CN205762813U - 一种薄膜太阳能电池pecvd基片装载箱清洁装置 - Google Patents
一种薄膜太阳能电池pecvd基片装载箱清洁装置 Download PDFInfo
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Abstract
一种薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁装置，包括底座、装载箱，所述底座一侧设有支架，支架上下两端各设有一个伺服电机，伺服电机连接控制器，所述伺服电机经皮带连接固定在支架上端的滚轴，所述滚轴上下两侧各设有一根带有气孔的喷气管，滚轴上设有毛刷，所述喷气管一端连接CDA气管，所述装载箱套装于两个喷气管的外侧，装载箱一端经固定卡扣和可旋转螺丝连接不锈钢门，所述不锈钢门一端设有排气口。解决了基片装载箱清洁难度大的问题，具有清洁效果好、工作效率高、节省劳动力的特点。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁装置。
背景技术
在薄膜太阳能电池生产过程中，将清洗后的导电玻璃装入立式基片装载箱，加热到一定温度后使用PECVD法在导电玻璃基片上沉积薄膜完成不同光吸收层电池的制作，是整个电池生产技术的关键步骤。在沉积过程中不可避免的会有粉尘颗粒附着于装载箱体内。残留的粉尘颗粒需要清洁干净，防止在TCO玻璃上沉积吸收层时出现针孔、透空等镀膜不良现象的发生。对基片装载箱清洁是PECVD工艺不可忽略的难题。
目前基片装载箱的清洁一般采用人工清洁，对工件架清洁擦拭的范围为：装载箱两端极板边缘3-4cm,最后使用压缩N2或压缩空气吹扫整个装载箱后才能装导电玻璃。由于基片装载箱结构复杂，铝板之间的间距非常小，清洁死角很多，清洁难度大。使用传统手工方法清洁，虽然可以保证清洁度，但工作量很大，影响工作效率，甚至可能减慢整个生产节拍。
实用新型内容
本实用新型其目的就在于提供一种薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁装置，解决了基片装载箱清洁难度大的问题，具有清洁效果好、工作效率高、节省劳动力的特点。
实现上述目的而采取的技术方案，包括底座、装载箱，所述底座一侧设有支架，支架上下两端各设有一个伺服电机，伺服电机连接控制器，所述伺服电机经皮带连接固定在支架上端的滚轴，所述滚轴上下两侧各设有一根带有气孔的喷气管，滚轴上设有毛刷，所述喷气管一端连接CDA气管，所述装载箱套装于两个喷气管的外侧，装载箱一端经固定卡扣和可旋转螺丝连接不锈钢门，所述不锈钢门一端设有排气口。
有益效果
与现有技术相比本实用新型的有如下优点。
本实用新型的优点是解决了由于基片装载箱结构复杂，铝板之间的间距非常小，清洁死角很多，清洁难度大，使用传统手工方法清洁，虽然可以保证清洁度，但工作量很大，影响工作效率，甚至可能减慢整个生产节拍的问题，提高了生产效率。
本装置用于生产薄膜电池的装载箱在沉积反应结束后，会有粉尘颗粒残留，残留的粉尘颗粒需要清洁干净，防止在TCO玻璃上沉积吸收层时出现针孔、透空等镀膜不良现象的发生。
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步详述。
图1是本实用新型的结构示意图之一。
图2是本实用新型的结构示意图之二。
图中所示：滚轴1、毛刷2、气孔3、伺服电机4、皮带5、控制器6、CDA气管7、万向轮8、固定卡扣9、可旋转螺丝10、排气口11。
具体实施方式
本装置包括底座11、装载箱14，如图1、图2所示，所述底座11一侧设有支架13，支架13上下两端各设有一个伺服电机4，伺服电机4连接控制器6，所述伺服电机4经皮带5连接固定在支架13上端的滚轴1，所述滚轴1上下两侧各设有一根带有气孔3的喷气管15，滚轴1上设有毛刷2，所述喷气管15一端连接CDA气管7，所述装载箱14套装于两个喷气管15的外侧，装载箱14一端经固定卡扣9和可旋转螺丝10连接不锈钢门16，所述不锈钢门16一端设有排气口12。
所述底座11、支架13下端设有万向轮8。
所述不锈钢门16为三角形。
工作原理
本装置工作时，由滚轴1、毛刷2、气孔3及喷气管15组成的洗刷吹扫部件，通过调整万向轮8沿极板之间空间处水平进入装载箱14内部，该装置主体可左右活动10cm，不锈钢门16通过固定卡扣9和可旋转螺丝10固定在装载箱14右侧，通过控制器6，开启伺服电机4转动，并在CDA气管7内通入CDA气体。在伺服电机4和皮带5的作用下，滚轴1带动毛刷2转动将基板间的粉尘颗粒扬起，CDA气体通过上下喷气管15的气孔3将粉尘颗粒吹出极板间；同时，洗刷吹扫部件在伺服电机4和皮带5的作用下沿平行于极板的方向上下运动，与此同时开启连接在装载箱14右侧不锈钢门16上的排气口12，并打开与排气口12相连的抽气装置，不断的将从装载箱14内部吹扫出来的粉尘颗粒排出，重复此过程，直到将整个极板清洁干净后停止运行。
Claims (3)
1.一种薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁装置，包括底座（11）、装载箱（14），其特征在于，所述底座（11）一侧设有支架（13），支架（13）上下两端各设有一个伺服电机（4），伺服电机（4）连接控制器（6），所述伺服电机（4）经皮带（5）连接固定在支架（13）上端的滚轴（1），所述滚轴（1）上下两侧各设有一根带有气孔（3）的喷气管（15），滚轴（1）上设有毛刷（2），所述喷气管（15）一端连接CDA气管（7），所述装载箱（14）套装于两个喷气管（15）的外侧，装载箱（14）一端经固定卡扣（9）和可旋转螺丝（10）连接不锈钢门（16），所述不锈钢门（16）一端设有排气口（12）。
2.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁装置，其特征在于，所述底座（11）、支架（13）下端设有万向轮（8）。
3.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁装置，其特征在于，所述不锈钢门（16）为三角形。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109158391A (zh) * | 2018-09-03 | 2019-01-08 | 蔡建丰 | 一种光伏汇流箱的清洁设备 |
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2016
- 2016-05-31 CN CN201620512074.8U patent/CN205762813U/zh active Active
Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
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| CN109158391B (zh) * | 2018-09-03 | 2021-02-23 | 温州盛淼工业设计有限公司 | 一种光伏汇流箱的清洁设备 |
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