入洁净气体,通过检测其吸收光谱、荧光光谱或目标气体的化学反应所发出的光强,从而对装置的零点进行标定。
校标时,通过校准通道Ⅰ13的洁净气体被光源发出的、经过处理后的至少一种特定波长ai的光线照射会产生至少一种目标气体Ai,该光线被检测器所检测光强,即可通过预先的标定得到所产生的目标气体Ai的浓度,再把该已知目标气体Ai浓度的气体通入检测通道10通过吸收光谱法或者荧光光谱法进行检测即可完成校标;或者,当检测通道10与校准通道Ⅰ13共用相同通道时,给该通道通入洁净气体,用光源发出的、经过处理的至少一种特定波长ai的光线照射,会产生至少一种目标气体Ai,通过检测器检测波长ai的光强即可得到此时目标气体Ai的浓度,再把该气体用吸收光谱法或者荧光光谱法进行检测即可完成校标。
当某种目标气体C不能由光线照射洁净气体的方式产生时,可在检测通道10内放置含有固定浓度目标气体C的密封校标装置,平时处于检测状态时光线不进入该装置,当校标时通过光线偏转装置把特定波长的光射入本装置,或用遮光装置把校标装置的光线遮住,校标时把遮光装置移开,通过测量该校标装置中固定浓度目标气体C所产生的吸收光谱或荧光光谱对仪器进行校标。
本实施例通过采用上述结构,可以完成多种方法的检测,通过采用单一或者复用不同的检测方法,可以测量多种气体成分的浓度,并对本装置进行自我校准,极大地减少了维护工作量,为科研、环保等领域的应用提供了科学、合理的装置。
实施例2一种综合性自校准气体检测分析装置
采用如图2所示的典型结构,荧光光谱法、吸收光谱法与化学发光法的检测通道共用检测通道10;检测时,光源1所发出的光线经过处理后分别通入参比通道6、检测通道10和校准通道Ⅰ13;从待测气体进气口22进入的待测气体经过预处理装置20的处理后,通过三通切换装置Ⅰ12进入检测通道10,通过检测器Ⅰ11和II17可检测待测气体相应的吸收光强、荧光光强;而参比进气口6.1的气体经过参比气体发生装置5处理后进入参比通道6,通过检测器III7可检测参比气体相应的参比光强,对比两个通道相应的光强,即可得到待测气体中目标气体的浓度。重复上述过程但采用不同波长的光线,通过对目标气体在不同波长下对光的吸收强度及荧光强度的综合拟合从而得到目标气体的浓度。所有上述各通道的出气口通过密封管路经过流量测量控制及废气处理装置8与真空泵9相连,并从总出气口24排出。从上述描述可看出,可通过依次给检测通道10通入待测气体和参比气体的方法来使参比通道和检测通道共用相同的通道及检测器。
当采用化学发光法进行检测时,从待测气体进气口22进入的待测气体经过预处理装置20的处理后,通过三通切换装置Ⅰ12进入检测通道10,同时,通过检测进气口Ⅰ10.1给检测通道10通入可以与目标气体发生化学反应的特定成分A,该成分A可与目标气体发生化学反应并发出特定波长b的光,通过检测器II17检测该化学反应所发出的波长b的光强从而得到目标气体的浓度;
某些情况下,当该特定成分A可由待测气体中某种成分转化而来时,根据所欲检测的目标气体的特性对光源进行处理,把特定波长a的光线照射入检测通道,把待测气体中的某种成分转化成特定成分A,该成分A可与目标气体发生化学反应并发出特定波长b的光,通过检测器检II17检测该化学反应所发出的波长b的光强从而得到目标气体的浓度;
