CN205497131U - 改善氧化膜质量的超声elid复合平面磨削系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了改善氧化膜质量的超声ELID复合平面磨削系统，包括机床主轴系统、线修整装置、砂轮整形装置和二维超声振动系统；还包括有设置在机床主轴上的超声纵扭复合振动系统和设置在线修整装置末端的间隙调整装置和用于实时控制氧化膜状态的系统闭环控制系统；超声纵扭复合振动系统中纵扭超声振动变幅器小端设置有斜槽，且斜槽沿圆周均匀分布，斜槽与主轴轴线夹角为45°。本实用新型在立式加工中心主轴上加装超声纵扭复合振动系统，由超声振动无线传输系统将超声能量传至纵扭超声振动变幅器，其中纵扭超声振动变幅器一端开设有斜槽，实现铸铁结合剂金刚石砂轮纵向与扭转同时振动。
Description
技术领域
本实用新型涉及硬脆材料的高效精密加工技术领域，尤其涉及改善氧化膜质量的超声ELID复合平面磨削系统。
背景技术
目前，随着科学技术的进步和生产力的发展，材料技术和传感器技术的不断改进，陶瓷材料以其优异的综合性能，成为最有发展前途的硬脆材料之一。然而,由于陶瓷材料的结合键类型通常为离子键或共价键,结合键的键能较高并具有方向性,并且由于工程陶瓷材料的晶体结构复杂,在常温下很难发生滑移、位错及塑性变形，使成形后加工成为技术难题和研究热点。目前针对纳米复相陶瓷材料加工，超声振动磨削技术和在线电解修整技术应用相对比较广泛，但将两者加工方式结合在一起，共同加工纳米复相陶瓷材料的研究较少。
目前针对超声振动磨削的研究，大多局限于一维、二维超声振动磨削，并且一维超声振动主要集中在对工具头施加轴向或纵向振动，二维超声振动主要集中在对工件施加椭圆振动。将工具振动与工件振动相结合的多维振动形式甚少。
在线电解修整参与的磨削中，金属结合剂砂轮表面的氧化膜的状态非常重要，直接影响了被加工表面的表面质量，若氧化膜生成速率过慢，氧化膜质地较厚且紧实，动态磨削时磨钝的金刚石颗粒不能及时地从金属基体脱离，会造成单颗磨粒磨削力增大，从而导致局部过热，对被加工表面造成热损伤。若氧化膜生成速率过快，氧化膜质地较厚且松软，氧化膜对磨粒的把持力减弱，动态磨削时在磨削力作用下较容易从砂轮剥落，给砂轮表面造成较大凹坑和裂纹，引起磨削力的变化，磨削过程不稳定，降低了被加工表面的表面质量，剥落的磨粒和氧化膜会随磨削液进入磨削区，造成被加工表面的污染，故合理地控制氧化膜状态对复合磨削加工有重要意义。
极间间隙一定范围内（0.5mm-1.5mm）的调整对氧化膜状态变化影响较显著，故控制极间间隙大小作为一种控制氧化膜状态的高效控制策略。
多传感器信息融合指协同使用多种传感器并将各种传感信息有效结合为一体，形成高性能感知系统来获取对环境的一致性描述的过程。任何一种传感器都有其优越性和局限性。但通过采集各种传感器传递的信号，实现状态识别、判断及控制。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供改善氧化膜质量的超声ELID复合平面磨削系统，能够将超声振动磨削与ELID磨削优势互补，实现硬脆材料的高效、镜面加工。
本实用新型采用的技术方案为：
