CN205642779U - 一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台 - Google Patents

一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台 Download PDF

Info

Publication number
CN205642779U
CN205642779U CN201620536602.3U CN201620536602U CN205642779U CN 205642779 U CN205642779 U CN 205642779U CN 201620536602 U CN201620536602 U CN 201620536602U CN 205642779 U CN205642779 U CN 205642779U
Authority
CN
China
Prior art keywords
broadband
piezoelectric ceramics
rigidity
high thrust
arch
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201620536602.3U
Other languages
English (en)
Inventor
凌明祥
李思忠
刘谦
严侠
王宇飞
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
General Engineering Research Institute China Academy of Engineering Physics
Original Assignee
General Engineering Research Institute China Academy of Engineering Physics
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by General Engineering Research Institute China Academy of Engineering Physics filed Critical General Engineering Research Institute China Academy of Engineering Physics
Priority to CN201620536602.3U priority Critical patent/CN205642779U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN205642779U publication Critical patent/CN205642779U/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Abstract

本实用新型公开了一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台,包括底座、台面、直线滑轨、压电陶瓷和拱桥形位移放大机构,拱桥形位移放大机构的两端的下侧面通过直线滑轨与底座可滑动连接,两个压电陶瓷分别设置在拱桥形位移放大机构的两端与底座的两端之间,两个压电陶瓷的第一端分别与底座的两端固定连接,两个压电陶瓷的第二端分别与拱桥形位移放大机构的两端端面固定连接。本实用新型通过压电陶瓷驱动拱桥形位移放大机构来放大和传递压电陶瓷的位移,产生宽频带和大推力的振动台,使拱桥形位移放大机构在保持较大的几何尺寸、高位移放大比和高刚度的同时,还具有较高的固有频率,确保了宽频、大推力振动的输出。