进一步,当成分A可用吸收光谱法或荧光光谱法进行检测时,可对校准通道Ⅰ13通入洁净气体,用特定波长a的光线照射,把洁净气体中与待测气体中某种相同的成分转化成特定成分A,用检测器IV14检测此时的入射光强Ia,再把此时校准通道Ⅰ13的气体通入检测通道10,采用前述的吸收光谱法或者荧光光谱法检测该特定成分A的浓度A1,之后,把待测气体通入校准通道Ⅰ13,把特定波长a的光线用相同光强Ia照射入校准通道Ⅰ13,此时所产生的特定成分A与目标气体发生化学反应并消耗掉对应浓度,再把此时校准通道Ⅰ13的反应后的气体通入检测通道10,采用前述的吸收光谱法或者荧光光谱法检测该特定成分A的浓度A2,计算A1与A2的差值即可得到目标气体的浓度。当校准通道Ⅰ13与检测通道10共用相同的通道及检测器时,对检测通道10依次通入洁净气体及待测气体,并通入波长a的光线产生特定成分A,再用吸收光谱法或荧光光谱法分别对成分A进行检测,得到其浓度分别是A1和A2,因为在待测气体中成分A与目标气体发生化学反应而消耗掉相应的浓度,通过比较A1与A2的差值即可得到目标气体的浓度。
当校准时,可分为零点校准和标点校准:
校零时,把参比气体发生装置5产生的参比气体通入参比通道6,把洁净气体发生装置16产生的不含目标气体的洁净气体通入检测通道10,或者,当两者共用同一个通道时,直接把洁净气体发生装置16产生的洁净气体通入检测通道10,通过检测器Ⅰ11和II17分别检测其吸收光谱、荧光光谱或目标气体的化学反应所发出的光强,从而对仪器的零点进行标定;
校标时,把洁净气体发生装置16产生的洁净气体通入校准通道Ⅰ13,该洁净气体被光源发出的、经过处理后的至少一种特定波长ai的光线照射会产生至少一种目标气体Ai,该光线被检测器IV14所检测光强,即可通过预先的标定得到所产生的目标气体Ai的浓度,再把该已知目标气体Ai浓度的气体通入检测通道10通过吸收光谱法、荧光光谱法或化学发光法进行检测即可完成校标;或者,当检测通道10与校准通道Ⅰ13共用相同通道时,给该通道通入洁净气体,用光源发出的、经过处理的至少一种特定波长ai的光线照射,会产生至少一种目标气体Ai,通过检测器检测波长ai的光强即可得到此时目标气体Ai的浓度,再把该气体用吸收光谱法、荧光光谱法或化学发光法进行检测即可完成校标。
当某种目标气体C不能由光线照射洁净气体的方式产生时,可在检测通道10内放置含有固定浓度目标气体C的密封校标通道II19,该通道II19的光路上设有光路切换/遮挡装置4,使得仅当校准时,校准通道II19才参与检测通道10的光路,此时校准通道II19所产生的光信号才被检测器Ⅰ11和II17所检测,从而对仪器进行校准。可通过增加类似的但含有不同目标气体的校准通道及相应的光路切换/遮挡装置来增加仪器的可自校准的目标气体的种类。
实施例3一种综合性自校准气体检测分析装置
在实际应用中,由于某种技术、经济或其它方面的原因,可以采用另外一种典型结构装置,如图3所示,相比图2所示结构,检测通道10仅保留检测器11、一个待测气体进气口22和总出气口24,从而单独作为吸收光谱法检测通道,而把荧光光谱法及化学发光法的检测通道独立出来,形成检测通道Ⅰ18,该检测通道Ⅰ18安装有检测器II17,检测器VI3以及校准通道II19,相应的,该检测通道Ⅰ18设有一个进气口,该进气口通过一个三通切换装置III21与洁净气体发生装置16及待测气体进气口22相连,另外设有一个化学发光法反应气体入口以及一个气体出气口。图3所示装置其工作原理与上述图2所示实施例2相同,但往往不同的检测通道采用不同的发光光源,以降低仪器所需要的光线处理装置2的复杂程度。
以上所述的仅是本发明的优选实施例。应当指出,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以作出若干变型和改进,例如(包括但不限于),通过增加转化器把某种气体转化为可用本装置所检测的气体来间接地测量该气体的浓度,或者在本发明的基础上通过增加其它检测装置来增加检测方法及内容,也应视为属于本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种综合性自校准气体检测分析装置,其特征在于,具有光源机构,检测通道(10),参比通道(6),校准通道Ⅰ(13)和若干个检测器;