改善氧化膜质量的超声ELID复合平面磨削系统，包括设置在机床工作台10上的机床主轴系统1、设置在机床主轴1-1两侧的用于实现在线电解修整砂轮的在线修整装置4、用于保证砂轮表面形状精度的砂轮整形装置9和用于实现被加工工件椭圆振动的二维超声振动系统3；还包括有设置在机床主轴1-1上的超声纵扭复合振动系统3和设置在线修整装置4末端的间隙调整装置5和用于实时控制氧化膜状态的系统闭环控制系统6；超声纵扭复合振动系统2包括纵向振动超声振动换能器1-7，纵扭超声振动变幅器1-8及铸铁结合剂金刚石砂轮1-9，所述纵扭超声振动变幅器小端设置有斜槽1-10，且斜槽1-10沿圆周均匀分布，斜槽与主轴轴线夹角为45°；
所述机床主轴系统1包括套设在机床主轴1-1下端外面的工具头固定架1-4，机床主轴1-1的下端部同轴连接有刀柄1-2，刀柄1-2下端与工具头固定架1-4连接；
工具头固定架1-4外圆周套设有通过紧固螺钉连接的上感应盘1-5和下感应盘1-6，上感应盘1-5通过正负极导线与多通道超声波发生器8相连，上感应盘（1-5）外圆周设有通过紧固螺钉连接的上感应盘支撑架1-3，上感应盘支撑架1-3通过紧固螺钉与在线修整装置4连接；
下感应盘1-6下依次设置有纵向振动超声振动换能器1-7，纵扭超声振动变幅器1-8及铸铁结合剂金刚石砂轮1-9；所述的纵向振动超声振动换能器1-7与纵扭超声振动变幅器1-8通过双头螺柱连接上下连接，纵扭超声振动变幅器1-8下端螺纹连接铸铁结合剂金刚石砂轮1-9；
所述二维超声振动系统3包括固定支板2-1，固定支板2-1上设置有直角载物板2-5，直角载物板2-5两个端部分别固定设置有一个纵向超声振动变幅器2-7，一个变幅器保持架2-3，一个纵向超声振动换能器2-4；变幅器保持架2-3通过紧固螺钉垂直固定于固定支板2-1，纵向超声振动变幅器2-7通过法兰盘及螺钉固定在变幅器保持架2-3上，直角载物板2-5与纵向超声振动变幅器2-7以双头螺柱同轴向连接，纵向超声振动变幅器2-7与纵向超声振动换能器2-4通过双头螺柱相连接；
所述的间隙调整装置5包括通过紧固螺钉水平固定设置在阴极支撑架4-4末端绝缘板4-5两侧的高分辨率混合式步进电机5-1和滑动摩擦矩形导轨5-2, 高分辨率混合式步进电机5-1放置在远离铸铁结合剂金刚石砂轮1-9的一侧，滑动摩擦矩形导轨5-2放置在靠近铸铁结合剂金刚石砂轮1-9一侧；滑动摩擦矩形导轨5-2上滑动设置有塑胶滑台5-3，所述的塑胶滑台5-3上固定设置有螺母5-6，高分辨率混合式步进电机5-1的输出轴固定设置有与螺母5-6滑动配合的滚珠丝杠5-7，激光位移传感器位于铜电极5-4几何中心且位置正对加工中心主轴1-1中心线处设置的孔洞中；
所述塑胶滑台5-3末端通过紧固螺钉固定塑胶半套5-5和铜电极5-4，保证铜电极5-4母线与铸铁结合剂金刚石砂轮1-9轴线的平行度，所述的铜电极5-4几何形状为三分之一环形截面的柱体。所述的铜电极5-4几何中心且位置正对加工中心主轴1-1中心线处设置有孔洞，孔洞用于放置激光位移传感器和可视传感器；
所述的闭环控制系统6包括分别用于搜集动态磨削过程中回路中电流和电压实时变化值的霍尔电流传感器、霍尔电压传感器，用于测量动态磨削过程中三向磨削力实时变化的Kislter三向测力仪12，用于测量铸铁结合剂金刚石砂轮1-9与铜电极5-4间距的激光位移传感器，用于采集氧化膜表面实时形貌特征的可视传感器，A/D模数转化器，基于PLC的模糊控制器和D/A数模转化器；所述的霍尔电流传感器、霍尔电压传感器，Kislter三向测力仪12，激光位移传感器和可视传感器的输出端通过A/D模数转化器与基于PLC的模糊控制器输入端连接，所述的基于PLC的模糊控制器的输出端通过D/A数模转化器连接高分辨率混合式步进电机的控制输入端。
