CN204752176U

CN204752176U - 一种电子级溶液的充装系统

Info

Publication number: CN204752176U
Application number: CN201520458671.2U
Authority: CN
Inventors: 贺平; 万群平
Original assignee: FUJIAN SHAOWU YONGJING CHEMICAL Co Ltd
Current assignee: Fujian forever Technology Co., Ltd.
Priority date: 2015-06-30
Filing date: 2015-06-30
Publication date: 2015-11-11
Anticipated expiration: 2025-06-30

Abstract

本实用新型涉及一种电子级溶液的充装系统，包括预处理机构、风淋机构和充装机构，所述预处理机构包括预处理室和吹扫装置，所述风淋机构包括风淋室、干燥空气加热装置和第一风机，所述充装机构包括充装室、进风装置、进液装置和充装装置，所述进风装置包括第二风机、初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器，所述进液装置包括充装管路、高纯水管路、导气管路和废液抽排管路，所述充装装置包括机械夹具和充装接头，所述预处理室、风淋室和充装室依次连通设置。本实用新型的电子级溶液的充装系统，尤其适用于电子级氢氟酸的充装；具有合理有效、有效提高待充装的空桶的内部和外部洁净程度、充装方便、以及有效避免溶液污染的有益效果。

Description

一种电子级溶液的充装系统

技术领域

本实用新型涉及溶液充装技术，特别涉及一种电子级溶液的充装系统。

背景技术

电子级溶液的充装系统对洁净程度和防污染的要求较高，例如电子级氢氟酸。电子级氢氟酸主要用于电子、光伏行业中生产集成电路，要求金属含量一般低于10ppb，非金属含量如Cl^-≦5000ppb、NO^3-≦3000ppb、PO₄ ^3-≦1000ppb、SO₄ ^2-≦5000ppb。这不仅对于生产工艺，也是对充装工作提出了更高的要求和精细掌控。目前对于电子级的氢氟酸生产主要是将工业氢氟酸进一步氧化和精馏除杂，然后进行充装。为了提高生产效率，大多采用连续性充装，而输送管道、充装环境又大多是半露天设置。为保证产品质量，充装必需快捷、无风，避免空气中的杂质对氢氟酸的影响。此外，根据不同的需求、充装桶的规格不一、高度不同、甚至外表与内部洁净程度以及内部压力等的不同，上述情况都对充装工作提出了更高要求和更严格把控。

专利号为200720187316.1的中国专利申请公开了一种充装浓硫酸的装置，该装置的由下列结构组成：注酸管头一该注酸管头包括由注酸管、套装在注酸管端头外的套管、套管上端与注酸管外壁间固定联接的一水平环形板形成的一下端开口的环形腔；受酸管头一该受酸管头包括一由受酸管扩口后的上端开口的直筒圆管、同轴内置于直筒圆管内的内置短管、内置短管下端与受酸管直筒圆管内壁间固定联接的一水平环形板的形成的一上端开口的环形腔；受酸管头排酸孔一该排酸孔开孔于受酸管头的内置短管下端与受酸管直筒圆管内壁间固定联接的平环形板上；注酸管头和受酸管头同轴扣合联接。采用上述充装浓硫酸的装置进行硫酸充装操作时，既能保证装酸的顺畅，同时可有效地将溅起的酸进行阻挡，并回流到装酸装置中，有效的防止酸溅出，操作简单、安全可靠。

但是上述专利提供的充装浓硫酸的装置并不能满足内外洁净度的要求，同时其充装过程中仍存在外界环境对溶液发生污染的问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种内外洁净程度高且能有效避免溶液污染的电子级溶液的充装系统。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：

一种电子级溶液的充装系统，包括预处理机构、风淋机构和充装机构，所述预处理机构包括预处理室和吹扫装置，所述吹扫装置设置于预处理室内，所述风淋机构包括风淋室、干燥空气加热装置和第一风机，所述第一风机的入口朝向风淋室外设置，所述第一风机的出口与干燥空气加热装置的入口连接，所述风淋室的顶部和侧面分别设有风淋口，所述干燥空气加热装置的出口与所述风淋口连通，所述风淋室的底部设有排风口，所述充装机构包括充装室、进风装置、进液装置和充装装置，所述充装室的顶部设有进风管道和充装管道，所述进风装置包括第二风机、初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器，所述初效过滤器、第二风机、中效过滤器和高效过滤器依次连接，所述高效过滤器的出口与进风管道连通，所述充装室的底部设有出风口，所述进液装置包括充装管路、高纯水管路、导气管路和废液抽排管路，所述充装装置包括机械夹具和充装接头，所述机械夹具可旋转地设置于充装室顶部且沿充装室顶部方向可升降设置，所述充装接头上设有导气口和充装口，充装接头的一端与机械夹具连接，充装接头的另一端分别与导气口和充装口连通，所述导气管路通过充装管道与导气口连接，所述充装管路、高纯水管路和废液抽排管路分别通过充装管道与充装口连接，所述预处理室、风淋室和充装室依次连通设置。

