CN205744376U - 微型气体传输装置 - Google Patents

Abstract

一种微型气体传输装置，包括堆叠设置的进气板、进气板、共振片以及压电致动器，其中进气板具有至少一进气孔、至少一总线孔及中心孔洞；共振片具有中空孔洞；压电致动器具有悬浮板、外框及连接于其间的至少一支架，于悬浮板的一表面贴附压电陶瓷板；其中共振片与压电致动器之间具有一间隙形成的第一腔室，当压电致动器受驱动时，气体由进气板的进气孔进入，并由总线孔汇集至中心孔洞，经共振片的中空孔洞，以进入第一腔室内，再由压电致动器的支架之间的空隙向下传输，以形成压力梯度流道持续推出气体。

Description

微型气体传输装置

【技术领域】

本实用新型是关于一种气体传输装置，尤指一种微型超薄且静音的微型气体传输装置。

【背景技术】

目前于各领域中无论是医药、电脑科技、打印、能源等工业，产品均朝精致化及微小化方向发展，其中微泵、喷雾器、喷墨头、工业打印装置等产品所包含的流体输送结构为其关键技术，是以，如何借创新结构突破其技术瓶颈，为发展的重要内容。

举例来说，于医药产业中，许多需要采用气压动力驱动的仪器或设备，通常采以传统马达及气压阀来达成其气体输送的目的。然而，受限于此等传统马达以及气体阀的体积限制，使得此类的仪器设备难以缩小其整体装置的体积，即难以实现薄型化的目标，更无法使的达成可携式的目的。此外，这些传统马达及气体阀于作动时亦会产生噪音的问题，导致使用上的不便利及不舒适。

因此，如何发展一种可改善上述已知技术缺失，可使传统采用气体传输装置的仪器或设备达到体积小、微型化且静音，进而达成轻便舒适的可携式目的的微型气体传输装置，实为目前迫切需要解决的问题。

【实用新型内容】

本实用新型的主要目的在于提供一种适用于可携式或穿戴式仪器或设备中的微型气体传输装置，借由压电板高频作动产生的气体波动，于设计后的流道中产生压力梯度，而使气体高速流动，且透过流道进出方向的阻抗差异，将气体由吸入端传输至排出端，俾解决已知技术的采用气体传输装置的仪器或设备所具备的体积大、难以薄型化、无法达成可携式的目的，以及噪音大等缺失。

为达上述目的，本实用新型的一较广义实施态样为提供一种微型气体传输装置，适用于一微型气压动力装置，包括：一进气板，具有至少一进气孔、至少一总线孔及构成一汇流腔室的一中心凹部，该至少一进气孔供导入气体，该总线孔对应该进气孔，且引导该进气孔的气体汇流至该汇流腔室；一共振片，具有一中空孔洞，对应该进气板的该汇流腔室；以及一压电致动器，具有一悬浮板，该悬浮板的具有介于8mm-12mm之间的长度、介于8mm-12mm之间的宽度以及介于0.2mm-0.29mm之间的厚度；一外框，具有至少一支架，连接设置于该悬浮板及该外框之间；以及一压电陶瓷板，贴附于该悬浮板的一表面，且该压电陶瓷板具有介于8mm-12mm之间的长度、介于8mm-12mm之间宽度以及介于0.08mm-0.2mm之间的厚度，该长度及该宽度比值为0.75倍-1.25倍之间；其中，上述的该进气板、该共振片及该压电致动器依序对应对叠设置定位，且该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一第一腔室，以使该压电致动器受驱动时，气体由该进气板的该至少一进气孔导入，经该至少一总线孔汇集至该中心凹部，再流经该共振片的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，再由该压电致动器的该至少一支架之间的一空隙向下传输，以持续推出气体。

为达上述目的，本实用新型的另一较广义实施态样为提供一种微型气体传输装置，适用于一微型气压动力装置，包括：一进气板；一共振片；以及一压电致动器；其中，上述的该进气板、该共振片及该压电致动器依序对应堆叠设置定位，且该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一第一腔室，该压电致动器受驱动时，气体由该进气板进入，流经该共振片，以进入该第一腔室内再传输气体。

