CN205404745U - 一种测试装置及使用该测试装置的测试仪 - Google Patents
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Abstract
一种测试装置及使用该测试装置的测试仪，其中所述测试装置包括有用于实现接收和发射微波信息的探头及位于探头下方的用于承载测试样品的载台，所述测试装置的探头及载台中的至少一个的外围设置有微波吸收组件，所述微波吸收组件用于吸收微波信息。通过增设开口大小可调的微波吸收组件及在载台外围增设相对载台可上下移动的微波吸收组件，以实现对反射微波信息的吸收，从而减少探头对反射微波信息的接收，能够有效减少微波在测量样品表面的干涉现象，提高测试准确性。在本实用新型中，所述微波吸收组件和微波吸收组件均优选为环形封闭状已获得更好的吸收效果。当然在其他实施例中亦可在侧面设开口，如此吸收效果会有所下降。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种测试仪器设备领域，尤其涉及一种用于多晶硅少子寿命测试的装置及使用该测试装置的测试仪。
背景技术
随着光伏产业的不断发展，太阳能电池技术也随之诞生并且不断进步，其中多晶硅材料在光伏产业中扮演着重要的角色，例如多晶硅在太阳能电池技术中的运用。而少子寿命是多晶硅，半导体材料和器件的重要参数，例如对太阳能电池来说，少子寿命的长短直接影响了光电转换效率的高低。因此在实际工业中，对少子寿命的测试显得尤为重要和必要，是以用于多晶硅少子寿命测试的装置和设备也随之诞生和发展。
现有技术中，例如用于测量多晶硅少子寿命的WT-2000PCR设备中间，用于承载测试样品的玻璃基板的边缘与微波探头装置(接收和发射微波信息的探头)发出的微波信息产生相互作用，致使测量样品表面产生干涉条纹，从而严重影响测试结果的准确性。
因此，有必要提供一种改进的多晶硅少子寿命测试的装置以解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型针对现有技术存在的问题，提供了一种新型的测试装置及使用该测试装置的测试仪，能够有效减少微波在测量样品表面的干涉现象，提高测试准确性。
为实现上述目的，本实用新型提供了一种测试装置，包括有用于实现接收和发射微波信息的探头及位于探头下方的用于承载测试样品的载台，所述测试装置的探头及载台中的至少一个的外围设置有微波吸收组件，所述微波吸收组件用于吸收微波信息。
作为本实用新型的进一步改进，所述探头周围设有微波吸收组件，且所述微波吸收组件呈中空开口的四棱锥状或者中空开口的圆锥状。
作为本实用新型的进一步改进，所述探头周围的微波吸收组件的侧面与水平面之间形成有夹角α，所述夹角α大小可调节。
作为本实用新型的进一步改进，所述载台四周均围设有微波吸收组件，所述载台周围的微波吸收组件高于载台所在平面。
作为本实用新型的进一步改进，所述载台周围的微波吸收组件相对于载台可上下移动。
作为本实用新型的进一步改进，所述探头发射横截面积不大于二十五平方毫米。
本发明还公开了一种测试仪，该测试仪具有一种测试装置，所述测试装置包括有用于实现接收和发射微波信息的探头及位于探头下方的用于承载测试样品的载台，所述测试装置的探头及载台中的至少一个的外围设置有微波吸收组件，所述微波吸收组件可相对于与该微波吸收组件相配合的探头或载台移动，所述微波吸收组件用于吸收微波信息。
作为本实用新型的进一步改进，所述探头周围设有微波吸收组件，且所述微波吸收组件呈中空开口的四棱锥状或者中空开口的圆锥状，所述微波吸收组件形成有开口，所述开口大小可调节。
作为本实用新型的进一步改进，所述载台四周围设有微波吸收组件，所述载台周围的微波吸收组件高于载台所在平面，所述载台周围的微波吸收组件相对于载台可上下移动。
作为本实用新型的进一步改进，所述微波吸收组件均为环形封闭状结构。
本实用新型的有益效果是：通过增设开口大小可调的微波吸收组件及在载台外围增设相对载台可上下移动的微波吸收组件，以实现对反射微波信息的吸收，从而减少探头对反射微波信息的接收，能够有效减少微波在测量样品表面的干涉现象，提高测试准确性。在本实用新型中，所述微波吸收组件和微波吸收组件均优选为环形封闭状已获得更好的吸收效果。当然在其他实施例中亦可在侧面设开口，如此吸收效果会有所下降。
附图说明
图1为本实用新型测试装置的截面结构示意图。
图2本实用新型测试装置中的微波探头装置的仰视图。
图3为实用新型测试装置中的载台承载了测试样品后的截面示意图。
具体实施方式
以下将结合附图所示的各实施方式对本发明进行详细描述。但这些实施方式并不限制本发明。
请参考图1至图3所示，为本实用新型测试装置100的结构示意图，请参图1所示，所述测试装置100主要包括有微波探头装置1和载台2组成。所述微波探头装置1用于发射和接收微波信息，所述载台2用于承载测试样品3，通过微波探头装置1发射和接收微波信息，以实现对测试样品3的测试动作。本实用新型所公开的测试装置实际可以为一种多晶硅少子寿命测试装置，本实用新型的测试装置可以运用于一种测试仪上，例如多晶硅少子寿命测试仪等。
测量少数载流子(简称少子)寿命的方法有许多种，分别属于瞬态法和稳态法两大类。瞬态法是利用脉冲电或闪光在半导体中激发出非平衡载流子，改变半导体的体电阻，通过测量体电阻或两端电压的变化规律直接获得半导体材料的寿命。这类方法包括光电导衰减法和双脉冲法。稳态法是利用稳定的光照，使半导体中非平衡少子的分布达到稳定的状态，由测量半导体样品处在稳定的非平衡状态时的某些物理量来求得载流子的寿命。例如：扩散长度法、稳态光电导法等。
光电导衰减法有直流光电导衰减法、高频光电导衰减法和微波光电导衰减法，其差别主要在于是用直流、高频电流还是用微波来提供检测样品中非平衡载流子的衰减过程的手段。直流法是标准方法，高频法在Si单晶质量检验中使用十分方便，而微波法则可以用于器件工艺线上测试晶片的工艺质量。而本实用新型所公开的测试装置100则可使用微波法测量。具体微波法测量的原理在此不再赘述。
