CN205187882U - 一种改进结构的四氯化硅汽化装置 - Google Patents
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- 230000008016 vaporization Effects 0.000 title claims abstract description 55
- VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 4-[4-(4-methoxyphenyl)piperazin-1-yl]aniline Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1N1CCN(C=2C=CC(N)=CC=2)CC1 VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 38
- 239000005049 silicon tetrachloride Substances 0.000 title claims abstract description 38
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 claims abstract description 52
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 4
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims abstract description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 7
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 6
- 230000008676 import Effects 0.000 abstract 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 3
- 239000006200 vaporizer Substances 0.000 description 3
- YZCKVEUIGOORGS-OUBTZVSYSA-N Deuterium Chemical compound [2H] YZCKVEUIGOORGS-OUBTZVSYSA-N 0.000 description 2
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N trichlorosilane Chemical compound Cl[SiH](Cl)Cl ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005052 trichlorosilane Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
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- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种改进结构的四氯化硅汽化装置,包括气体混合筛网、汽化罐和汽化热源罐,所述汽化热源罐上设有三个U型换热管,安装在汽化罐一侧边的汽化热源罐上的三个U型换热管延伸入汽化罐内,并封装成一体结构;汽化罐和汽化热源罐之间的整体安装方向与水平面之间呈15~30度夹角;汽化罐的顶端侧设有蒸汽出口管,汽化罐的底端侧设有混合物料进口管和排出管;在混合物料进口管上设置一层气体混合筛网,用于将物料四氯化硅和氢气充分混合;本实用新型中采用上述的结构设计,以提高四氯化硅的处理效率,节能降耗,降低生产成本,提高设备高效性,安全性和稳定。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种改进结构的四氯化硅汽化装置。
背景技术
近几年来,随着太阳能光伏产业的飞速发展,多晶硅作为太阳能电池板或组件的原材料常量也大幅增加,与此同时,多晶硅生产过程中的副产物四氯化硅也大幅增多,这对环境产生了巨大的压力,也为多晶硅生产的原料三氯氢硅的循环生成带来了困扰,而要实现四氯化硅到三氯氢硅的转化,首先就是要实现四氯化硅的汽化。因此,为了能够实现上述目的,四氯化硅必须先经过汽化处理。
通常,四氯化硅的汽化在大约200℃下汽化,传统的卧式汽化器采用电加热方式进行汽化,虽然可以达到汽化目的,但也存在着汽化温度不易控制,从而导致其他杂质被汽化的发生,以及电解热棒与四氯化硅接触面积较小,温度不均匀,造成四氯化硅液体的湍流,也容易使液体中的重质杂质从汽化器底部浮起,影响四氯化硅液体稳定性和汽化效率。
另一种立式的连通形式的汽化器虽然可以较为有效的避免四氯化硅液体的湍流,但依然存在电解热温度不均,接触面积小的问题。
发明内容
本实用新型目的是针对上述不足之处,针对现有四氯化硅汽化设备工艺中四氯化硅汽化的处理效率低下、浪费能耗、生产成本较高等诸多现象,提供一种改进结构的四氯化硅汽化装置。
本实用新型一种改进结构的四氯化硅汽化装置是采取以下技术方案实现的:
提供一种改进结构的四氯化硅汽化装置,包括气体混合筛网、汽化罐和汽化热源罐,所述汽化热源罐上设有三个U型换热管,安装在汽化罐一侧边的汽化热源罐上的三个U型换热管延伸入汽化罐内,并封装成一体结构;汽化罐和汽化热源罐之间的整体安装方向与水平面之间呈15~30度夹角;汽化罐的顶端侧设有蒸汽出口管,汽化罐的底端侧设有混合物料进口管和排出管;在混合物料进口管上设置一层气体混合筛网,用于将物料四氯化硅和氢气充分混合;在汽化罐另一侧边上安装有液位计,液位计的顶端高于三个U型换热管中的最高点;汽化热源罐上的三个U型换热管分为U型换热管Ⅰ,U型换热管Ⅱ,U型换热管Ⅲ,其中U型换热管Ⅰ的长度和宽度均大于U型换热管Ⅱ、U型换热管Ⅲ的长度和宽度,且U型换热管Ⅰ环绕在U型换热管Ⅱ和U型换热管Ⅲ的外围;U型换热管Ⅱ的长度大于U型换热管Ⅲ的长度,且U型换热管Ⅱ与U型换热管Ⅲ之间相互扣合排列;该结构的设计,能够让三个U型换热管内汽化热源与汽化罐的四氯化硅进行充分接触,不仅提高热源的利用效率、达到节能效果,而且也保证汽化罐内四氯化硅与热源全面接触后加快汽化效果;汽化热源罐内设有一层绝缘板将该汽化热源罐分为上层和下层,其中上层与导热源进口管相连通,且三个U型换热管的进口端与上层相连通;下层与导热源出口管相连通,且三个U型换热管的出口端与下层相连通。