【附图说明】

图1A为本实用新型为较佳实施例的微型气压动力装置的正面分解结构示意图。

图1B为图1A所示的微型气压动力装置的正面组合结构示意图。

图2A为图1A所示的微型气压动力装置的背面分解结构示意图。

图2B为图1A所示的微型气压动力装置的背面组合结构示意图。

图3A为图1A所示的微型气压动力装置的压电致动器的正面组合结构示意图。

图3B为图1A所示的微型气压动力装置的压电致动器的背面组合结构示意图。

图3C为图1A所示的微型气压动力装置的压电致动器的剖面结构示意图。

图4为图3A所示的压电致动器的多种实施态样示意图。

图5A至图5E为图1A所示的微型气压动力装置的微型气体传输装置的作动示意图。

图6A为图1A所示的微型气压动力装置的微型阀门装置的集压作动示意图。

图6B为图1A所示的微型气压动力装置的微型阀门装置的卸压作动示意图。

图7A至图7E为图1A所示的微型气压动力装置的集压作动示意图。

图8为图1A所示的微型气压动力装置的降压或是卸压作动示意图。

【符号说明】

1：微型气压动力装置

1A：微型气体传输装置

1B：微型阀门装置

11：进气板

110：进气孔

111：中心凹部

112：总线孔

12：共振片

120：中空孔洞

121：第一腔室

13：压电致动器

130：悬浮板

130a：悬浮板的上表面

130b：悬浮板的下表面

130c：凸部

131：外框

131a：外框的上表面

131b：外框的下表面

132：支架

132a：支架的上表面

132b：支架的下表面

133：压电陶瓷板

134、151：导电接脚

135：空隙

141、142：绝缘片

15：导电片

16：集气板

160：集气板的基准表面

161：集气板的第二表面

162：集气腔室

163：第一贯穿孔

164：第二贯穿孔

165：第一卸压腔室

166：第一出口腔室

167、181a：凸部结构

17：阀门片

170：阀孔

171：定位孔洞

18：出口板

180：出口板的基准表面

181：第三贯穿孔

182：第四贯穿孔

183：第二卸压腔室

184：第二出口腔室

185：连通流道

186：卸压孔

187：出口板的第二表面

188：限位结构

19：出口

g0：间隙

(a)～(l)：导电致动器的不同实施态样

a0、i0、j0：悬浮板

a1、i1、j1：外框

a2、i2：支架

a3：空隙

【具体实施方式】

体现本实用新型特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本实用新型能够在不同的态样上具有各种的变化，其皆不脱离本实用新型的范围，且其中的说明及图示在本质上是当作说明的用，而非架构于限制本实用新型。

本实用新型的微型气压动力装置1是可应用于医药生技、能源、电脑科技或是打印等工业，俾用以传送气体，但不以此为限。请参阅图1A、图1B、图2A及图2B，图1A为本实用新型较佳实施例的微型气压动力装置的正面分解结构示意图，图1B为图1A所示的微型气压动力装置的正面组合结构示意图、图2A为图1A所示的微型气压动力装置的背面分解结构示意图，图2B则为图1A所示的微型气压动力装置的背面组合结构示意图。如图1A及图2A所示，本实用新型的微型气压动力装置1是由微型气体传输装置1A以及微型阀门装置1B所组合而成，其中微型气体传输装置1A具有进气板11、共振片12、压电致动器13、绝缘片141、142、导电片15等结构，其是将压电致动器13对应于共振片12而设置，并使进气板11、共振片12、压电致动器13、绝缘片141、导电片15及另一绝缘片142等依序堆叠设置，且该压电致动器13是由一悬浮板130以及一压电陶瓷板133组装而成；以及微型阀门装置1B则由集气板16、阀门片17以及出口板18等依序堆叠组装而成，但不以此为限。且于本实施例中，如图1A所示，集气板16不仅为单一的板件结构，亦可为周缘具有侧壁的框体结构，且由该周缘所构成的侧壁与其底部的板件共同定义出一容置空间，故当本实用新型的微型气压动力装置1组装完成后，则其正面示意图会如图1B所示，可见该微型气体传输装置1A是容设于集气板16的容置空间中，且其下是与阀门片17及出口板18堆叠而成。而其组装完成的背面示意图则可见该出口板18上的卸压孔186及出口19，出口19用以与一装置(未图示)连接，卸压孔186则供以使微型阀门装置1B内的气体排出，以达卸压的功效。借由此微型气体传输装置1A以及微型阀门装置1B的组装设置，以使气体自微型气体传输装置1A的进气板11上的至少一进气孔110进气，并透过压电致动器13的作动，而流经多个压力腔室(未图示)，并向下传输，进而可使气体于微型阀门装置1B内单向流动，并将压力蓄积于与微型阀门装置1B的出口端相连的一装置(未图示)中，且当需进行卸压时，则调控微型气体传输装置1A的输出量，使气体经由微型阀门装置1B的出口板18上的卸压孔186而排出，以进行卸压。

