CN205099748U - 适用于高真空下的团簇沉积样品衬底座 - Google Patents
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Abstract
适用于高真空下的团簇沉积样品衬底座,将衬底座设计成一个菱柱结构,菱柱横截面为正六边形,菱柱选用材料为无氧铜材质,菱柱中间为空心,加热源放置在菱柱的内部;在菱柱结构的每个柱面上开设一个大圆孔和四个螺丝孔,样品通过四个开在柱面角落的螺丝孔固定,样品的中心置于大圆孔中心。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种分子束加工设备,尤其是团簇束流沉积系统设备。
背景技术
团簇束流沉积系统采用气相聚集过程形成团簇(纳米粒子),通过气体动力学喷嘴形成束流,在高真空下以声速低能或被加速后荷能沉积于基体上,实现低能团簇束流沉积(CBD)或荷能团簇束流沉积(ECI),团簇束流技术在制备纳米结构域、纳米组分薄膜具有巨大的应用市场。
实用新型内容
针对现有技术存在的问题,本实用新型目的是,提供一种适用于高真空下的团簇沉积样品衬底座,可以用于多个样品应用。
本实用新型的技术方案是:适用于高真空下的团簇沉积样品衬底座,将衬底座设计成一个菱柱结构,菱柱横截面为正六边形,菱柱选用材料为无氧铜材质,菱柱中间为空心,加热源放置在菱柱的内部。
在菱柱结构的每个柱面上开设一个大圆孔和四个螺丝孔,样品通过四个开在柱面角落的螺丝孔固定,样品的中心置于大圆孔中心。
本实用新型的有益效果:沉积样品六角方形衬底座,具体涉及一种适用于高真空下的样品沉积衬底座。可以方便用于多个样品应用。
附图说明
图1为本实用新型样品衬底座的结构说明图。
图2为本实用新型样品衬底座的横截面视图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
如图1所示,衬底座为菱柱结构1,横截面为正六边形结构(图2),中间为空心3,在六角衬底座的每个面的四角各开设一个螺丝孔4,在菱柱结构在每个柱面的中心开设一个大孔2,样品放置在每个面的中心,通过每个面上四个角上的螺丝孔固定。加热源放置在菱柱结构,横截面为正六边形衬底座的内部,可同时对六个样品进行加热,热量可以通过菱柱结构,横截面为正六边形每个面上中间开设的大孔直接辐射到样品上面,同时无氧铜材质的菱柱结构,横截面为正六边形衬底座也可以有效地将热量传递到样品上。
虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上,然其并非用以限定本实用新型。本实用新型所属技术领域具有通常知识者,在不脱离本实用新型的精神和范围内,当可作各种更改和润饰。因此,本实用新型的保护范围,当视权利要求书所界定者为准。
Claims (1)
1.适用于高真空下的团簇沉积样品衬底座,其特征是将衬底座设计成一个菱柱结构,菱柱横截面为正六边形,菱柱选用材料为无氧铜材质,菱柱中间为空心,加热源放置在菱柱的内部;在菱柱结构的每个柱面上开设一个大圆孔和四个螺丝孔,样品通过四个开在柱面角落的螺丝孔固定,样品的中心置于大圆孔中心。
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