所述在线修整装置4包括用销钉连接的固定套筒4-2和支承轴4-3，固定套筒4-2顶部连接固定式不锈钢直角弯头4-1，阳极固定板4-6一端通过两个设置有内螺纹的绝缘夹4-7板固定在支承轴4-3上，阳极固定板4-6另一端设有与ELID专用脉冲电源7正极连接的阳极碳刷4-8，在进行在线修整时阳极碳刷4-8与机床主轴1-1上的导电体压接，使铸铁结合剂金刚石砂轮1-9带正电；支承轴4-3末端通过可动卡套螺纹连接阴极支撑架4-4。
所述直角载物板2-5的直角处设计为圆角，且将胶粘被加工陶瓷片2-6的平面铣出有阶梯台2-8。
本实用新型在立式加工中心主轴上加装超声纵扭复合振动系统，由超声振动无线传输系统将超声能量传至纵扭超声振动变幅器，其中纵扭超声振动变幅器一端开设有斜槽，实现铸铁结合剂金刚石砂轮纵向与扭转同时振动。进一步的，在加工中心工作台上设有二维超声振动系统，实现工件二维椭圆轨迹振动。进一步的通过在线修整装置的阴极中心内置位移传感器和可视传感器，用于监测砂轮与阴极间距离，及在线磨削过程中氧化膜表面形貌。本实用新型将多维超声振动磨削技术与ELID磨削技术相结合，以改善砂轮表面氧化膜质量为目标，以实时闭环控制极间间隙为实施方法，提高了电解修锐质量和修锐效率，间接达到高效精密的加工要求。
附图说明
图1为本实用新型的结构原理示意图；
图2为本实用新型所述的超声纵扭复合振动系统的结构示意图；
图3为本实用新型所述的二维超声振动系统的结构示意图；
图4为本实用新型所述的在线修整装置的结构示意图；
图5为本实用新型所述的间隙调整装置的结构示意图；
图6为本实用新型所述的砂轮整形装置的结构示意图；
图7为本实用新型所述的闭环控制系统的电路原理框图。
具体实施方式
如图1、2和3所示，改善氧化膜质量的超声ELID复合平面磨削系统，包括设置在机床工作台 10上的机床主轴系统1、设置在机床主轴1-1两侧的用于实现在线电解修整砂轮的在线修整装置4、用于保证砂轮表面形状精度的砂轮整形装置9和用于实现被加工工件椭圆振动的二维超声振动系统3；还包括有设置在机床主轴1-1上的超声纵扭复合振动系统2和设置在线修整装置4末端的间隙调整装置5和用于实时控制氧化膜状态的系统闭环控制系统6；超声纵扭复合振动系统2包括纵向超声振动换能器 1-7，纵扭超声振动变幅器1-8及铸铁结合剂金刚石砂轮1-9，其中纵扭超声振动变幅器小端圆周均布斜槽1-10，斜槽与主轴轴线夹角为 45 °。当纵波垂直入射到圆钢中后，如传播到有斜槽的空心圆柱传振杆部分，由于斜槽1-10的存在，导致超声波传播过程中介质发生变化，因此超声纵波会在斜槽1-10位置发生波型转换，在斜槽1-10位置上产生反射纵波，反射横波以及折射纵波。因纵波在空气中传播发生较大的能量损耗，当纵波倾斜入射斜槽时，可只考虑反射纵波和反射横波的影响，而忽略二次折射。反射横波与杆的轴线成一定角度，可在杆的轴向与径向上分解出两个分量，横波在径向上的分量可使传振杆实现扭转振动，纵波和横波在轴向的分量使杆作纵向振动。同时斜槽1-10间的宽度也远小于超声波纵波波长，所以反射纵波与反射横波在斜槽1-10间产生迭加，迭加后的复合波传播至匹配工具头端产生纵扭复合振动，从而实现铸铁结合剂金刚石砂轮1-9的纵扭复合振动。
机床主轴系统1包括套设在机床主轴1-1下端外面的上感应盘支撑架1-3，机床主轴1-1的下端部同轴连接有刀柄1-2，刀柄1-2下端与工具头固定架 1-4 连接；
工具头固定架1-4外圆周套设有通过紧固螺钉连接的上感应盘1-5 和下感应盘1-6，上感应盘1-5通过正负极导线与多通道超声波发生器8相连，上感应盘1-5外圆周设有通过紧固螺钉连接的上感应盘支撑架1-3，上感应盘支撑架1-3通过紧固螺钉与在线修整装置4连接；