Description

一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台
技术领域
本实用新型涉及力学环境与测量技术领域,尤其涉及一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台。
背景技术
目前公知的振动试验装置主要有三种类型:机械式振动台、电磁式振动台和液压振动台,其中机械式振动台和液压振动台主要适用于中低频,液压振动台的推力较大;电磁式振动台的频率范围较宽,激振力也较大。但这些振动模拟试验装置的体积和重量一般较大,而且激振机理较为复杂。
另外一类是压电振动台,由压电元件的压电效应产生的激振力驱动台面,其工作频率可以达到数千赫兹,而且激振简单、重量和体积小,尤其适用于对振动台重量和体积限制严格的场合。但压电振动台的激振力小,低频时的加速度值小。而且压电陶瓷属于脆性材料,不能承受拉力和弯矩,因此不能直接采用压电陶瓷来激振。目前,国内外普遍将压电陶瓷封装在柔性机构中来实现精密驱动,但主要集中在精密定位平台的应用方面,这些公知的实用新型创造虽然能够满足精密定位平台的应用需求,但是输出位移仍然较小,而且系统的固有频率很低,不能直接用于中高频的振动输出。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的:
一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台,包括底座、台面、直线滑轨、压电陶瓷和拱桥形位移放大机构,所述拱桥形位移放大机构的两端的下侧面通过所述直线滑轨与所述底座可滑动连接,两个所述压电陶瓷分别设置在所述拱桥形位移放大机构的两端与所述底座的两端之间,两个所述压电陶瓷的第一端分别与所述底座的两端固定连接,两个所述压电陶瓷的第二端分别与所述拱桥形位移放大机构的两端端面固定连接,所述台面通过螺栓与所述拱桥形位移放大机构的顶端固定连接。
具体地,所述底座和所述台面均为刚性材料,所述台面所在的平面与所述底座所在的平面平行设置。
具体地,所述拱桥形位移放大机构包括两个刚性输入端、两个柔性臂和刚性上端面,两个所述柔性臂的第一端分别与两个所述刚性输入端连接,两个所述柔性臂的第二端均与所述刚性上端面固定连接,两个所述刚性输入端的底面与所述直线滑轨可滑动连接,两个所述压电陶瓷的第二端分别与两个所述刚性输入端的外侧面固定连接,所述刚性上端面通过所述螺栓与所述台面固定连接。
具体地,两个所述柔性臂均倾斜设置,且沿所述刚性上端面的中轴线对称设置,所述柔性臂为弹簧钢或铝合金材料。
具体地,所述压电陶瓷为堆叠型压电陶瓷或封装型压电陶瓷。
本实用新型的有益效果在于:
本实用新型一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台通过压电陶瓷驱动拱桥形位移放大机构来放大和传递压电陶瓷的位移,进而产生宽频带和大推力的振动台,使拱桥形位移放大机构在保持较大的几何尺寸、高位移放大比和高刚度的同时,还具有较高的固有频率,确保了宽频、大推力振动的输出。
附图说明
图1是本实用新型所述一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台的结构示意图;
图2是本实用新型所述一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台的主视图;
图3是本实用新型所述拱桥形位移放大机构的结构示意图;
图4是本实用新型所述一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台的一个实施例的结构示意图。
图中:1-底座,2-直线滑轨,3-压电陶瓷,4-台面,5-螺栓,6-拱桥形位移放大机构,7-柔性臂,8-刚性输入端,9-刚性上端面。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
如图1和图2所示,本实用新型一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台,包括底座1、台面4、直线滑轨2、压电陶瓷3和拱桥形位移放大机构6,拱桥形位移放大机构6的两端的下侧面通过直线滑轨2与底座1可滑动连接,两个压电陶瓷3分别设置在拱桥形位移放大机构6的两端与底座1的两端之间,两个压电陶瓷3的第一端分别与底座1的两端固定连接,两个压电陶瓷3的第二端分别与拱桥形位移放大机构6的两端端面固定连接,台面4通过螺栓5与拱桥形位移放大机构6的顶端固定连接,底座1和台面4均为刚性材料,台面4所在的平面与底座1所在的平面平行设置。
如图3所示,拱桥形位移放大机构6包括两个刚性输入端8、两个柔性臂7和刚性上端面9,两个柔性臂7的第一端分别与两个刚性输入端8连接,两个柔性臂7的第二端均与刚性上端面9固定连接,两个刚性输入端8的底面与直线滑轨2可滑动连接,两个压电陶瓷3的第二端分别与两个刚性输入端8的外侧面固定连接,刚性上端面9通过螺栓与台面4固定连接,两个柔性臂7均倾斜设置,且沿刚性上端面9的中轴线对称设置,柔性臂7为弹簧钢或铝合金材料,压电陶瓷3为堆叠型压电陶瓷3或封装型压电陶瓷3。
压电陶瓷3产生横向的振动位移,压电陶瓷3推动刚性输入端8沿直线滑轨2滑动,两个刚性输入端8之间的距离发生改变,从而使两个柔性臂7之间的倾斜角度发生改变,使得刚性上端面9的高度发生改变,产生位移,从而使得与刚性上端面9连接的台面4,产生高频振动。
提供另外一个实施例
可只包含一个压电陶瓷3,即拱桥形位移放大机构6的第一端与底座1的第一端固定连接,拱桥形位移放大机构6的第二端通过压电陶瓷3和直线滑轨2与底座1的第二端连接。
如图4所示,为了提高整个振动台的负载能力,将多个相同的拱桥形位移放大机构6和压电陶瓷3按照一定的布局方式并联,使多个拱桥形位移放大机构6的刚性上端面9均通过螺栓与台面4连接,多个拱桥形位移放大机构6的两端均通过压电陶瓷3和直线滑轨2与底座1连接。
本实用新型的技术方案不限于上述具体实施例的限制,凡是根据本实用新型的技术方案做出的技术变形,均落入本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台,其特征在于:包括底座、台面、直线滑轨、压电陶瓷和拱桥形位移放大机构,所述拱桥形位移放大机构的两端的下侧面通过所述直线滑轨与所述底座可滑动连接,两个所述压电陶瓷分别设置在所述拱桥形位移放大机构的两端与所述底座的两端之间,两个所述压电陶瓷的第一端分别与所述底座的两端固定连接,两个所述压电陶瓷的第二端分别与所述拱桥形位移放大机构的两端端面固定连接,所述台面通过螺栓与所述拱桥形位移放大机构的顶端固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台,其特征在于:所述底座和所述台面均为刚性材料,所述台面所在的平面与所述底座所在的平面平行设置。
3.根据权利要求1所述的一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台,其特征在于:所述拱桥形位移放大机构包括两个刚性输入端、两个柔性臂和刚性上端面,两个所述柔性臂的第一端分别与两个所述刚性输入端连接,两个所述柔性臂的第二端均与所述刚性上端面固定连接,两个所述刚性输入端的底面与所述直线滑轨可滑动连接,两个所述压电陶瓷的第二端分别与两个所述刚性输入端的外侧面固定连接,所述刚性上端面通过所述螺栓与所述台面固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台,其特征在于:两个所述柔性臂均倾斜设置,且沿所述刚性上端面的中轴线对称设置,所述柔性臂为弹簧钢或铝合金材料。
5.根据权利要求1所述的一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台,其特征在于:所述压电陶瓷为堆叠型压电陶瓷或封装型压电陶瓷。
CN201620536602.3U 2016-06-01 2016-06-01 一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台 Expired - Fee Related CN205642779U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201620536602.3U CN205642779U (zh) 2016-06-01 2016-06-01 一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201620536602.3U CN205642779U (zh) 2016-06-01 2016-06-01 一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN205642779U true CN205642779U (zh) 2016-10-12