进一步的，还包括传送机构，所述传送机构设置于预处理室的出口处并依次通过风淋室和充装室。

进一步的，所述吹扫装置为高压气枪，所述干燥空气加热装置为空气加热器。

进一步的，所述预处理机构还包括粘尘装置，所述粘尘装置靠近预处理机构的出口设置。

进一步的，所述粘尘装置为粘尘纸或粘尘布。

进一步的，所述风淋机构还包括空气过滤装置，所述空气过滤装置的一端与第一风机的入口连接，所述空气过滤装置的另一端设置于风淋室外。

进一步的，所述风淋室和充装室的入口和出口处分别设置有防尘装置，所述防尘装置为防尘帘。

进一步的，所述充装机构还包括计量装置，所述计量装置包括容液槽、液位计量件和称重件，所述容液槽与充装管路连通，所述液位计量件设置于容液槽内，所述称重件设置于容液槽底部。

进一步的，所述充装室的侧面设置有透明板，所述透明板上设有防酸手套，所述防酸手套穿过透明板并伸入充装室内。

进一步的，所述机械夹具和充装接头分别为两个或两个以上。

本实用新型的有益效果在于：

(1)本实用新型的电子级溶液的充装系统，尤其适用于电子级氢氟酸的充装；通过预处理机构、风淋机构和充装机构的设置，整体结构更合理有效；

(2)通过预处理机构和风淋机构中的吹扫装置、干燥空气加热装置和第一风机的结构设计，对待充装的空桶的外部进行清洁，同时结合顶部和侧面的风淋口，可加强风力作用，从而有效提高待充装的空桶的外部洁净程度；

(3)通过充装机构中的进风装置、进液装置和充装装置的设计，一方面，初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器可以保证第二风机引进的空气可以有效过滤掉空气中粉尘、微小颗粒等，达到充装室无尘的要求；一方面，充装管路、高纯水管路、导气管路和废液抽排管路使得溶液、高纯水、气体和废液可以由充装室进入或排出，可通过对进液装置的操作实现对待充装的空桶的内部进行清洁，同时根据排出的液体测量其洁净度，使得待充装的空桶的内部达到高洁净的要求，当待充装的空桶的内部完成洁净操作，可通过充装管路将待充装的溶液(例如氢氟酸)充装进空桶内，具有待充装的空桶的内部洁净度高且充装方便的优点；另一方面，机械夹具和充装接头使得充装操作可以根据空桶的具体位置进行旋转或升降，从而方便溶液、高纯水、气体和废液的进入或排出操作；

(4)充装机构的具体设置可保证充装室为无尘，且进液装置和进风装置不会在充装过程中引入任何空气杂质，使其避免空气杂质对于溶液(氢氟酸)的污染，同时可保护充装人员免于氢氟酸以及有毒气体的伤害；充装装置可适应充装桶的不同规格，不同高度的要求，可清除充装过程中的污染源以及人员流动影响的不确定性，具有有效避免溶液污染的有益效果。

附图说明

图1为本实用新型实施例的电子级溶液的充装系统的整体结构示意图；

图2为本实用新型实施例的电子级溶液的充装系统的预处理机构的结构图；

图3为本实用新型实施例的电子级溶液的充装系统的风淋机构的结构图；

图4为本实用新型实施例的电子级溶液的充装系统的风淋机构内的风淋口与排风口的结构图；

图5为本实用新型实施例的电子级溶液的充装机构的结构图。

标号说明：

1、预处理机构；11、预处理室；12、吹扫装置；13、粘尘装置；2、风淋机构；21、风淋室；22、干燥空气加热装置；23、第一风机；24、空气过滤装置；25、风淋口；26、排风口；3、充装机构；31、充装室；311、进风管道；312、充装管道；313、出风口；32、进风装置；321、第二风机；322、初效过滤器；323、中效过滤器；324、高效过滤器；33、进液装置；331、充装管路；332、高纯水管路；333、导气管路；334、废液抽排管路；335、循环管路；34、充装装置；341、机械夹具；342、充装接头；3421、导气口；3422、充装口；343、透明板；344、防酸手套；35、计量装置；351、容液槽；352、液位计量件；353、称重件；4、传送机构；5、防尘装置。