下感应盘1-6下依次设置有纵向振动超声振动换能器1-7，纵扭超声振动变幅器1-8及铸铁结合剂金刚石砂轮1-9；所述的纵向振动超声振动换能器1-7与纵扭超声振动变幅器1-8通过双头螺柱上下连接，纵扭超声振动变幅器1-8下端螺纹连接铸铁结合剂金刚石砂轮1-9。
所述二维超声振动系统3包括固定支板2-1，固定支板2-1上设置有直角载物板2-5，直角载物板 2-5 两个端部分别固定设置有一个纵向超声振动变幅器 2-7 ，一个变幅器保持架 2-3 ，一个纵向超声振动换能器 2-4 ；变幅器保持架2-3通过紧固螺钉垂直固定于固定支板2-1，纵向超声振动变幅器2-7通过法兰盘及螺钉固定在变幅器保持架2-3上，直角载物板2-5与纵向超声振动变幅器2-7以双头螺柱2-2同轴向连接，纵向超声振动变幅器2-7与纵向超声振动换能器2-4同样通过双头螺柱相连接；所述直角载物板2-5的直角处设计为圆角，且将胶粘被加工陶瓷片 2-6的平面铣出阶梯台2-8，目的在于保持被加工陶瓷片2-6 被加工面与直角载物板2-5几何中心线保持垂直，且避免在大切深情况下铸铁结合剂金刚石砂轮 1-9破坏直角载物板。
如图5所示，所述的间隙调整装置5包括通过绝缘板水平固定设置在阴极支撑架4-4末端绝缘板4-5两侧的高分辨率混合式步进电机5-1和滑动摩擦矩形导轨5-2, 高分辨率混合式步进电机5-1放置在远离铸铁结合剂金刚石砂轮 1-9的一侧，滑动摩擦矩形导轨5-2放置在靠近铸铁结合剂金刚石砂轮 1-9一侧；滑动摩擦矩形导轨上5-2滑动设置有塑胶滑台5-3，所述的塑胶滑台5-3上固定设置有螺母5-6，高分辨率混合式步进电机5-1的输出轴固定设置有与螺母5-6滑动配合的滚珠丝杠5-7，激光位移传感器位于铜电极5-4几何中心且位置正对加工中心主轴1-1中心线处设置的孔洞中；
所述塑胶滑台5-3末端通过紧固螺钉固定塑胶半套5-5和铜电极5-4，保证铜电极5-4母线与铸铁结合剂金刚石砂轮 1-9轴线的平行度，所述的铜电极5-4是几何形状为三分之一环形截面的柱体。所述的铜电极5-4几何中心位置正对加工中心主轴中心线处且设置有孔洞，孔洞用于放置激光位移传感器和可视传感器；
如图6所示，所述砂轮整形装置9包括底座3-1，防水电机3-2，放电铜轮3-3，变频调速箱11；底座3-1 通过紧固螺钉 3-4固定于工作台10上，防水电机3-2固定于底座3-1上，放电铜轮3-3安装于防水电机3-2的动力输出轴3-5上，ELID专用脉冲电源7通过变频调速箱11连接防水电机3-2 ，进而可以实现放电铜轮3-3的速度在0-2800rpm(额定转速)无级变化。
如图 4 所示，所述在线修整装置4包括用销钉连接的固定套筒4-2和支承轴4-3，固定套筒4-2顶部连接固定式不锈钢直角弯头4-1，可以将在线修整装置 4通过紧固螺钉固定在上感应盘1-3支撑架上，且保证固定套筒4-2及支承轴4-3垂直度。阳极固定板4-6 材质为绝缘的胶木板，阳极固定板4-6一端通过两个设置有内螺纹的绝缘夹板4-7固定在支承轴上4-3，可以灵活调整阳极固定板4-6竖直及水平距离，且保证阳极碳刷4-8绝缘性。
阳极固定板4-6另一端设有与ELID专用脉冲电源7正极连接的阳极碳刷4-8，在进行在线修整时，阳极碳刷4-8与机床主轴1-1上的导电体压接，使铸铁结合剂金刚石砂轮 1-9带正电；支承轴4-3末端通过可动卡套螺纹连接阴极支撑架4-4，可以灵活调整绝缘板 4-5竖直方向的位置，阴极支撑架4-4通过紧固螺钉连接绝缘板4-5且保证绝缘板4-5垂直度，绝缘板4-5用于固定间隙调整装置5。
