CN205347755U - 开纤装置 - Google Patents

Abstract

一种开纤无机纤维或有机纤维织成的织物的开纤装置，包括：运送部，用于运送织物并且使其浸入处理液中；多个振子，沿着运送部运送织物的方向并列地配置，用于向处于浸入处理液中的状态的织物施加超声波振动来进行开纤织物；和控制部，使所述多个振子的输出强度从所述方向的上游侧向下游侧变大。

Description

开纤装置

[技术领域]

本实用新型涉及开纤装置。

[背景技术]

作为印刷线路板用的层叠板，为了提高主要使用的玻璃纤维织物的树脂浸渍性和表面光滑性，对玻璃纤维织物进行根据超声波的开纤处理的开纤装置是已知的(例如，参见专利文献1：特开2011-241515号公报)。

[实用新型内容]

实用新型要解决的问题

在上述开纤装置中，施加至玻璃纤维织物的超声波振动的输出强度，不局限于玻璃纤维织物的开纤程度而保持恒定，因此向玻璃纤维织物施加压力，产生皱纹且形成开纤不均匀。而且，不能有效地最大限度地利用施加给玻璃纤维织物的超声波的冲击，所以开纤效率低下，尤其是经线的开纤不充分。

解决问题的手段

本实用新型的一个实施方式提供了一种开纤无机纤维或有机纤维织成的织物的开纤装置，包括：运送部，用于运送织物并且使其浸入处理液中；多个振子，沿着运送部运送织物的方向并列地配置，并且向处于浸入处理液中的状态的织物施加超声波振动来进行开纤织物；和控制部，使所述多个振子的输出强度从所述方向的上游侧向下游侧变大。

在本实用新型的一个实施方式中提供了一种开纤无机纤维或有机纤维织成的织物的开纤装置，包括：运送部，用于运送织物并且使其浸入处理液中；以及处理部，用于向浸入处理液的状态的织物施加超声波振动来开纤织物，运送部运送织物，以便使织物通过多个振子产生的超声波振动中在对应的振子表面和处理液表面中产生的驻波的波腹。

上述的实用新型内容并未列出本实用新型的全部特征。这些特征组的子组合也能形成新的实用新型。

附图说明

图1是使织物10开纤的开纤装置100的示意图。

图2是说明开纤前的织物10的说明图。

图3是开纤前的织物10的截面示意图。

图4是说明开纤前的织物10的说明图。

图5是开纤前的织物10的截面示意图。

图6是说明处于浸入处理液中的状态的织物10通过的位置的局部放大示意图。

图7是说明多个振子单元152等的排列的说明图。

图8是使织物10开纤的开纤装置200的示意图。

图9是示出织物的单位质量和织物的每单位质量的厚度的关系的图表。

符号说明：

10织物、12经线、14纬线、16单丝、21、22处理液、25液面、30驻波、32行波、34发射波、100开纤装置、101预处理部、102主处理部、110预处理部、120主处理槽、122底部、124载置部、126侧部、130供给部、142排出部、144排出口、151、152、153、154、155振子单元、160控制部、170运送部、171放卷部、172收卷部、181、182、183、184、185、186、187、188定位辊、191、192、193、194、195、196按压杆、200开纤装置、220主处理槽、250振子单元、280定位辊、290按压杆

具体实施方式

以下，通过实用新型的实施方式对本实用新型进行説明。以下的实施方式并不限定本实用新型权利要求范围。此外,实施方式中所述特征的组合并不都是实用新型的解决手段所必须的。

图1是使无机纤维或有机纤维织成的织物10开纤的开纤装置100的示意图。开纤装置100包括：预处理部101，进行使处理液21浸渗到织物10的预处理；主处理部102，在预处理之后，进行施加超声波振动以开纤织物10的主处理；和运送部170，用于运送织物10。