请续参阅图1A及图2A，如图1A所示，微型气体传输装置2A的进气板11是具有至少一进气孔110，于本实施例中，进气孔110的数量是为4个，但不以此为限，其主要用以供气体自装置外顺应大气压力的作用而自该至少一进气孔110流入微型气体传输装置2A内。且又如图2A所示，由进气板11的下表面可见，其上具有至少一总线孔112，用以与进气板11上表面的该至少一进气孔110对应设置，并可将自该至少一进气孔110进入的气体引导并汇流集中至一中心凹部111，以向下传递。是以于本实施例中，进气板11具有一体成型的进气孔110、总线孔112及中心凹部111，且于该中心凹部111处即对应形成一汇流气体的汇流腔室，以供气体暂存。于一些实施例中，进气板11的材质是可为但不限为由一不锈钢材质所构成，且其厚度较佳值是介于0.4mm-0.6mm之间，而其最佳值为0.5mm，但不以此为限。于另一些实施例中，由该中心凹部111处所构成的汇流腔室的深度与这些总线孔112的深度相同，且该汇流腔室及该总线孔112的深度的较佳值是介于0.2mm-0.3mm之间，但不以此为限。共振片12是由一可挠性材质所构成，但不以此为限，且于共振片12上具有一中空孔洞120，是对应于进气板11的下表面的中心凹部111而设置，以使气体可向下流通。于另一些实施例中，共振片是可由一铜材质所构成，但不以此为限，且其厚度的较佳值是介于0.03mm-0.08mm之间，而其最佳值为0.05mm，但亦不以此为限。

请同时参阅图3A、图3B及图3C，其是分别为图1A所示的微型气压动力装置的压电致动器的正面结构示意图、背面结构示意图以及剖面结构示意图，如图所示，压电致动器13是由一悬浮板130、一外框131、至少一支架132以及一压电陶瓷板133所共同组装而成，其中，该压电陶瓷板133贴附于悬浮板130的下表面130b，以及该至少一支架132是连接于悬浮板130以及外框131之间，于本实施例中，该支架132的两端点是连接于外框131，另一端点则连接于悬浮板130，且于支架132、悬浮板130及外框131之间更具有至少一空隙135，用以供气体流通，且该悬浮板130、外框131以及支架132的型态及数量是具有多种变化。另外，外框131更具有一向外凸设的导电接脚134，用以供电连接之用，但不以此为限。于一些实施例中，压电致动器13的厚度较佳值是介于0.28mm至0.49mm之间，而其最佳值是为0.37mm，但亦不以此为限。

于本实施例中，悬浮板130是为一阶梯面的结构，意即于悬浮板130的上表面130a更具有一凸部130c，该凸部130c可为但不限为一圆形凸起结构，且凸部130c的高度较佳值是介于0.02mm-0.08mm之间，而最佳值为0.03mm，其直径为5.5mm，但不以此为限。请同时参阅图3A及图3C即可见，悬浮板130的凸部130c是与外框131的上表面131a共平面，且悬浮板130的上表面130a及支架132的上表面132a亦为共平面，且该悬浮板130的凸部130c及外框131的上表面131a与悬浮板130的上表面130a及支架132的上表面132a之间是具有一特定深度。至于悬浮板130的下表面130b，则如图3B及图3C所示，其与外框131的下表面131b及支架132的下表面132b为平整的共平面结构，而压电陶瓷板133则贴附于此平整的悬浮板130的下表面130b处。于一些实施例中，悬浮板130、支架132以及外框131是可为一体成型的结构，且可由一金属板所构成，例如可由不锈钢材质所构成，但不以此为限。且于一些实施例中，该悬浮板130厚度的较佳值是介于0.2mm-0.29mm之间，而其最佳值为0.26mm，另该悬浮板的长度较佳值介于8mm-12mm之间，而其最佳值为10.1mm、宽度较佳值介于8mm-12mm之间，而其最佳值为10.1mm但不以此为限。至于该外框131的厚度的较佳值是介于0.2mm-0.4mm之间，而其最佳值为0.3mm，但不以此为限。

又于另一些实施例中，压电陶瓷板133的厚度的较佳值是介于0.08mm-0.2mm之间，且其最佳值为0.10mm，而该悬浮板的长度较佳值介于8mm-12mm之间，而其最佳值为10mm、宽度较佳值介于8mm-12mm之间，而其最佳值为10mm，另长度及宽度比的较佳值为0.75倍-1.25倍之间，然亦不以此为限。