所述的闭环控制系统6包括分别用于搜集动态磨削过程中回路中电流和电压实时变化值的霍尔电流传感器、霍尔电压传感器，所述的动态磨削过程中回路中电流和电压实时变化值即表征氧化膜厚度及致密性。
用于测量动态磨削过程中三向磨削力实时变化的Kislter 三向测力仪 12，所述的Kislter三向测力仪12固定安装在二维超声振动系统3的固定支板2-1下方，其测得的信号通过电荷放大器发送到数据采集卡，再由数据采集卡发送到基于PLC的模糊控制器，即可以表征氧化膜的强度大小。所述的数据采集卡可以为集成的，也可以为硬件实体的，进而可以表征氧化膜的强度大小。
用于测量铸铁结合剂金刚石砂轮 1-9与铜电极5-4间距的激光位移传感器，用于采集氧化膜表面实时形貌特征的可视传感器，A/D模数转化器，基于PLC的模糊控制器和D/A数模转化器；所述的霍尔电流传感器、霍尔电压传感器，Kislter三向测力仪12，激光位移传感器和可视传感器的输出端通过A/D模数转化器与基于PLC的模糊控制器输入端连接，所述的基于PLC的模糊控制器的输出端通过D/A数模转化器连接高分辨率混合式步进电机的控制输入端。
通过A/D模数转化器将位移信号、图像信号、电流信号、电压信号及力信号转化数字信号。将数字信号导入基于PLC的模糊控制器，依次经过模糊化处理，模糊推理决策，去模糊化处理，最后通过D/A数模转化器将数字信号转化为位移信号输出到执行机构，控制执行机构即所述的高分辨率混合式步进电机5-1，实现极间间隙调控。所述调控后极间间隙距离与实时状态下的其余信号一起作为新的输入量由位移传感器反馈到PLC的模糊控制器，从而实现实时在线闭环控制。
所述的加工中心主轴1-1方向设有超声纵扭复合振动系统 2，即通过在圆环传振杆上加开沿轴向均布斜槽1-10的方法来实现纵 - 扭复合振动实施于铸铁结合剂金刚石砂轮 1-9，其中，斜槽 1-10 与主轴轴线夹角为 45 °。
工作台方向设有二维超声振动系统 3，振动实施于被加工陶瓷片 2-6。
所述二维超声振动系统 3包括固定支板2-1，固定支板2-1上设置有直角载物板2-5，直角载物板 2-5 两个端部分别固定设置有一个纵向超声振动变幅器 2-7 ，一个变幅器保持架 2-3 ，一个纵向超声振动换能器 2-4 ；变幅器保持架2-3通过紧固螺钉垂直固定于固定支板2-1，纵向超声振动变幅器2-7通过法兰盘及螺钉固定在变幅器保持架2-3上，直角载物板2-5与纵向超声振动变幅器2-7以双头螺柱2-2同轴向连接，纵向超声振动变幅器2-7与纵向超声振动换能器2-4通过双头螺柱相连接。
所述纵扭超声振动ELID复合预修锐阶段，超声纵扭复合振动系统2与在线修整装置4同时工作，与传统ELID预修锐相比较，复合电解预修锐中铸铁结合剂金刚石砂轮 1-9不断做纵向及扭转振动，提高了电解传质效率，砂轮表面离子浓度得到显著改善，因而氧化膜分布更均匀、致密，为下一步多维超声振动ELID复合平面动态磨削阶段做好准备。
高分辨率混合式步进电机 5-1通过螺钉固定于竖直绝缘板 4-5上，其转轴平行于机床工作台 10，作为滚珠丝杠 5-7的螺杆。滑动摩擦矩形导轨5-2固定于竖直绝缘板 4-5上，平行于机床工作台 10，其中心线与高分辨率混合式步进电机 5-1中心线重合。滚珠丝杠5-7的螺母5-6固定于塑胶滑台5-3上，塑胶滑台 5-3末端固定铜电极5-4，为三分之一环形截面的柱体。