预处理部101包括：预处理槽110，用于容纳处理液21并且进行预处理；振子单元151，用于产生施加至织物10的超声波振动；以及多个定位辊181、182、183、184，用于确定由运送部170运送的织物10的位置。

主处理部102包括：主处理槽120，用于容纳处理液22并且进行主处理；供给部130，向主处理槽120中供给新的处理液22；排出部142，从主处理槽120排出处理液22；多个振子单元152、153、154、155，用于产生施加至织物10的超声波振动；多个定位辊杆185、186、187、188，用于确定由运送部170运送的织物10的位置；多个按压杆191、192、193、194、195、196，用于对通过运送部170在浸入处理液22中的状态下运送的织物10的浮起进行抑制。另外，预处理部101的结构也可以与包括供给部130等的主处理部102的结构相同。为了简化说明，图1中通过简单的形状示出了预处理槽110，之后的处理槽结构等的说明仅参照主处理槽120进行说明。

开纤装置100还包括控制多个振子单元151等的控制部160。另外，在图中，空心箭头表示通过运送部170运送织物10的运送方向D1。

图2是说明开纤前的织物10的说明图，图3是开纤前的织物10的截面示意图。

图2(A)是织物10的平面示意图，图2(B)是在图2(A)的织物10的经线12的延伸方向上使织物10断裂的截面示意图，图2(C)是在图2(A)的织物10的纬线14的延伸方向上使织物10断裂的截面示意图。

如图2(A)所示，开纤前的织物10的经线12和纬线14之间存在大的间隙。而且，对图2(B)和图2(C)进行比较，在开纤前，与通过运送部170使较低的张力作用于经线12相比，没有张力作用的自由状态的纬线14被稍微撑开。自由状态的纬线14由于从与经线12的接触面接收了作用在经线12上的张力，从而被撑开。

图3是对图2(C)的截面示意图进行放大的视图。如图3所示，开纤前的织物10的经线12由多根单丝16集束而成的股线构成。开纤前的股线大体上呈圆形，因此相邻的两根经线彼此离得较远，经线12和纬线14之间存在较大的高度差。另外，开纤前的织物10的经线14也由多根单丝16集束而成的股线构成。另外，对于截面示意图中的单丝16，为了清晰地示出而没有使用斜线，但是其是实心的。之后的多个图中也是这样。

织物10由无机纤维或有机纤维织成。无机纤维可以使用碳纤维、玻璃纤维等。碳纤维可以是沥青基碳纤维、PAN基碳纤维等。玻璃纤维的组成可以是无碱玻璃的E玻璃、低介电玻璃、高模量玻璃等。有机纤维可以使用芳香族聚酰胺纤维、聚芳酰胺纤维、聚酯纤维等。在本实施方式中，使用E玻璃纤维织成织物10。E玻璃纤维的织物10的单丝直径可以是4μm至7μm。织物10的每个股线的集束根数可以是40根至200根。织物10的厚度没有特别限定。通过本实施方式的开纤装置100开纤的织物10的厚度按照开纤前的织物10的厚度为约10μm至约150μm。开纤前的织物10的股线使用集束剂进行集束。集束剂的被膜形成剂的成分可以为淀粉类或PVA(PolyvinylAlcohol)类。在本实施方式中，织物10的织物组织为图2等所示的平纹，也可以为斜纹、缎纹、三轴织物等。另外，在使用碳纤维织成织物10的情况下，单丝直径可以为6μm至10μm，每股线的集束根数可以为1000根至24000根。在本实施方式中，不进行特别的限定，可以使用各种单丝直径及集束根数的织物10。

预处理槽110及主处理槽120可以为钢制、塑料制、纤维增强塑料制、不锈钢制等。沿着方向D1，预处理槽110配置并邻接在主处理槽120的上游。使用4个定位辊183、184、185、186，可以不增加预处理槽110和主处理槽120的体积，而通过加长预处理槽110和主处理槽120之间的织物10的运送路径，可以长时间地保持织物10浸在处理液21中。进一步地，通过4个定位辊183等来压触该运送路径上的织物10，可以将织物10有效地浸入处理液21中。另外，也可以在同一个处理槽中进行主处理和预处理。