作为优选,由于汽化罐呈15~30度的倾斜角,所述蒸汽出口管设置于汽化罐的最顶端,排出管设置于汽化罐的最底端。
作为优选,所述汽化罐内的四氯化硅液面高度低于液位计顶端高度,并且高于三个U型换热管中的最高点。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果:
本实用新型中采用上述的结构设计,以提高四氯化硅的处理效率,节能降耗,降低生产成本,提高设备高效性,安全性和稳定。
附图说明
图1为本实用新型中功能结构示意图,
附图标记:四氯化硅1,氢气2,混合物料进口管3,排出管4,液位计5,汽化罐6,导热源出口管7,绝缘板8,导热源进口管9,蒸汽出口管10,U型换热管Ⅰ11,U型换热管Ⅱ12,U型换热管Ⅲ13,倾斜角a。
具体实施方式
本实用新型的具体实施方式描述如下:
如图1所示,本实用新型提供一种改进结构的四氯化硅汽化装置的具体实施例,一种改进结构的四氯化硅汽化装置包括气体混合筛网、汽化罐6和汽化热源罐,所述汽化热源罐上设有三个U型换热管,安装在汽化罐6一侧边的汽化热源罐上的三个U型换热管延伸入汽化罐6内,并封装成一体结构;汽化罐6和汽化热源罐之间的整体安装方向与水平面之间呈15~30度夹角(参见图1中标注的倾斜角a);汽化罐6的顶端侧设有蒸汽出口管10,汽化罐6的底端侧设有混合物料进口管3和排出管4;在混合物料进口管3上设置一层气体混合筛网,用于将物料四氯化硅1和氢气2充分混合;在汽化罐6另一侧边上安装有液位计5,液位计5的顶端高于三个U型换热管中的最高点;汽化热源罐上的三个U型换热管分为U型换热管Ⅰ11,U型换热管Ⅱ12,U型换热管Ⅲ13,其中U型换热管Ⅰ11的长度和宽度均大于U型换热管Ⅱ12、U型换热管Ⅲ13的长度和宽度,且U型换热管Ⅰ11环绕在U型换热管Ⅱ12和U型换热管Ⅲ13的外围;U型换热管Ⅱ12的长度大于U型换热管Ⅲ13的长度,且U型换热管Ⅱ12与U型换热管Ⅲ13之间相互扣合排列;该结构的设计,能够让三个U型换热管内汽化热源与汽化罐6的四氯化硅进行充分接触,不仅提高热源的利用效率、达到节能效果,而且也保证汽化罐6内四氯化硅与热源全面接触后加快汽化效果;汽化热源罐内设有一层绝缘板8将该汽化热源罐分为上层和下层,其中上层与导热源进口管9相连通,且三个U型换热管的进口端与上层相连通;下层与导热源出口管7相连通,且三个U型换热管的出口端与下层相连通。
其中:由于汽化罐6呈15~30度(参见图1中标注的倾斜角a)的倾斜角,所述蒸汽出口管10设置于汽化罐6的最顶端,排出管4设置于汽化罐6的最底端;所述汽化罐6内的四氯化硅液面高度低于液位计5顶端高度,并且高于三个U型换热管中的最高点。
本实用新型中采用上述的结构设计,以提高四氯化硅的处理效率,节能降耗,降低生产成本,提高设备高效性,安全性和稳定。
上述实施例是对本实用新型的说明,不是对本实用新型的限定,任何对本实用新型简单变换后的方案均属于本实用新型的保护范围。
Claims (3)
1.一种改进结构的四氯化硅汽化装置,包括气体混合筛网、汽化罐(6)和汽化热源罐,其特征在于,所述汽化热源罐上设有三个U型换热管,安装在汽化罐一侧边的汽化热源罐上的三个U型换热管延伸入汽化罐内,并封装成一体结构;汽化罐和汽化热源罐之间的整体安装方向与水平面之间呈15~30度夹角;汽化罐的顶端侧设有蒸汽出口管,汽化罐的底端侧设有混合物料进口管和排出管;在混合物料进口管上设置一层气体混合筛网,用于将物料四氯化硅和氢气充分混合;在汽化罐另一侧边上安装有液位计,液位计的顶端高于三个U型换热管中的最高点;汽化热源罐上的三个U型换热管分为U型换热管Ⅰ,U型换热管Ⅱ,U型换热管Ⅲ,其中U型换热管Ⅰ的长度和宽度均大于U型换热管Ⅱ、U型换热管Ⅲ的长度和宽度,且U型换热管Ⅰ环绕在U型换热管Ⅱ和U型换热管Ⅲ的外围;U型换热管Ⅱ的长度大于U型换热管Ⅲ的长度,且U型换热管Ⅱ与U型换热管Ⅲ之间相互扣合排列;
汽化热源罐内设有一层绝缘板将该汽化热源罐分为上层和下层,其中上层与导热源进口管相连通,且三个U型换热管的进口端与上层相连通;下层与导热源出口管相连通,且三个U型换热管的出口端与下层相连通。
2.根据权利要求1中所述的一种改进结构的四氯化硅汽化装置,其特征在于,所述蒸汽出口管设置于汽化罐的最顶端,排出管设置于汽化罐的最底端。
3.根据权利要求1中所述的一种改进结构的四氯化硅汽化装置,其特征在于,所述汽化罐内的四氯化硅液面高度低于液位计顶端高度,并且高于三个U型换热管中的最高点。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201520945333.1U CN205187882U (zh) | 2015-11-24 | 2015-11-24 | 一种改进结构的四氯化硅汽化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201520945333.1U CN205187882U (zh) | 2015-11-24 | 2015-11-24 | 一种改进结构的四氯化硅汽化装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN205187882U true CN205187882U (zh) | 2016-04-27 |
Family
ID=55780898
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201520945333.1U Expired - Fee Related CN205187882U (zh) | 2015-11-24 | 2015-11-24 | 一种改进结构的四氯化硅汽化装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN205187882U (zh) |
-
2015
- 2015-11-24 CN CN201520945333.1U patent/CN205187882U/zh not_active Expired - Fee Related
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