请续参阅图4，其是为图3A所示的压电致动器的多种实施态样示意图。如图所示，则可见压电致动器13的悬浮板130、外框131以及支架132是可有多样的型态，且至少可具有图4所示的(a)～(l)等多种态样，举例来说，(a)态样之外框a1及悬浮板a0是为方形的结构，且两者之间是由多个支架a2以连结之，例如：8个，但不以此为限，且于支架a2及悬浮板a0、外框a1之间是具有空隙a3，以供气体流通。于另一(i)态样中，其外框i1及悬浮板i0亦同样为方形的结构，惟其中仅由2个支架i2以连结之；另外，于(j)～(l)态样，则其悬浮板j0等是可为圆形的结构，而外框j0等亦可为略具弧度的框体结构，但均不以此为限。故由此多种实施态样可见，悬浮板130的型态是可为方形或圆形，而同样地，贴附于悬浮板130的下表面130b的压电陶瓷板133亦可为方形或圆形，并不以此为限；以及，连接于悬浮板130及外框131之间的支架132的型态与数量亦可依实际施作情形而任施变化，并不以本实用新型所示的态样为限。且这些悬浮板130、外框131及支架132是可为一体成型的结构，但不以此为限，至于其制造方式则可由传统加工、或黄光蚀刻、或激光加工、或电铸加工、或放电加工等方式制出，均不以此为限。

此外，请续参阅图1A及图2A，于微型气体传输装置1A中更具有绝缘片141、导电片15及另一绝缘片142是依序对应设置于压电致动器13之下，且其形态大致上对应于压电致动器13之外框的形态。于一些实施例中，绝缘片141、142即由可绝缘的材质所构成，例如：塑胶，但不以此为限，以进行绝缘之用；于另一些实施例中，导电片15即由可导电的材质所构成，例如：金属，但不以此为限，以进行电导通之用。以及，于本实施例中，导电片15上亦可设置一导电接脚151，以进行电导通之用。

请同时参阅图1A及图5A至图5E，其中图5A至图5E是为图1A所示的微型气压动力装置的微型气体传输装置的作动示意图。首先，如图5A所示，可见微型气体传输装置1A是依序由进气板11、共振片12、压电致动器13、绝缘片141、导电片15及另一绝缘片142等堆叠而成，且于共振片12与压电致动器13之间是具有一间隙g0，于本实施例中，是于共振片12及压电致动器13之外框131之间的间隙g0中填充一材质，例如：导电胶，但不以此为限，以使共振片12与压电致动器13的悬浮板130的凸部130c之间可维持该间隙g0的深度，进而可导引气流更迅速地流动，且因悬浮板130的凸部130c与共振片12保持适当距离使彼此接触干涉减少，促使噪音产生可被降低；于另一些实施例中，亦可借由加高压电致动器13之外框131的高度，以使其与共振片12组装时增加一间隙，但不以此为限。

请续参阅图5A至图5E，如图所示，当进气板11、共振片12与压电致动器13依序对应组装后，则于共振片12的中空孔洞120处可与其上的进气板11共同形成一汇流气体的腔室，且在共振片12与压电致动器13之间更形成一第一腔室121，用以暂存气体，且第一腔室121是透过共振片12的中空孔洞120而与进气板11下表面的中心凹部111处的腔室相连通，且第一腔室121的两侧则由压电致动器13的支架132之间的空隙135而与设置于其下的微型阀门装置1B相连通。

当微型气压动力装置1的微型气体传输装置1A作动时，主要由压电致动器13受电压致动而以支架132为支点，进行垂直方向的往复式振动。如图5B所示，当压电致动器13受电压致动而向下振动时，则气体由进气板11上的至少一进气孔110进入，并透过其下表面的至少一总线孔112以汇集到中央的中心凹部111处，再经由共振片12上与中心凹部111对应设置的中央孔洞120向下流入至第一腔室121中，其后，由于受压电致动器13振动的带动，共振片12亦会随的共振而进行垂直的往复式振动，如图5C所示，则为共振片12亦随的向下振动，并贴附抵触于压电致动器13的悬浮板130的凸部130c上，借由此共振片12的形变，以压缩第一腔室121的体积，并关闭第一腔室121中间流通空间，促使其内的气体推挤向两侧流动，进而经过压电致动器13的支架132之间的空隙135而向下穿越流动。至于图5D则为其共振片12回复至初始位置，而压电致动器13受电压驱动以向上振动，如此同样挤压第一腔室121的体积，惟此时由于压电致动器13是向上抬升，该抬升的位移可为d，因而使得第一腔室121内的气体会朝两侧流动，进而带动气体持续地自进气板11上的至少一进气孔110进入，再流入中心凹部111所形成的腔室中，再如图5E所示，该共振片12受压电致动器13向上抬升的振动而共振向上，进而使中心凹部111内的气体再由共振片12的中央孔洞120而流入第一腔室121内，并经由压电致动器13的支架132之间的空隙135而向下穿越流出微型气体传输装置1A。由此实施态样可见，当共振片12进行垂直的往复式振动时，是可由其与压电致动器13之间的间隙g0以增加其垂直位移的最大距离，换句话说，于该两结构之间设置间隙g0可使共振片12于共振时可产生更大幅度的上下位移，而其中该压电致动器的振动位移为d，与该间隙g0的差值为x，即x＝g0-d，经测试当x≦0um，为有噪音状态；当x＝1-5um，泵浦最大输出气压可达到350mmHg；当x＝5-10um，泵浦最大输出气压可达到250mmHg；当x＝10-15um，泵浦最大输出气压可达到150mmHg，其数值对应关系是如下列表一所示。上述的数值是在操作频率为17K至20K之间、操作电压为±10V至±20V之间。如此，在经此微型气体传输装置1A的流道设计中产生压力梯度，使气体高速流动，并透过流道进出方向的阻抗差异，将气体由吸入端传输至排出端，且在排出端有气压的状态下，仍有能力持续推出气体，并可达到静音的效果。