本实用新型在ELID专用脉冲电源7正极通过固定电刷与铸铁结合剂金刚石砂轮 1-9相连接，ELID专用脉冲电源7负极连接铜电极5-4，进行纵扭超声振动ELID复合预修锐时，开启多通道超声波发生器8的纵扭复合振动系统1通道、ELID专用脉冲电源7及磨削液开关。
进行多维超声振动ELID复合动态磨削时，开启多通道超声波发生器8三个通道、ELID专用脉冲电源7及磨削液开关。ELID专用脉冲电源7正极接铸铁结合剂金刚石砂轮 1-9，负极接铜电极5-4，通磨削液，形成电流回路。据电化学原理，铸铁结合剂金刚石砂轮 1-9外层金属结合剂作为阳极被电解，使铸铁结合剂金刚石砂轮 1-9中的磨粒露出表面，形成一定的磨粒高度和容屑空间。同时，在铸铁结合剂金刚石砂轮 1-9表面逐渐形成一层氧化膜，阻止电解过程的继续进行，使铸铁结合剂金刚石砂轮 1-9不会过快损耗。
当铸铁结合剂金刚石砂轮 1-9表面的磨粒磨损后，氧化膜被工件材料刮擦去除，电解继续进行，可对铸铁结合剂金刚石砂轮 1-9表面进一步修整，氧化膜在多维超声振动ELID复合动态磨削阶段中呈动态变化。进行多维超声振动停电光磨时，开启多通道超声波发生器8三个通道，利用铸铁结合剂金刚石砂轮 1-9表面氧化膜的抛光性能对被加工陶瓷片2-6进行抛光，提高被加工陶瓷片2-6的表面质量。
以上实施例仅用以说明而非限制本实用新型的技术方案,尽管参照上述实施例对本实用新型进行了详细说明,本领域的普通技术人员应当理解依然可以对本实用新型进行修改或者等同替换,而不脱离本实用新型的精神和范围的任何修改或局部替换,其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。
Claims (3)
1.改善氧化膜质量的超声ELID复合平面磨削系统，包括设置在机床工作台（10）上的机床主轴系统（1）、设置在机床主轴（1-1）两侧的用于实现在线电解修整砂轮的在线修整装置（4）、用于保证砂轮表面形状精度的砂轮整形装置（9）和用于实现被加工工件椭圆振动的二维超声振动系统（3）；其特征在于：还包括有设置在机床主轴（1-1）上的超声纵扭复合振动系统（3）和设置在线修整装置（4）末端的间隙调整装置（5）和用于实时控制氧化膜状态的系统闭环控制系统（6）；超声纵扭复合振动系统（2）包括纵向振动超声振动换能器（1-7），纵扭超声振动变幅器（1-8）及铸铁结合剂金刚石砂轮（1-9），所述纵扭超声振动变幅器小端设置有斜槽（1-10），且斜槽（1-10）沿圆周均匀分布，斜槽与主轴轴线夹角为 45 °；
所述机床主轴系统（1）包括套设在机床主轴(1-1)下端外面的工具头固定架（1-4），机床主轴(1-1)的下端部同轴连接有刀柄（1-2），刀柄（1-2）下端与工具头固定架（ 1-4 ）连接；
工具头固定架（1-4）外圆周套设有通过紧固螺钉连接的上感应盘（1-5）和下感应盘（1-6），上感应盘（1-5）通过正负极导线与多通道超声波发生器（8）相连，上感应盘（1-5）外圆周设有通过紧固螺钉连接的上感应盘支撑架（1-3），上感应盘支撑架（1-3）通过紧固螺钉与在线修整装置（4）连接；
下感应盘（1-6）下依次设置有纵向振动超声振动换能器（1-7），纵扭超声振动变幅器（1-8）及铸铁结合剂金刚石砂轮（1-9）；所述的纵向振动超声振动换能器（1-7）与纵扭超声振动变幅器（1-8）通过双头螺柱连接上下连接，纵扭超声振动变幅器（1-8）下端螺纹连接铸铁结合剂金刚石砂轮（1-9）；