主处理槽120具有：向下方凸的形状的主处理槽120的底部122、载置多个振子单元152等的载置部124，和形成主处理槽120的侧面的侧部126。载置部124位于与底部122间隔一定距离的位置处，例如可由多个流通孔形成的网眼体形成，以使供给部130供给的处理液22流向后述的排出部142。

主处理槽120内置有加热器，加热器可以将容纳的处理液22的温度设定为10℃至70℃，优选35℃至45℃。在该温度范围中，可以使涂在织物10上的集束剂的至少一部分溶解。代替该结构或者除此之外，也可以调整供给部130新供给的处理液22的温度，将主处理槽120中的处理液22设定为该温度范围。

供给部130新供给的处理液22可以为水或有机溶剂，优选使用纯水。

主处理槽120的内表面用特氟隆(Teflon，注册商标)加工。据此，可以防止从织物10的表面溶出到处理液22中的集束剂附着在主处理槽120的内表面上。而且，将主处理槽120的排出部142设置在具有向下方凸的形状的底部122的最下部上。据此，可以促使从织物10的表面溶出到处理液22中的通过自重沉淀的集束剂从排出部142中排出。另外，主处理槽120进一步具有排出口144，排出口144设置在侧部126中预定的高度的位置处。

在开纤织物10期间，供给部130将新的处理液22持续地供给至主处理槽120，排出部142将处理液22从主处理槽120持续地排出，所以可以对从织物10的表面溶出到处理液22中的集束剂而导致的主处理槽120内的处理液22的粘性提高进行抑制。据此，因为可以防止处理液22中的气泡滞留而且可以防止超声波的波长变动，所以可以抑制织物10的开纤效率的低下。

运送部170运送织物10，并且使其浸入预处理槽110内的处理液21及主处理槽120内的处理液22。运送部170包括放卷部171和收卷部172。放卷部171和收卷部172将在经线方向上具有数千米左右长度的织物10在经线方向上也能有效地开纤，并且在预定的低张力下进行放卷和收卷。收卷部172可以将开纤后的织物10进行干燥后再收卷。运送部170运送织物10的速度可以为每分钟0.5m至100m左右。

在通过运送部170运送的织物10的运送路径上，配置有多个定位辊181等。多个定位辊181等被旋转自如地配置在各处理槽内的处理液的液面的上方及液面下方的所定的行进路径变更的位置上，以便在通过运送部170运送织物10的同时使织物10浸到预处理槽110的处理液21中，使其在预处理槽110中被浸湿，以及浸入主处理槽120的处理液22中。

在主处理槽120内的处理液的液面下方配置的两个定位辊186、187之间配置有多个按压杆191等。多个按压杆191等配置在避开多个振子单元152等各自正上方的位置处。这里所述的“正上方”是指各按压杆191等的大部分从振子单元152等的上方投影面偏离，也可以包括各按压杆191等的一部分与振子单元152等的上方投影面重叠的情况。

预处理槽110中的振子单元151可以载置在预处理槽110的底部上。在主处理槽120上设置的多个振子单元152等沿着方向D1并列地配置在载置部124上。多个振子单元152等可以固定在载置部124上。另外，在图1和图7中，为了清晰地示出，主处理槽120中的多个振子单元152等的一部分被省略，多个振子单元152等的数量不进行特别限定。