请参考图1和图2所示，实用新型测试装置100中的微波探头装置1包括有实现接收和发射微波信息的探头11及位于探头11周围的微波吸收组件12。本实用新型中所述探头11的尺寸较小，其发射横截面积不大于5mm*5mm，即不大于二十五平方毫米，当然对探头11的发射横截面的形状不做限定。所述探头11的尺寸设计，使得能接收的微波反射信号的范围较少，可有效的减少反射微波信息的接收，降低微波的干涉效应。
请参考图1和图2所示，所述微波吸收组件12由可吸收微波信息的材料制成，本实用新型中，所述微波吸收组件12形状大致呈中空开口的四棱锥形状。当然在其他实施例中，所述微波吸收组件12形状可以是中空开口的圆锥形状(即喇叭状)。所述微波吸收组件12形成有开口120。本实用新型中，所述微波吸收组件12的侧面与水平面(即平行于四棱锥状微波吸收组件12的底面所在面)之间形成夹角α(参图1所示)。根据不同厚度基板(即承载测试样品3的底片)的测量距离，通过调节夹角α的大小，实现对微波吸收组件12的开口120大小的调节，从而寻找微波吸收组件12最合适的最佳的角度，以实现微波吸收组件12最佳的吸收效果。当所述微波吸收组件12为中空开口的圆锥形状(即喇叭状)时，所述夹角α为所述圆锥状微波吸收组件12上经过所述圆锥状微波吸收组件12的中心线的任意一截面的斜边与水平面(即平行于四棱锥状微波吸收组件12的底面所在面)之间的夹角。
请参考图1和图3所示，所述载台2四周围设有微波吸收组件21，所述微波吸收组件21高于载台2所在平面，已在测试时具有更好的吸收效果。所述微波吸收组件21可相对于载台2上下移动(参考图1结合图3)以方便测试样品3的取放。本实用新型中，俯视所述载台2呈正方形。当然在其他实施例中，俯视所述载台2亦可成长方形、圆形、椭圆形等等，其载台2的形状不应作为本实用新型的限定。
本实用新型中，通过增设开口大小可调的微波吸收组件12及在载台2外围增设相对载台2可上下移动的微波吸收组件21，以实现对反射微波信息的吸收，从而减少探头11对反射微波信息的接收，能够有效减少微波在测量样品3表面的干涉现象，提高测试准确性。在本实用新型中，所述微波吸收组件12和微波吸收组件21均优选为环形封闭状已获得更好的吸收效果。当然在其他实施例中亦可在侧面设开口，如此吸收效果会有所下降。
应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施方式中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本发明的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本发明的保护范围，凡未脱离本发明技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种测试装置，包括有用于实现接收和发射微波信息的探头及位于探头下方的用于承载测试样品的载台，其特征在于：所述测试装置的探头及载台中的至少一个的外围设置有微波吸收组件，所述微波吸收组件用于吸收微波信息。
2.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于：所述探头周围设有微波吸收组件，且所述微波吸收组件呈中空开口的四棱锥状或者中空开口的圆锥状。
3.如权利要求2所述的测试装置，其特征在于：所述探头周围的微波吸收组件的侧面与水平面之间形成有夹角α，所述夹角α大小可调节。
4.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于：所述载台四周均围设有微波吸收组件，所述载台周围的微波吸收组件高于载台所在平面。
5.如权利要求4所述的测试装置，其特征在于：所述载台周围的微波吸收组件相对于载台可上下移动。
6.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于：所述探头发射横截面积不大于二十五平方毫米。
7.一种测试仪，该测试仪具有一种测试装置，所述测试装置包括有用于实现接收和发射微波信息的探头及位于探头下方的用于承载测试样品的载台，其特征在于：所述测试装置的探头及载台中的至少一个的外围设置有微波吸收组件，所述微波吸收组件可相对于与该微波吸收组件相配合的探头或载台移动，所述微波吸收组件用于吸收微波信息。
8.如权利要求7所述的测试仪，其特征在于：所述探头周围设有微波吸收组件，且所述微波吸收组件呈中空开口的四棱锥状或者中空开口的圆锥状，所述微波吸收组件形成有开口，所述开口大小可调节。
9.如权利要求8所述的测试仪，其特征在于：所述载台四周围设有微波吸收组件，所述载台周围的微波吸收组件高于载台所在平面，所述载台周围的微波吸收组件相对于载台可上下移动。
10.如权利要求7或8或9所述的测试仪，其特征在于：所述微波吸收组件均为环形封闭状结构。
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| CN201620150757.3U CN205404745U (zh) | 2016-02-29 | 2016-02-29 | 一种测试装置及使用该测试装置的测试仪 |
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| CN111398774A (zh) * | 2020-03-18 | 2020-07-10 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 硅片少子寿命的测试方法及装置 |
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