所述二维超声振动系统（3）包括固定支板(2-1)，固定支板(2-1)上设置有直角载物板(2-5)，直角载物板 (2-5) 两个端部分别固定设置有一个纵向超声振动变幅器 (2-7) ，一个变幅器保持架 (2-3) ，一个纵向超声振动换能器 (2-4) ；变幅器保持架(2-3)通过紧固螺钉垂直固定于固定支板(2-1)，纵向超声振动变幅器(2-7)通过法兰盘及螺钉固定在变幅器保持架(2-3)上，直角载物板(2-5)与纵向超声振动变幅器(2-7)以双头螺柱同轴向连接，纵向超声振动变幅器(2-7)与纵向超声振动换能器(2-4)通过双头螺柱相连接；
所述的间隙调整装置(5)包括通过紧固螺钉水平固定设置在阴极支撑架(4-4)末端绝缘板（4-5）两侧的高分辨率混合式步进电机（5-1）和滑动摩擦矩形导轨（5-2）, 高分辨率混合式步进电机（5-1）放置在远离铸铁结合剂金刚石砂轮（ 1-9 ）的一侧，滑动摩擦矩形导轨（5-2）放置在靠近铸铁结合剂金刚石砂轮（ 1-9 ）一侧；滑动摩擦矩形导轨（5-2）上滑动设置有塑胶滑台（5-3），所述的塑胶滑台（5-3）上固定设置有螺母（5-6），高分辨率混合式步进电机（5-1）的输出轴固定设置有与螺母（5-6）滑动配合的滚珠丝杠（5-7），激光位移传感器位于铜电极（5-4）几何中心且位置正对加工中心主轴（1-1）中心线处设置的孔洞中；
所述塑胶滑台（5-3）末端通过紧固螺钉固定塑胶半套（5-5）和铜电极（5-4），保证铜电极（5-4）母线与铸铁结合剂金刚石砂轮（ 1-9 ）轴线的平行度，所述的铜电极（5-4）几何形状为三分之一环形截面的柱体；
所述的铜电极（5-4）几何中心且位置正对加工中心主轴（1-1）中心线处设置有孔洞，孔洞用于放置激光位移传感器和可视传感器；
所述的闭环控制系统（6）包括分别用于搜集动态磨削过程中回路中电流和电压实时变化值的霍尔电流传感器、霍尔电压传感器，用于测量动态磨削过程中三向磨削力实时变化的Kislter三向测力仪（12），用于测量铸铁结合剂金刚石砂轮（ 1-9 ）与铜电极（5-4）间距的激光位移传感器，用于采集氧化膜表面实时形貌特征的可视传感器，A/D模数转化器，基于PLC的模糊控制器和D/A数模转化器；所述的霍尔电流传感器、霍尔电压传感器，Kislter三向测力仪（12），激光位移传感器和可视传感器的输出端通过A/D模数转化器与基于PLC的模糊控制器输入端连接，所述的基于PLC的模糊控制器的输出端通过D/A数模转化器连接高分辨率混合式步进电机的控制输入端。
2.根据权利要求1所述的改善氧化膜质量的超声ELID复合平面磨削系统，其特征在于：所述在线修整装置（4）包括用销钉连接的固定套筒（4-2）和支承轴（4-3），固定套筒（4-2）顶部连接固定式不锈钢直角弯头（4-1），阳极固定板（4-6）一端通过两个设置有内螺纹的绝缘夹（4-7）板固定在支承轴（4-3）上，阳极固定板（4-6）另一端设有与ELID专用脉冲电源（7）正极连接的阳极碳刷（4-8），在进行在线修整时阳极碳刷（4-8）与机床主轴（1-1）上的导电体压接，使铸铁结合剂金刚石砂轮（ 1-9 ）带正电；支承轴（4-3）末端通过可动卡套螺纹连接阴极支撑架（4-4）。
3.根据权利要求2所述的改善氧化膜质量的超声ELID复合平面磨削系统，其特征在于：所述直角载物板（2-5）的直角处设计为圆角，且将胶粘被加工陶瓷片（2-6）的平面铣出有阶梯台（2-8）。
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