CN205688046U - 一种硅晶片电泳架 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种硅晶片电泳架，其所述左侧板、右侧板对称固装，其上部通过上支撑杆固定，其下部通过平行的两个电极支持棒固定，两个电极支持棒下部固装正极电极棒及负极电极棒，在两个电极支持棒上对应制有多个由负极电极板卡槽、晶片卡槽、正极电极板卡槽构成的卡槽组，在每个卡槽组的正极电极板卡槽内插装正极电极板，负极电极板卡槽内插装负极电极板，正极电极板与所述正极电极棒接触并导通连接，负极电极板与所述负极电极棒接触并导通连接，正极电极棒及负极电极棒分别通过导线连接至电源接头的正极及负极。本实用新型结构设计科学合理，结构紧凑，使用方便，生产效率高，可在晶片表面形成完整的玻璃层，保证产品质量。

Description

一种硅晶片电泳架

技术领域

本实用新型属于硅晶片生产设备领域，特别是一种硅晶片电泳架。

背景技术

随着半导体技术的发展，对半导体表面钝化的要求越来越高，利用半导体钝化专用玻璃制作玻璃钝化硅二极管(GPP)就是一种较为理想的反向快恢复二级管。目前，使用玻璃钝化硅二极管(GPP)芯片得到电子行业内人士的普遍认可。这种GPP芯片工艺为半导体台面工艺和玻璃烧结工艺于一体，是在二极管芯片之前，使用刻蚀V型槽(或机械式划V型槽)的台面。然后，在结表面涂敷玻璃粉以便进行台面钝化处理、用于PN结表面保护、提高管芯的反向特性。玻璃粉料是由某些粘合剂及高纯度的微细玻璃粉混合组成的悬浮液。将玻璃粉悬浮液按一定的工艺方法涂敷于V型槽内，在高温下粘合剂被烧掉，玻璃熔化并在整个结的表面上形成密封保护层。

涂敷玻璃常用的主要有两种方法：医用手术刀法、电泳法。医用手术刀法采用人工将玻璃粉洒在表面，人工抹腻在V形槽内，烧结后形成玻璃覆膜。其存在如下问题：覆膜无法覆盖V形槽上沿的弯角处和玻璃粉不够致密影响产品的使用性能。

电泳法制作玻璃钝化二极管芯片工艺的机理是将玻璃粉和有机溶剂(甲醇或异丙醇)配制成悬浮液，并在悬浮液内加入适量的活性剂28％的氨水和醋酸纤维素。活性剂的作用是使玻璃粉粒子带负电，以增强颗粒运动，形成致密坚实的玻璃层。醋酸纤维素作粘接剂，在直流电场作用下，带负电的玻璃颗粒向正电极上硅片方向运动，并淀积在硅片上。电泳法淀积需一固定的电子装置，硅片被固定在电极上(正电)。电泳时，将直流电压加到100--200V/cm场强，直流电流在0.5mA之间，这时，可用注射器向电泳液内加入活性剂，直流电流随之升至1mA，并维持到淀积结束。电泳法淀积的特点是可以进行选择性钝化，而且硅片两面可以同时淀积，尤其适宜于可控硅器件的钝化膜制造。

现有的电泳装置大多为电泳槽及托盘形式，其存在硅片摆放数量小，不易取放的问题；且电极装置与托盘为独立设置，需在电泳槽内进行连接，使用不便。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种结构紧凑，将电极与托架集成为一体，可装载多片硅片的硅晶片电泳架。

本实用新型解决其技术问题是通过以下技术方案实现的：

一种硅晶片电泳架，其特征在于：主要由左侧板、右侧板、上支撑杆、电源接头、正极电极棒、负极电极棒、电极支持棒、正极电极板及负极电极板构成，所述左侧板、右侧板对称固装，其上部通过上支撑杆固定，其下部通过平行的两个电极支持棒固定，两个电极支持棒下部固装正极电极棒及负极电极棒，在两个电极支持棒上对应制有多个由负极电极板卡槽、晶片卡槽、正极电极板卡槽构成的卡槽组，在每个卡槽组的正极电极板卡槽内插装正极电极板，负极电极板卡槽内插装负极电极板，正极电极板与所述正极电极棒接触并导通连接，负极电极板与所述负极电极棒接触并导通连接，正极电极棒及负极电极棒分别通过导线连接至电源接头的正极及负极。

而且，所述的电源接头与外部直流电源相连接。

而且，所述的卡槽组的排布方式为一对负极电极板卡槽、正极电极板卡槽位于晶片卡槽的两侧，且晶片卡槽靠近正极电极板卡槽位置；前一组卡槽组的正极电极板卡槽上的正极电极板与下一组卡槽组的负极电极板卡槽上的负极板形成正负极。