控制部160通过以下的各种方式来控制分别设置在预处理槽110和主处理槽120中的多个振子单元151等。首先，控制部160使主处理槽120中设置的多个振子单元152等的输出强度等于或者大于预处理槽110中设置的振子单元151的输出强度。在使输出强度不同的情况下，控制部160将主处理槽120中的多个振子单元152等的输出强度控制为使织物10开纤的高输出，将预处理槽110中的振子单元151的输出强度控制为使处理液21浸渗至织物10内的空隙中的低输出。据此，在开纤前的织物10的多个股线之间以及在形成各股线的多根单丝之间的大量间隙中含有的空气，在织物10开纤前通过预处理被置换成处理液21，可以抑制通过主处理在织物10开纤时残留在织物10中的气泡，因此，可以降低织物10的开纤不均匀并且提高开纤效率。多个振子单元151等的频率可以是10kHz至200kHz。多个振子单元151的输出强度可以由控制部160控制。多个振子单元151等的输出密度可以是30W/L至60W/L左右。

在通过运送部170在织物10浸入主处理槽120内的处理液22中的状态下进行运送期间，控制部160在方向D1的从上游向下游的方向中按照每一个单元依次停止多个振子单元152等的振动，然后再以相同的顺序再次开启停止的多个振子单元152等的振动，如此重复。控制部160配合织物10的运送速度以对顺序地停止/再次开启多个振子单元152等的振动的时机进行顺序控制。通过振子单元152等的振动，使织物10上附着/滞留的多个气泡通过超声波振动而进行释放，使其随着织物10的流动而向下游流动。据此，可以防止因为多个气泡而抑制织物10的开纤，因此，可以降低织物10的开纤不均匀以及提高开纤效率。另外，控制部160可以按照每两个以上单元的组依次停止/再次开启多个振子单元152等的振动。

进一步地，从方向D1的上游侧的振子单元152等到下游侧的振子单元153等，控制部160按照每一个单元使多个振子单元152等的输出强度变大。据此，可以随着在下游侧的运送，慢慢地开纤织物10，因此，可以降低织物10的开纤不均匀以及提高开纤效率。另外，控制部160也可以按照每两个以上单元的组依次使多个振子单元152等的振动变大。

这样，对于图2和3所示的开纤前的织物10，通过预处理部101和主处理部102来解除经线12和纬线14的各单丝16的集束状态，通过经线12和纬线14分别具有的返回原直线形的复原力和运送部170施加至经线12的低的张力，来使经线12和纬线14互相撑开。多个单丝16以填埋在缝隙中的方式展开和配置，据此使开纤后的股线扁平化。

图4是说明开纤后的织物10的说明图，图5是开纤后的织物10的截面示意图。

与图2(A)至图2(C)相同，图4(A)是织物10的平面示意图，图4(B)是在图4(A)的织物10的经线12的延伸方向上使织物10断裂的截面示意图，图4(C)是在图4(A)的织物10的纬线14的延伸方向上使织物10断裂的截面示意图。

如图4(A)所示，对于开纤后的织物10，开纤前的织物10的经线12和纬线14之间存在的大的间隙被极小化，在平面视图中织物10中几乎不存在间隙。另外，如图4(B)和图4(C)所示，经线12和纬线14以大体相同的程度被撑开。

图5是为了对图4(C)的截面示意图更详细地说明而放大的视图。如图5所示，通过开纤，经线12和纬线14之间的高度差几乎变没，织物10被平滑化/薄化。而且，通过减小间隙，提高织物10的绝缘可靠性，例如极薄化成与膜相同的厚度并且还可以确保高的绝缘可靠性。而且，因为与具有多个单丝16的集束数的未开纤的织物或者与一般的织物相同，即使使织物10如此极薄化，也可能保持刚性。而且，通过将经线12和纬线14同等程度地充分开纤，可以降低织物10的面内的疏密差异且提高均一性，据此，可以提高使用激光等的织物10的加工性。

图6是说明处于浸入处理液中的状态的织物10通过的位置的局部放大示意图。运送部170运送织物10，以便织物10在根据多个振子单元152等的各个产生的超声波振动中的在对应的振子单元152等的表面和处理液22的液面25之间得到的驻波30的波腹。驻波30的波腹的位置振幅最大且强度很大，因此成为超声波的最大冲击位置。主处理槽120中方向D1的任何位置中驻波30的波形都是相同的，主处理槽120内的多个振子单元152等的频率都相同。另外，驻波30的波腹可以包含一定范围的区域，当然也可以限定在不一定通过一点的情况。

