CN205371073U - 一种用于分子泵的涡轮静叶片组 - Google Patents

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CN205371073U CN201520963283.XU CN201520963283U CN205371073U CN 205371073 U CN205371073 U CN 205371073U CN 201520963283 U CN201520963283 U CN 201520963283U CN 205371073 U CN205371073 U CN 205371073U
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郑荣禧
王秀娟
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Zhongke Jiuwei Technology Co.,Ltd.
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Sichuan Jiutian Vacuum Technology Co Ltd
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Abstract

本实用新型提供了一种用于分子泵的涡轮静叶片组，包括：上下分布设置的多层涡轮静叶片，每层涡轮静叶片包括中心圆盘和多个叶齿，中心圆盘的横截面为圆环形，多个叶齿均匀分布在中心圆盘的圆周上，叶齿靠近中心圆盘的一端为齿根，叶齿远离中心圆盘的一端为齿端，每个叶齿具有相同的厚度，每个叶齿与中心圆盘之间具有倾斜角。本实用新型由于叶片是旋转截面，叶片在相同的长度上及空间里，表面积大大增大，分子泵工作时分子碰撞的面积增大，增长了气体分子的运动路径，分子线速度增大，大大提高抽气速率，从而有效的解决分子泵抽速问题，使得分子泵效率更高，更节能。

Description

一种用于分子泵的涡轮静叶片组
技术领域
本实用新型属于流体机械技术领域，尤其是应用于真空泵中，具体来说涉及一种用于分子泵的涡轮静叶片组。
背景技术
在做机械运动的各类真空泵中，分子泵是一种结构缜密，工艺要求高的泵，其原理是靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在钢体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。
涡轮分子泵是由一系列动静相间的叶轮互相配合组成。每个叶轮的叶片与叶轮水平面成一定角度，动片和静片倾角方向相反。主轴带动叶轮在静止的定叶片间高速旋转，高速旋转的叶片将动量传递给气体分子并使其产生定向运动，实现抽气目的。
泵叶片的几何形状与抽速和强度有很大的关系。目前，就分子泵叶片的种类基本分为扭制、铣制及冲压等方式。与铣制叶片相比，在相同直径、角度和速度的条件下，扭制叶片缺少几何变量，而且扇形叶面根部的强度较差。整体铣制叶片受加工刀具的限制也很难选择最佳的几何形状。另一种矩形叶齿的铣制叶片，虽然加工简单但叶齿不易加长，否则因叶齿无法承受高速运转时产生的离心力，而导致其断裂。冲压件与采用其他方式加工的工件相比，具有薄、匀、轻、强的特点，因此不适用于作为高速旋转的动叶片。另外，冲压加工所使用的模具一般具有专用性，且模具制造的精度高，技术要求高，是技术密集型产品。所以，只有在冲压件生产批量较大的情况下，冲压加工的优点才能充分体现，从而获得较好的经济效益的。
实用新型内容
为了解决上述问题，本实用新型提供了一种用于分子泵的涡轮静叶片组，包括：上下分布设置的多层涡轮静叶片，每层涡轮静叶片包括中心圆盘和多个叶齿，中心圆盘的横截面为圆环形，多个叶齿均匀分布在中心圆盘的圆周上，叶齿靠近中心圆盘的一端为齿根，叶齿远离中心圆盘的一端为齿端，每个叶齿具有相同的厚度，每个叶齿与中心圆盘之间具有倾斜角。
根据上述一种用于分子泵的涡轮静叶片组，其中，叶齿沿从齿根至齿端方向上的每个位置与中心圆盘之间具有不同的倾斜角。
根据上述一种用于分子泵的涡轮静叶片组，其中，叶齿靠近齿根的部分与中心圆盘之间的倾斜角大于其靠近齿端的部分与中心圆盘之间的倾斜角。
根据上述一种用于分子泵的涡轮静叶片组，其中，叶齿靠近齿根的部分与中心圆盘之间的倾斜角为50°～60°。
根据上述一种用于分子泵的涡轮静叶片组，其中，叶齿靠近齿端的部分与中心圆盘之间的倾斜角为30°～40°。
根据上述一种用于分子泵的涡轮静叶片组，其中，每层涡轮静叶片的多个叶齿的数目自上而下逐渐增大。
有益效果
本实用新型公开了一种用于分子泵的涡轮静叶片组，由于叶片是旋转截面，叶片在相同的长度上及空间里，表面积大大增大，分子泵工作时分子碰撞的面积增大，增长了气体分子的运动路径，分子线速度增大，大大提高抽气速率，从而有效的解决分子泵抽速问题，使得分子泵效率更高，更节能。由于作为分子泵静叶片，所以变角度设计时，从远离中心的外圈小角度，渐变到靠近中心的内圈大角度。
附图说明
图1是本实用新型公开的一种用于分子泵的涡轮静叶片组的每层涡轮静叶片的平面结构示意图；
图2是本实用新型公开的一种用于分子泵的涡轮静叶片组的每层涡轮静叶片的立体结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细描述，但不作为对本实用新型的限定。
图1是本实用新型公开的一种用于分子泵的涡轮静叶片组的每层涡轮静叶片的平面结构示意图，图2是本实用新型公开的一种用于分子泵的涡轮静叶片组的每层涡轮静叶片的立体结构示意图，如图1和图2所示，本实用新型提供了一种用于分子泵的涡轮静叶片组，包括：上下分布设置的多层涡轮静叶片(图中未示出)，每层涡轮静叶片包括中心圆盘01和多个叶齿02，中心圆盘01的横截面为圆环形，多个叶齿02均匀分布在中心圆盘01的圆周上，每层涡轮静叶片的多个叶齿02的数目自上而下逐渐增大，叶齿02靠近中心圆盘01的一端为齿根，叶齿02远离中心圆盘01的一端为齿端，每个叶齿02具有相同的厚度，每个叶齿02与中心圆盘01之间具有倾斜角，叶齿02沿从齿根至齿端方向上的每个位置与中心圆盘01之间具有不同的倾斜角，其中，叶齿02靠近齿根的部分与中心圆盘01之间的倾斜角大于其靠近齿端的部分与中心圆盘01之间的倾斜角组，其中，叶齿02靠近齿根的部分与中心圆盘01之间的倾斜角为50°～60°，叶齿02靠近齿端的部分与中心圆盘01之间的倾斜角为30°～40°，叶齿02的齿长根据分子泵口径的不同而定。
以上所述，仅是本实用新型较佳的实施方式，并非对本实用新型的技术方案做任何形式上的限制。凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例做任何简单修改，形式变化和修饰，均落入本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种用于分子泵的涡轮静叶片组，其特征在于：所述涡轮静叶片组包括：上下分布设置的多层涡轮静叶片，每层涡轮静叶片包括中心圆盘和多个叶齿，所述中心圆盘的横截面为圆环形，所述多个叶齿均匀分布在所述中心圆盘的圆周上，所述叶齿靠近所述中心圆盘的一端为齿根，所述叶齿远离所述中心圆盘的一端为齿端，每个叶齿具有相同的厚度，每个叶齿与所述中心圆盘之间具有倾斜角。
2.根据权利要求1所述的一种用于分子泵的涡轮静叶片组，其特征在于：所述叶齿沿从齿根至齿端方向上的每个位置与中心圆盘之间具有不同的倾斜角。
3.根据权利要求2所述的一种用于分子泵的涡轮静叶片组，其特征在于：所述叶齿靠近齿根的部分与中心圆盘之间的倾斜角大于其靠近齿端的部分与中心圆盘之间的倾斜角。
4.根据权利要求3所述的一种用于分子泵的涡轮静叶片组，其特征在于：所述叶齿靠近齿根的部分与中心圆盘之间的倾斜角为50°～60°。
5.根据权利要求3所述的一种用于分子泵的涡轮静叶片组，其特征在于：所述叶齿靠近齿端的部分与中心圆盘之间的倾斜角为30°～40°。
6.根据权利要求1所述的一种用于分子泵的涡轮静叶片组，其特征在于：所述每层涡轮静叶片的多个叶齿的数目自上而下逐渐增大。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106401991A (zh) * 2016-08-31 2017-02-15 四川九天真空科技股份有限公司 一种分子泵转子及其制造方法

