CN205676361U - 靶材排水装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及玻璃精加工技术领域，公开了一种靶材排水装置，包括靶材，在所述靶材上安装有进水管和回水管，在所述进水管上通过一个进水管阀门连接一个进气管，在所述回水管上通过一个回水管阀门连接一个出水管。本实用新型不改动靶材筒体的结构，利用原有的管道进行改造，通过阀门启闭，方便工作与排水。

Description

靶材排水装置

技术领域

本实用新型涉及玻璃精加工技术领域，特别是一种靶材排水装置。

背景技术

玻璃精加工过程中，先进行蚀刻打磨，然后进行真空镀膜，真空镀膜是在靶材中进行的，靶材为圆筒型结构，里面装有磁体，磁体以慢速度转动。在圆筒内部存有冷却水，用于对磁体进行冷却。

现有的冷却水排水方法是直接拔除靶材上的回水管，并用水桶接水，由于回水管与靶材筒体连接处靠近筒体，导致接水困难，在地面易形成积水。另外，由于靶材筒体内部密封，很难将冷却水排除干净。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决上述技术问题，提供一种靶材排水装置，通过连接管直接将冷却水排到废水区。

本实用新型采取的技术方案是：

一种靶材排水装置，包括靶材，在所述靶材上安装有进水管和回水管，其特征是，在所述进水管上通过一个进水管阀门连接一个进气管，在所述回水管上通过一个回水管阀门连接一个出水管。

进一步，所述回水管阀门的位置低于所述回水管与所述靶材的接口位置。

进一步，所述进气管的管径为5mm，所述出水管的管径为10mm。

进一步，所述进气管连接一个高压气源。

本实用新型的有益效果是：

（1）不改动靶材筒体的结构，利用原有的管道进行改造；

（2）通过阀门启闭，方便工作与排水；

（3）进气管引入高压气体，使排水更彻底。

附图说明

附图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型接靶材排水装置的具体实施方式作详细说明。

参见附图1，靶材筒体1上安装有进水管1和回水管2，进水管1连接至进水主管3，回水管2连接至回水主管4。在进水管1上通过一个进水管阀门5连接一个进气管6，在回水管2上通过一个回水管阀门7连接一个出水管8。回水管阀门7的位置低于回水管2与靶材的接口位置。进气管6连接一个高压气源。进气管6的管径选用5mm，出水管8的管径为10mm。

在进行真空镀膜时，关闭进水管阀门5和回水管阀门7。镀膜工作结束要进行冷却水排放时，开启进水管阀门5和回水管阀门7，进气管6接入高压气体，出水管8连通至污水池或排水管，通过进气管6的气压，将靶体筒体1内的冷却水排出。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (4)

1.一种靶材排水装置，包括靶材，在所述靶材上安装有进水管和回水管，其特征在于：在所述进水管上通过一个进水管阀门连接一个进气管，在所述回水管上通过一个回水管阀门连接一个出水管。

2.根据权利要求1所述的靶材排水装置，其特征在于：所述回水管阀门的位置低于所述回水管与所述靶材的接口位置。

3.根据权利要求1所述的靶材排水装置，其特征在于：所述进气管的管径为5mm，所述出水管的管径为10mm。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的靶材排水装置，其特征在于：所述进气管连接一个高压气源。