为了使驻波30的振幅最大，振子单元152等产生的行波32的波腹与处理液的液面固定端反射的发射波34的波腹一致，使行波32和发射波34重叠。具体地，处理液22内的音速假定为1500[m/s]，与振子单元152等的预定频率f[kHz]对应，主处理槽120内的处理液22的从振子单元152等的表面到液面25的高度h[mm]被调整以满足以下式1和式2，使行波32和发射波34重叠。

λ[mm]＝1500[m/s]/f[kHz]式1

h[mm]＝(λ/2)×n(n＝1、2、3…)式2

驻波30的波腹的位置，基于上式1，通过满足下式3的距离振子单元152等的表面的距离Xn[mm]来确定。

Xn[mm]＝{(2n-1)/4}×λ(n＝1、2、3…)式3

织物10的运送路径设置在主处理槽120内的处理液22的液面25之下，并且根据两个定位辊186、187以及多个按压杆191等的位置进行决定。因此，调整两个定位辊186、187和多个按压杆191等的位置，以使织物10通过根据上述3算出的距离Xn(mm)。据此，可以向织物10施加最大的冲击，并且可以最大限度地提高织物10的开纤效率。

如使用图1所说明的，根据本实施方式，将排出口144设置在主处理槽120的侧部126中的预定的高度位置处，使供给部130供给的新的处理液22的流量比排出部142排出的处理液22的流量更大。据此，因为处理液22从排出口144溢出，所以可以将从多个振子单元152等的表面至处理液22的液面25的高度h(mm)固定地保持在该预定的高度。

而且，在主处理槽120中，来自供给部130的新的处理液22的供给在液面25之下进行，将来自主处理槽120的底部122上设置的排出部142的处理液22进行排出，同时使来自在侧部126处设置的排出口144的处理液22溢出。据此，可以使液面25静态地稳定，因此，可以使前述的最大冲击位置稳定。

基于上式3，距离振子单元152等的表面的距离Xn(mm)的位置为了确定为超声波的最大冲击位置，因此进行以下实验。首先，在28kHz的振子单元152等上，将振子单元152等的表面到处理液22的液面25的距离h(mm)设定为大致满足上式1和2的54mm，以使驻波30的振幅变成最大。因此，配置铝箔以便在振子单元152等的表面正交的面内延伸，产生来自振子单元152等的超声波振动。因此，在X₁＝13mm和X₂＝40mm的位置处的铝箔的破损最集中。也就是说，确定这些位置是最大冲击位置。

而且，如图6所示，多个按压杆191等配置在避开多个振子单元152等的各自的正上方的位置处，也就是说，各按压杆191等的大部分配置在与多个振子单元152等的上方投影面偏离开的位置处。因此，可以确保主处理槽120内的多个振子单元152等的表面和处理液22的液面25之间的距离h(mm)可以使织物10通过根据前述方法算出的最大冲击位置。

图7是说明多个振子单元152等的排列的说明图。图中，涂黑的箭头示出在水平面中与方向D1正交的方向D2。

如图7中点线所示出的，多个振子单元152等的各个等间隔地相同数量地容纳具有彼此相同的形状/尺寸的多个振子。如果着眼于多个振子，载置在主处理槽120的载置部124上的多个振子，除了方向D1的配置之外，也并列地配置在方向D2中。在方向D2中延伸的多个振子单元152等的一个振子单元152等中容纳的多个振子，相对于在相邻的振子单元153等中容纳的多个振子，偏置地配置在方向D2中。据此，可以在织物10的整个面上同样地传送超声波振动的能量，可以抑制向织物10施加压力。因此，可以抑制在织物10上产生褶皱，从而，可以抑制在织物10上产生开纤不均匀。