本实用新型的优点和有益效果为：

1、本硅晶片电泳架，其电极支持棒可同时支撑安装多组正极、负极电极板，并同时在电极板之间卡装晶片，通电后，正极电极板与负极电极板之间形成电泳；玻璃粉和有机溶剂配制成悬浮液，其玻璃粉通过活性剂而带负电，向靠近正极电极板的晶片移动，从而在晶片上形成致密坚实的玻璃层。

2、本硅晶片电泳架，在电极支持棒上可排列设置多组电极板及晶片，从而形成多个正极、负极，有效提高电泳强度，同时可实现对多个晶片正反两面的玻璃粉的附着，效率高，且效果良好。

3、本硅晶片电泳架，正极电极棒、负极电极棒与外部直流电源相连接，实现电极与支架的一体化有机结合，使用时，可将插装好电极板及晶片的电泳架放入装有悬浮液的电泳槽内，开启电源，即可完成晶片玻璃层的加工，使用极为方便。

4、本实用新型结构设计科学合理，结构紧凑，将电极与托架集成为一体，可装载多片硅片的硅晶片电泳架，使用方便，生产效率高，可在晶片表面形成完整的玻璃层，保证产品质量。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的立体图。

附图标注说明：

1-上支撑杆、2-左侧板、3-负极电极板、4-正极电极棒、5-电极支持棒、7-正极电极板、6-晶片、8-右侧板、9-电源接头。

具体实施方式

下面通过具体实施例对本实用新型作进一步详述，以下实施例只是描述性的，不是限定性的，不能以此限定本实用新型的保护范围。

一种硅晶片电泳架，其主要由左侧板2、右侧板8、上支撑杆1、电源接头9、正极电极棒4、负极电极棒(位于正极电极棒后部)、电极支持棒5、正极电极板7及负极电极板3构成。左侧板、右侧板对称固装，其上部通过上支撑杆固定，其下部通过平行的两个电极支持棒固定。两个电极支持棒下部固装正极电极棒及负极电极棒，在两个电极支持棒上对应制有多个由负极电极板卡槽、晶片卡槽、正极电极板卡槽构成的卡槽组，在每个卡槽组的正极电极板卡槽内插装正极电极板，负极电极板卡槽内插装负极电极板，正极电极板与正极电极棒接触并导通连接，负极电极板与所述负极电极棒接触并导通连接，正极电极棒及负极电极棒分别通过导线连接至电源接头的正极及负极。

电源接头与外部直流电源相连接。卡槽组的排布方式为一对负极电极板卡槽、正极电极板卡槽位于晶片卡槽的两侧。前一组卡槽组的正极电极板卡槽上的正极电极板与下一组卡槽组的负极电极板卡槽上的负极板形成正负极。晶片卡槽靠近正极电极板卡槽。即在正极电极板的两侧紧邻有两片晶片。

其电极支持棒可同时支撑安装多对正负极电极板，并同时在晶片卡槽内卡装晶片6，正极电极板与负极电极板之间形成电泳；玻璃粉和有机溶剂配制成悬浮液，其玻璃粉通过活性剂而带负电，向靠近正极电极板的晶片移动，从而在晶片上形成致密坚实的玻璃层。

尽管为说明目的公开了本实用新型的实施例和附图，但是本领域的技术人员可以理解：在不脱离本实用新型及所附权利要求的精神和范围内，各种替换、变化和修改都是可能的，因此，本实用新型的范围不局限于实施例和附图所公开的内容。

Claims (3)

1.一种硅晶片电泳架，其特征在于：主要由左侧板、右侧板、上支撑杆、电源接头、正极电极棒、负极电极棒、电极支持棒、正极电极板及负极电极板构成，所述左侧板、右侧板对称固装，其上部通过上支撑杆固定，其下部通过平行的两个电极支持棒固定，两个电极支持棒下部固装正极电极棒及负极电极棒，在两个电极支持棒上对应制有多个由负极电极板卡槽、晶片卡槽、正极电极板卡槽构成的卡槽组，在每个卡槽组的正极电极板卡槽内插装正极电极板，负极电极板卡槽内插装负极电极板，正极电极板与所述正极电极棒接触并导通连接，负极电极板与所述负极电极棒接触并导通连接，正极电极棒及负极电极棒分别通过导线连接至电源接头的正极及负极。

2.根据权利要求1所述的一种硅晶片电泳架，其特征在于：所述的电源接头与外部直流电源相连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅晶片电泳架，其特征在于：所述的卡槽组的排布方式为一对负极电极板卡槽、正极电极板卡槽位于晶片卡槽的两侧，且晶片卡槽靠近正极电极板卡槽位置；前一组卡槽组的正极电极板卡槽上的正极电极板与下一组卡槽组的负极电极板卡槽上的负极板形成正负极。