Family

ID=57051666

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201620536602.3U Expired - Fee Related CN205642779U (zh) 2016-06-01 2016-06-01 一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN205642779U (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106092475A (zh) * 2016-06-01 2016-11-09 中国工程物理研究院总体工程研究所 一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106092475A (zh) * 2016-06-01 2016-11-09 中国工程物理研究院总体工程研究所 一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台
CN106092475B (zh) * 2016-06-01 2018-10-12 中国工程物理研究院总体工程研究所 一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105006254B (zh) 一种具有双位移放大的大行程快速响应x‑y微动工作台
CN102543217B (zh) 宏微驱动二维一体式微定位平台
CN106092475A (zh) 一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台
CN108962336B (zh) 一种基于压电驱动的二维并联柔性微动平台
CN101887761B (zh) 两自由度微动定位平台
CN101424879B (zh) 电阻应变反馈式闭环二维柔性铰链工作台
CN102182899A (zh) 大行程三平动正交解耦型精密微动平台及其控制方法
CN106737597B (zh) 一种xyz三自由度精密定位装置
CN108453492B (zh) 一种用于微纳刻划的大行程压入机构
CN104900573B (zh) 一种对称式差动杠杆微位移放大装置
CN206571897U (zh) 具有准零刚度的半主动控制型垂直隔振器
CN102682857A (zh) 微动定位平台改变行程范围的装置
CN107378527A (zh) 一种压电驱动式两自由度解耦微摆动平台
CN205642779U (zh) 一种适用于宽频带和大推力的压电式振动台
CN202448118U (zh) 二平动长行程并联精密定位平台
CN109650327A (zh) 一种平板式三维大行程纳米操作平台
CN101786269B (zh) 微纳传动平台
CN202520846U (zh) 一种针对基础激励的低频隔振器
CN202662295U (zh) 一种微动定位平台改变行程范围的装置
CN103273481A (zh) 一种具有二自由度平动的并联机构
CN110492781A (zh) 三级微位移放大机构及其放大方法
CN103192279B (zh) 一种二维解耦运动平台
CN203171265U (zh) 一种二维解耦运动平台
CN207149264U (zh) 一种一维微位移台
CN205380661U (zh) 一种对称解耦单自由度柔性操作机构

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20161012

Termination date: 20190601