图8是使织物10开纤的其他开纤装置200的示意图。在图8中，主要对运送部170运送织物10的运送路径进行说明，将省略其他结构。除了主处理槽220中织物10的运送路径为多段式之外，开纤装置200具有与开纤装置100相同的结构。

如图8所示，通过将主处理槽220中的处理液液面之下的多个定位辊280和多个按压杆290多段地配置在垂直方向上，主处理槽220中的织物10的运送路径可以成为多段式。而且，这些液面下的多个定位辊280和多个按压杆290配置在避开多个振子单元250的正上方的位置处，进一步，织物10配置在预定的高度位置处(在图8中，配置在上述式3的Xn中n＝1、2、3的各位置处)，以便通过使用图6说明的超声波的最大冲击位置。从而，根据本实施方式的开纤装置200可以实现节能化。

根据上述的多个实施方式中的开纤装置，与现有的开纤装置相比，开纤后的织物的质量变好。具体地，开纤时溶出的集束剂被顺利地排出，提高了开纤率，可以有效地去除开纤时织物产生的气泡。因此，可以显著地降低开纤阻碍和开纤不均匀。

实施例

以下，基于比较例和实施例，更具体地说明本实施方式，本实施方式不限于以下实施例。

图9是示出织物的单位质量和织物的每单位质量的厚度的关系的图表。表1示出图表上绘制的多个数据。图表的横轴为织物的每单位面积的质量(W[g/m²])，纵轴为厚度除以织物的每单位面积的质量得到的值(t/W[μm/(g/m²)])。也就是说，单位质量是指每单位面积的质量，每单位质量的厚度为厚度除以每单位质量而得到的值。

表1

比较例1

使用上述表1中的IPC型布1017至1031的E玻璃纤维，作为比较例1的织物。通过使比较例1的织物在固定浸湿的织物的辊上滑动并且压触的开纤方法，主要对纬线进行开纤处理。如图9所示，对于比较例1的织物，随着织物的单位质量的减小，织物的每单位质量的厚度以二次曲线的方式增加。这样，在比较例1的E玻璃纤维中，示出如果根据织物的密度、使用支数改变织物的厚度，每单位质量的厚度变大，单丝的填充不充分且不能扁平化。

比较例2

与比较例1相同，使用上述表2中的IPC型布1017至1031的E玻璃纤维，作为比较例2的织物。比较例2的E玻璃纤维是通过日本特许第2511322号专利中记载的方法进行开纤处理的纤维。如图9所示，比较例2中的E玻璃纤维的图表示出了与比较1的绒毛相同的相关关系，与比较例1的图表相比斜率更大，且示出了急剧的变动。这样，在比较例2的E玻璃纤维中，示出了与比较例1的E玻璃纤维相比，单丝的填充更不充分且更不能扁平化。

实施例

与比较例1和2相同，使用上述表1中的IPC型布1017至1031的E玻璃纤维，作为实施例的织物。实施例的E玻璃纤维是通过开纤装置100的被开纤的纤维。如图9所示，对于实施例的E玻璃纤维，E玻璃纤维的每单位质量的厚度即便在单位质量增减时也大体上保持恒定。因此，即便根据织物的密度、使用支数，织物的厚度变化，根据本实施方式的开纤装置100开纤后的每单位质量的厚度也能大体保持恒定，示出了单丝的最密填充和扁平化。

评价结果

在表2中示出了根据本实施方式的多个实施例和其他公司的比较例的评价结果。在评价中，使用E玻璃纤维作为织物，使用IPC型布1027的单丝直径为4μm、集束根数为100根及密度为74×74根/mm的BC1500支数、和IPC型布1015的单丝直径为4μm、集束根数为67根以及密度为95×95根/mm的ECBC2250支数。

各实施例的织物与其他公司的织物相比，厚度被薄化。进一步地，可以理解，各实施例的织物即使在纬线之间存在少许间隙，也可以一定比例以上地开纤纬线和经线，特别是经线被充分地开纤。