(表一)

另外，于一些实施例中，共振片12的垂直往复式振动频率是可与压电致动器13的振动频率相同，即两者可同时向上或同时向下，其是可依照实际施作情形而任施变化，并不以本实施例所示的作动方式为限。

请同时参阅图1A、图2A及图6A、图6B，其中图6A是为图1A所示的微型气压动力装置的微型阀门装置的集压作动示意图，图6B则为图1A所示的微型气压动力装置的微型阀门装置的卸压作动示意图。如图1A及图6A所示，本实用新型的微型气压动力装置1的微型阀门装置1B是依序由集气板16、阀门片17以及出口板18堆叠而成，于本实施例中，集气板16具有一基准表面160，该基准表面160上是凹陷以形成一集气腔室162，由微型气体传输装置1A向下传输的气体则暂时蓄积于此集气腔室162中，且于集气板16中是具有第一贯穿孔163及第二贯穿孔164，第一贯穿孔163及第二贯穿孔164的一端是与集气腔室162相连通，另一端则分别与集气板16的第二表面161上的第一卸压腔室165及第一出口腔室166相连通。以及，在第一出口腔室166处更进一步增设一凸部结构167，例如可为但不限为一圆柱结构，且其是与阀门片17的阀孔170对应设置。

出口板18亦具有两贯穿设置的第三贯穿孔181以及第四贯穿孔182，且该第三贯穿孔181及第四贯穿孔182是分别对应于集气板16的第一贯穿孔163以及第二贯穿孔164而设置，且于出口板18具有一基准表面180，该基准表面180上对应于第三贯穿孔181处是凹陷形成一第二卸压腔室183，而对应于第四贯穿孔182处则凹陷形成一第二出口腔室184，且于第二卸压腔室183与第二出口腔室184之间更具有一连通流道185，用以供气体流通。该第三贯穿孔181的一端与第二卸压腔室183相连通，且其端部可进一步增设一凸出而形成的凸部结构181a，例如可为但不限为圆柱结构，另一端则连通于出口板18的第二表面187的卸压孔186；而第四贯穿孔182的一端与第二出口腔室184相连通，另一端则与出口19相连通，于本实施例中，出口19是可与一装置相连接(未图示)，例如：压力机，但不以此为限。

以及，出口板18更具有至少一限位结构188，以本实施例为例，限位结构188是设置于第二卸压腔室183内，且为一环形块体结构，且不以此为限，其主要为当微型阀门装置1B进行集压作业时，供以辅助支撑阀门片17的用，以防止阀门片17塌陷，并可使阀门片17可更迅速地开启或封闭。

阀门片17上具有一阀孔170以及多个定位孔洞171，当阀门片17与集气板16及出口板18定位组装时，是将其阀孔170对应于集气板16的第一出口腔室166的凸部结构167而对应设置，借由此单一的阀孔170的设计，以使气体可因应其压差而达到单向流动的目的。

当微型阀门装置1B集压作动时，主要如图6A所示，其是可因应来自于微型气体传输装置1A向下传输的气体所提供的压力，又或是当外界的大气压力大于与出口19连接的装置(未图示)的内部压力时，则气体会自微型气体传输装置1A传输至微型阀门装置1B的集气腔室162中，再分别经第一贯穿孔163以及第二贯穿孔164而向下流入第一卸压腔室165及第一出口腔室166内，此时，向下的气体压力是使可挠性的阀门片17向下弯曲形变，故阀门片17的厚度较佳值介于0.1mm-0.3mm之间，而其最佳值为0.2mm，进而使第一卸压腔室165的体积增大，且对应于第一贯穿孔163处向下平贴并抵顶于第三贯穿孔181的端部，进而可封闭出口板18的第三贯穿孔181，故于第二卸压腔室183内的气体不会自第三贯穿孔181处流出。当然，本实施例，可利用第三贯穿孔181端部增设一凸部结构181a的设计，且此凸部结构181a透过改良以增加其高度，该凸部结构181a的高度是高于该出口板18的基准表面180，且凸部结构181a的高度较佳值为是介于0.45mm-0.55mm之间，最佳值为0.5mm，以加强使阀门片17快速地抵触且封闭第三贯穿孔181，并达到一预力抵触作用完全密封的效果，同时并透过环设于第三贯穿孔181周边的限位结构188，以辅助支撑阀门片17，使其不会产生塌陷。另一方面，由于气体是自第二贯穿孔164而向下流入第一出口腔室166中，且对应于第一出口腔室166处的阀门片17亦向下弯曲形变，故使得其对应的阀孔170向下打开，气体则可自第一出口腔室166经由阀孔170而流入第二出口腔室184中，并由第四贯穿孔182而流至出口19及与出口19相连接的装置(未图示)中，借此以对该装置进行集压的作动。