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Patentee before: SICHUAN JIUTIAN VACUUM TECHNOLOGY CO., LTD.

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Granted publication date: 20160706

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Pledgor: Chuanbei Vacuum Technology (Beijing) Co., Ltd.|Sichuan nine days Vacuum Technology Co., Ltd.

Registration number: 2019510000085

PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right
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Address after: 637 200 Duofu Industrial Park 888, Xichong County, Nanchong City, Sichuan Province

Patentee after: SICHUAN JIUTIAN VACUUM TECHNOLOGY Co.,Ltd.

Address before: 637200 Nanchong city Sichuan province Xicong duo Fu Industrial Park

Patentee before: SICHUAN JIUTIAN VACUUM TECHNOLOGY Co.,Ltd.

CP03 Change of name, title or address
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Date of cancellation: 20210324

Granted publication date: 20160706

Pledgee: Sichuan Xichong rural commercial bank Limited by Share Ltd.

Pledgor: SICHUAN JIUTIAN VACUUM TECHNOLOGY Co.,Ltd.

Registration number: 2019510000085

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Patentee after: Zhongke Jiuwei Technology Co.,Ltd.

Address before: No. 888, Duofu Industrial Park, Xichong County, Nanchong City, Sichuan Province 637200

Patentee before: SICHUAN JIUTIAN VACUUM TECHNOLOGY Co.,Ltd.

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