表2

在上述多个实施方式中，可以根据织物暴露在超声波的时间，也就是织物的每单位面积施加的超声波振动的次数，来调整开纤装置的开纤程度。因此，通过调整运送部的织物的运送速度，来调整提供给织物的每单位面积的超声波振动的次数，据此也可以调整织物的开纤程度。另外，通过调整超声波的振幅，即超声波的输出强度，可以调整织物的开纤程度。

在上述的多个实施方式中，优选地，多个振子单元的频率，例如大于28kHz的40kHz，可以使20μm以下的薄的织物变大，降低对织物施加的冲击，皱纹或组织破裂等的伤害可以被降低。另一方面，优选地，对50um以上厚度的织物，频率变小，例如小于40kHz的20～28kHz，可以增强对织物施加的冲击，有效地进行开纤。

以上，使用实施方式说明了本实用新型，但本实用新型的技术的范围并不受限于所述实施方式所述的范围。对本领域的技术人员而言，能够对所述实施方式进行多种变更或改良是显而易见的。根据权利要求书的记载可知，经过这样的变更或改良后的方案也包含在本实用新型的保护范围内。

权利要求书、说明书以及附图中所示的装置、系统、程序、以及方法中的动作、步骤、以及阶段等各处理的执行顺序并未明确表示为“之前”、“以前”，此外，应注意，在后面的处理中不利用前面的处理的输出的情况下，能够以任意的顺序来实现。有关权利要求、说明书和附图中的动作流程，为了说明上的方便，说明中使用了“首先”、“其次”等字样，但即使这样也不意味着必须按此顺序实施。

Claims (7)

1.一种开纤由无机纤维或有机纤维织成的织物的开纤装置，其特征在于，包括：

运送部，用于运送所述织物并且使所述织物浸入处理液中，

多个振子，沿着所述运送部运送所述织物的方向并列地配置，用于将超声波振动施加至浸入处理液的状态的所述织物以开纤所述织物，以及

控制部，使所述多个振子的输出强度在所述方向的下游侧比在所述方向的上游侧更大。

2.如权利要求1所述的开纤装置，其特征在于，所述运送部运送所述织物，以使所述织物通过由所述多个振子产生的超声波振动中的在对应的所述振子的表面和处理液的液面之间得到的驻波的波腹。

3.如权利要求1或2所述的开纤装置，其特征在于，还包括多个按压杆，配置在避开所述多个振子的各自的正上方的位置处，并且阻止所述运送部在浸入处理液的状态下运送的所述织物浮起。

4.如权利要求1或2所述的开纤装置，其特征在于，

所述多个振子除了所述方向的配置之外，还并列地配置在与所述方向正交的方向上，

其中在所述正交的方向上延伸的所述多个振子的多列中的一列处配置的振子，相对于与所述一列邻接的列处配置的振子，与所述正交的方向偏置地配置。

5.如权利要求3所述的开纤装置，其特征在于，

所述多个振子除了所述方向的配置之外，还并列地配置在与所述方向正交的方向上，

其中在所述正交的方向上延伸的所述多个振子的多列中的一列处配置的振子，相对于与所述一列邻接的列处配置的振子，与所述正交的方向偏置地配置。

6.一种开纤由无机纤维或有机纤维织成的织物的开纤装置，其特征在于，包括：

运送部，用于运送所述织物并且使所述织物浸入处理液中，

处理部，用于将超声波振动施加至浸入处理液中的所述织物来开纤所述织物，

其中，所述运送部运送所述织物，以使所述织物通过由所述处理部产生的超声波振动中的在所述处理部的表面和处理液的液面之间得到的驻波的波腹。

7.如权利要求6所述的开纤装置，其特征在于，还包括多个按压杆，配置在避开所述处理部的正上方的位置处，并且阻止所述运送部在浸入处理液的状态下运送的所述织物的浮起。