请续参阅图6B，当微型阀门装置1B进行卸压时，其是可借由调控微型气体传输装置1A的气体传输量，使气体不再输入集气腔室162中，或是当与出口19连接的装置(未图示)内部压力大于外界的大气压力时，则可使微型阀门装置1B进行卸压。此时，气体将自与出口19连接的第四贯穿孔182输入至第二出口腔室184内，使得第二出口腔室184的体积膨胀，进而促使可挠性的阀门片17向上弯曲形变，并向上平贴、抵顶于集气板16上，故阀门片17的阀孔170会因抵顶于集气板16而关闭。当然，在本实施例，可利用第一出口腔室166增设一凸部结构167的设计，且此凸部结构167透过改良以增加其高度，该凸部结构167的高度是高于该集气板16的基准表面160，且凸部结构167的高度较佳值是介于0.45mm-0.55mm之间，而其最佳值为0.50mm，故可供可挠性的阀门片17向上弯曲形变更快速抵触，使阀孔170更有利达到一预力抵触作用完全贴附密封的关闭状态，因此，当处于初始状态时，阀门片17的阀孔170会因紧贴抵顶于该凸部结构167而关闭，则该第二出口腔室184内的气体将不会逆流至第一出口腔室166中，以达到更好的防止气体外漏的效果。以及，第二出口腔室184中的气体是可经由连通流道185而流至第二卸压腔室183中，进而使第二卸压腔室183的体积扩张，并使对应于第二卸压腔室183的阀门片17同样向上弯曲形变，此时由于阀门片17未抵顶封闭于第三贯穿孔181端部，故该第三贯穿孔181即处于开启状态，即第二卸压腔室183内的气体可由第三贯穿孔181向外流至卸压孔186处以进行卸压作业。当然，本实施例，可利用第三贯穿孔181端部增设的凸部结构181a或是透过设置于第二卸压腔室183内的限位结构188，该限位结构188的高度较佳值是介于0.3mm-0.5mm之间，而其最佳值为0.4mm，让可挠性的阀门片17向上弯曲形变更快速，更有利脱离关闭第三贯穿孔181的状态。如此，则可借由此单向的卸压作业将与出口19连接的装置(未图示)内的气体排出而降压，或是完全排出而完成卸压作业。

请同时参阅图1A、图2A及图7A至图7E，其中图7A至图7E是为图1A所示的微型气压动力装置的集压作动示意图。如图7A所示，微型气压动力装置1即由微型气体传输装置1A以及微型阀门装置1B所组合而成，其中微型气体传输装置1A是如前述，依序由进气板11、共振片12、压电致动器13、绝缘片141、导电片15及另一绝缘片142等结构堆叠组装定位而成，且于共振片12与压电致动器13之间是具有一间隙g0，且于共振片12与压电致动器13之间具有第一腔室121，以及，微型阀门装置1B则同样由集气板16、阀门片17以及出口板18等依序堆叠组装定位而成，且于微型阀门装置1B的集气板16与微型气体传输装置1A的压电致动器13之间是具有集气腔室162、于集气板16的第二表面161更具有第一卸压腔室165以及第一出口腔室166，以及于出口板18的基准表面180更具有第二卸压腔室183及第二出口腔室184，借由这些多个不同的压力腔室搭配压电致动器13的驱动及共振片12、阀门片17的振动，以使气体向下集压传输。

如图7B所示，当微型气体传输装置1A的压电致动器13受电压致动而向下振动时，则气体会由进气板11上的进气孔110进入微型气体传输装置1A中，并经由至少一总线孔112以汇集到其中心凹部111处，再经由共振片12上的中空孔洞120向下流入至第一腔室121中。其后，则如图7C所示，由于受压电致动器13振动的共振作用，共振片12亦会随的进行往复式振动，即其向下振动，并接近于压电致动器13的悬浮板130的凸部130c上，借由此共振片12的形变，使得进气板11的中心凹部111处的腔室的体积增大，并同时压缩第一腔室121的体积，进而促使第一腔室121内的气体推挤向两侧流动，进而经过压电致动器13的支架132之间的空隙135而向下穿越流通，以流至微型气体传输装置1A与微型阀门装置1B之间的集气腔室162内，并再由与集气腔室162相连通的第一贯穿孔163及第二贯穿孔164向下对应流至第一卸压腔室165及第一出口腔室166中，由此实施态样可见，当共振片12进行垂直的往复式振动时，是可由其与压电致动器13之间的间隙g0以增加其垂直位移的最大距离，换句话说，于该两结构之间设置间隙g0可使共振片12于共振时可产生更大幅度的上下位移。