所述光源机构具有光源(1)和光线处理装置(2);所述光源(1)经光线处理装置(2)处理后通入检测通道(10),参比通道(6),和校准通道Ⅰ(13);
所述检测通道(10)内装有检测器Ⅰ(11)和检测器II(17),所述检测器Ⅰ(11)用于检测气体的吸收光强,所述检测器II(17)用于检测气体的荧光光强和化学发光光强;所述检测通道(10)的一侧设有检测进气口Ⅰ(10.1)和检测进气口II(10.2),所述检测进气口Ⅰ(10.1)用于通入反应气体;检测通道(10)的另一侧设有检测出气口(10.3);
所述参比通道(6)内装有检测器III(7),用于检测参比气体相应的参比光强;所述参比通道(6)的一侧设有用于通入参比气体的参比进气口(6.1),参比通道(6)的另一侧设有参比出气口(6.2);
所述校准通道Ⅰ(13)内装有检测器IV(14),用于检测校准通道Ⅰ(13)内气体的入射光强;所述校准通道Ⅰ(13)的一侧设有校准进气口(13.1),校准通道Ⅰ(13)的另一侧设有校准出气口(13.2),所述校准出气口(13.2)通过三通切换装置Ⅰ(12),分别与检测进气口II(10.2)和待测气体进气口(22)相连。
2.如权利要求1所述的一种综合性自校准气体检测分析装置,其特征在于,所述检测通道(10)内还设有校准通道II(19),所述校准通道II(19)内通入含有固定浓度的目标气体;在校准通道II(19)的光路上设有光路切换/遮挡装置(4),使得仅当通过校准通道II(19)校准时,校准通道II(19)才参与检测通道(10)的光路,通过检测器Ⅰ(11)和/或检测器II(17)检测校准通道II(19)所产生的光信号,进行校准。
3.如权利要求1所述的一种综合性自校准气体检测分析装置,其特征在于,所述校准进气口(13.1)通过三通切换装置II(15),分别与待测气体进气口(22)和洁净气体进气口(23)相连,使得校准通道Ⅰ(13)可选择从待测气体进气口(22)或洁净气体进气口(23)吸入气体。
4.如权利要求1所述的一种综合性自校准气体检测分析装置,其特征在于,所述检测出气口(10.3)和参比出气口(6.2)通过三通阀连接,再通过与三通阀连接的密封管路经流量测量控制及废气处理装置(8)与真空泵(9)相连,将气体排出。
5.如权利要求1所述的一种综合性自校准气体检测分析装置,其特征在于,所述参比进气口(6.1)处设有参比气体发生装置(5),气体经过参比气体发生装置(5)处理后经参比进气口(6.1)进入参比通道(6)。
6.如权利要求1所述的一种综合性自校准气体检测分析装置,其特征在于,所述待测气体进气口(22)处设有预处理装置(20),待测气体经过预处理装置(20)的处理后由待测气体进气口(22)通入。
7.如权利要求1所述的一种综合性自校准气体检测分析装置,其特征在于,所述校准进气口(13.1)处设有洁净气体发生装置(16),所述洁净气体发生装置(16)产生的洁净气体由校准进气口(13.1)通入。
8.如权利要求1所述的一种综合性自校准气体检测分析装置,其特征在于,所述光源机构具有一个或两个以上的发光光源(1),每个光源(1)均设有与其相应的光线处理装置(2)。
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