接着，则如图7D所示，由于微型气体传输装置1A的共振片12回复至初始位置，而压电致动器13受电压驱动以向上振动，而其中该压电致动器的振动位移为d，与该间隙g0的差值为x，即x＝g0-d，经测试当x≦0um，为有噪音状态；当x＝1-5um，泵浦最大输出气压可达到350mmHg；当x＝5-10um，泵浦最大输出气压可达到250mmHg；当x＝10-15um，泵浦最大输出气压可达到150mmHg，均于其先前所列的表一所示，不再赘述。上述的数值是在操作频率为17K至20K之间、操作电压为±10V至±20V之间。又于另一实施例中，该操作频率为18.5k、操作电压为±16V，其最大输出气压可达到300mmHg，但不以此为限。如此同样挤压第一腔室121的体积，使得第一腔室121内的气体朝两侧流动，并由压电致动器13的支架132之间的空隙135持续地输入至微型阀门装置1B的集气腔室162、第一卸压腔室165以及第一出口腔室166中，如此更使得第一卸压腔室165及第一出口腔室166内的气压越大，进而推动可挠性的阀门片17向下产生弯曲形变，则于第二卸压腔室183中，阀门片17则向下平贴并抵顶于第三贯穿孔181端部的凸部结构181a，进而使第三贯穿孔181封闭，而于第二出口腔室184中，阀门片17上对应于第四贯穿孔182的阀孔170是向下打开，使第二出口腔室184内的气体可由第四贯穿孔182向下传递至出口19及与出口19连接的任何装置(未图示)，进而以达到集压作业的目的。最后，则如图7E所示，当微型气体传输装置1A的共振片12共振向上位移，进而使进气板11下表面的中心凹部111内的气体可由共振片12的中空孔洞120而流入第一腔室121内，再经由压电致动器13的支架132之间的空隙135而向下持续地传输至微型阀门装置1B中，则由于其气体压是持续向下增加，故气体仍会持续地经由微型阀门装置1B的集气腔室162、第二贯穿孔164、第一出口腔室166、第二出口腔室184及第四贯穿孔182而流至出口19及与出口19连接的任何装置中，此集压作业是可经由外界的大气压力与装置内的压力差以驱动之，但不以此为限。

当与出口19连接的装置(未图示)内部的压力大于外界的压力时，则微型气压动力装置1是可如图8所示进行降压或是卸压的作业，其降压或是卸压的作动方式主要是如前所述，可借由调控微型气体传输装置1A的气体传输量，使气体不再输入集气腔室162中，此时，气体将自与出口19连接的第四贯穿孔182输入至第二出口腔室184内，使得第二出口腔室184的体积膨胀，进而促使可挠性的阀门片17向上弯曲形变，并向上平贴、抵顶于第一出口腔室166的凸部结构167上，而使阀门片17的阀孔170关闭，即第二出口腔室184内的气体不会逆流至第一出口腔室166中；以及，第二出口腔室184中的气体是可经由连通流道185而流至第二卸压腔室183中，再由第三贯穿孔181向外流至卸压孔186处以进行卸压作业；如此可借由此微型阀门结构1B的单向气体传输作业将与出口19连接的装置内的气体排出而降压，或是完全排出而完成卸压作业。

综上所述，本实用新型所提供的微型气体传输装置是包含进气板、流道板、共振片、压电致动器、绝缘片以及导电片等结构，使气体自进气板的进气孔进入，并利用压电致动器的作动，使气体于流经流道板中设计过的总线孔及中心孔洞进行流动，并沿共振片的中空孔洞向下流动，以于共振片及压电致动器之间形成的第一腔室内产生压力梯度，进而使气体高速流动，并可继续向下传递，进而以达到可使气体迅速地传输，且同时可达到静音的功效，更可使微型气体传输装置的整体体积减小及薄型化，进而使其所适用的微型气体动力装置达成轻便舒适的可携式目的，并可广泛地应用于医疗器材及相关设备之中。因此，本实用新型的微型气体传输装置极具产业利用价值，爰依法提出申请。

纵使本实用新型已由上述实施例详细叙述而可由熟悉本技艺人士任施匠思而为诸般修饰，然皆不脱如附申请专利范围所欲保护者。

Claims (18)

1.一种微型气体传输装置，适用于一微型气压动力装置，其特征在于包括：

一进气板，具有至少一进气孔、至少一总线孔及构成一汇流腔室的一中心凹部，该至少一进气孔供导入气体，该总线孔对应该进气孔，且引导该进气孔的气体汇流至该中心凹部所构成的该汇流腔室；

一共振片，具有一中空孔洞，对应该进气板的该汇流腔室；以及

一压电致动器，具有：

一悬浮板，该悬浮板具有介于8mm-12mm之间的长度、介于8mm-12mm之间的宽度以及介于0.2mm-0.29mm之间的厚度；

一外框，具有至少一支架，连接设置于该悬浮板及该外框之间；以及

一压电陶瓷板，贴附于该悬浮板的一表面，且该压电陶瓷板具有介于8mm-12mm之间的长度、介于8mm-12mm之间宽度以及介于0.08mm-0.2mm之间的厚度，该长度及该宽度比值为0.75倍-1.25倍之间；

其中，上述的该进气板、该共振片及该压电致动器依序对应对叠设置定位，且该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一第一腔室，以使该压电致动器受驱动时，气体由该进气板的该至少一进气孔导入，经该至少一总线孔汇集至该中心凹部，再流经该共振片的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，再由该压电致动器的该至少一支架之间的一空隙向下传输，以持续推出气体。

2.如权利要求1所述的微型气体传输装置，其特征在于，操作频率为18.5k、操作电压为±16V，其最大输出气压是达到300mmHg。

3.如权利要求1所述的微型气体传输装置，其特征在于，该压电陶瓷板的长度为10mm、宽度为10mm、厚度为0.10mm。

4.如权利要求1所述的微型气体传输装置，其特征在于，该悬浮板的长度为10.1mm、宽度为10.1mm、厚度为0.26mm。

5.如权利要求1所述的微型气体传输装置，其特征在于，该悬浮板更包括一凸部，其高度介于0.02mm-0.08mm之间。

6.如权利要求5所述的微型气体传输装置，其特征在于，该凸部的高度为0.03mm。

7.如权利要求5所述的微型气体传输装置，其特征在于，该凸部为一圆形凸起结构，直径为5.5mm。

8.如权利要求1所述的微型气体传输装置，其特征在于，该进气板由一不锈钢材质所构成，厚度介于0.4mm-0.6mm之间。

9.如权利要求8所述的微型气体传输装置，其特征在于，该进气板的厚度为0.5mm。

10.如权利要求1所述的微型气体传输装置，其特征在于，该共振片由一铜材质所构成，厚度介于0.03mm-0.08mm之间。

11.如权利要求10所述的微型气体传输装置，其特征在于，该共振片的厚度为0.05mm。

12.如权利要求1所述的微型气体传输装置，其特征在于其更包括至少一绝缘片及一导电片，且该至少一绝缘片及该导电片依序设置于该压电致动器之下。

13.如权利要求1所述的微型气体传输装置，其特征在于，该压电致动器的该外框由一不锈钢材质所构成，厚度介于0.2mm-0.4mm之间。

14.如权利要求13所述的微型气体传输装置，其特征在于，该压电致动器的该外框的厚度为0.3mm。

15.如权利要求1所述的微型气体传输装置，其特征在于，该压电致动器的该支架的两端点连接该外框、一端点连接该悬浮板。

16.一种微型气体传输装置，适用于一微型气压动力装置，其特征在于包括：

一进气板；

一共振片；以及

一压电致动器；

其中，上述的该进气板、该共振片及该压电致动器依序对应堆叠设置定位，且该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一第一腔室，该压电致动器受驱动时，气体由该进气板进入，流经该共振片，以进入该第一腔室内再传输气体；

该进气板具有至少一进气孔、至少一总线孔及一中心凹部，该至少一进气孔供导入气体，该总线孔对应该进气孔，且引导该进气孔的气体汇流至该中心凹部；该共振片具有一中空孔洞，对应该进气板的该中心凹部；以及该压电致动器具有一悬浮板及一外框，该悬浮板及该外框之间以至少一支架连接，且于该悬浮板的一表面 贴附一压电陶瓷板。

17.如权利要求16所述的微型气体传输装置，其特征在于，该压电陶瓷板具有介于8mm-12mm之间的长度、介于8mm-12mm之间的宽度以及介于0.08mm-0.2mm之间的厚度，该长度及该宽度比值为0.75倍-1.25倍之间。

18.如权利要求17所述的微型气体传输装置，其特征在于，该压电陶瓷板的长度为10mm、宽度为10mm、厚度为0.10mm。