具体实施方式

为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。

本实用新型最关键的构思在于：通过预处理机构、风淋机构和充装机构的设置，从而保证待充装的空桶的内外洁净程度，且能有效避免溶液污染。

请参照图1至图5，本实用新型的电子级溶液的充装系统，包括预处理机构1、风淋机构2和充装机构3，所述预处理机构1包括预处理室11和吹扫装置12，所述吹扫装置12设置于预处理室11内，所述风淋机构2包括风淋室21、干燥空气加热装置22和第一风机23，所述第一风机23的入口朝向风淋室21外设置，所述第一风机23的出口与干燥空气加热装置22的入口连接，所述风淋室21的顶部和侧面分别设有风淋口25，所述干燥空气加热装置22的出口与所述风淋口25连通，所述风淋室的底部设有排风口26，所述充装机构3包括充装室31、进风装置32、进液装置33和充装装置34，所述充装室31的顶部设有进风管道311和充装管道312，所述进风装置32包括第二风机321、初效过滤器322、中效过滤器323和高效过滤器324，所述初效过滤器322、第二风机321、中效过滤器323和高效过滤器324依次连接，所述高效过滤器324的出口与进风管道311连通，所述充装室31的底部设有出风口313，所述进液装置33包括充装管路331、高纯水管路332、导气管路333和废液抽排管路334，所述充装装置34包括机械夹具341和充装接头342，所述机械夹具341可旋转地设置于充装室31顶部且沿充装室31顶部方向可升降设置，所述充装接头342上设有导气口3421和充装口3422，充装接头342的一端与机械夹具341连接，充装接头342的另一端分别与导气口3421和充装口3422连通，所述导气管路333通过充装管道312与导气口3421连接，所述充装管路331、高纯水管路332和废液抽排管路334分别通过充装管道312与充装口3422连接，所述预处理室11、风淋室21和充装室31依次连通设置。

从上述描述可知，本实用新型的有益效果在于：

进一步的，还包括传送机构4，所述传送机构4设置于预处理室11的出口处并依次通过风淋室21和充装室31。

由上述描述可知，传送机构的设置可以将待充装的空桶由预处理室可控制的运输至风淋室和充装室，具有操作方便的优点，所述传送机构可以选择简单的机械传送装置，如传送带等等。

进一步的，所述吹扫装置12为高压气枪，所述干燥空气加热装置22为空气加热器。

由上述描述可知，吹扫装置优选为高压气枪，高压气枪的具体压力参数可根据实际情况调整，亦可根据空桶表面污染情况，选择开启高压气枪对空桶进行360°全方位吹扫；干燥空气加热装置优选为空气加热器，具有结构简单的优点。

进一步的，所述预处理机构1还包括粘尘装置13，所述粘尘装置13靠近预处理机构的出口设置；所述粘尘装置13为粘尘纸或粘尘布。

由上述描述可知，粘尘装置可以对待充装的空桶的外表面进行再次清洁，进一步提高待充装的空桶的外表面的洁净度。

进一步的，所述风淋机构2还包括空气过滤装置24，所述空气过滤装置24的一端与第一风机23的入口连接，所述空气过滤装置24的另一端设置于风淋室21外。

由上述描述可知，空气过滤装置可以达到除去空气粉尘颗粒等目的，除尘后，空气经过第一风机抵达干燥空气加热装置，使得空气除湿干燥。可保证空气达到无尘状态。

进一步的，所述风淋室21和充装室31的入口和出口处分别设置有防尘装置5，所述防尘装置5为防尘帘。

由上述描述可知，防尘装置的设置可以阻隔风淋室和充装室的空气串通带来的影响。

进一步的，所述充装机构3还包括计量装置35，所述计量装置35包括容液槽351、液位计量件352和称重件353，所述容液槽351与充装管路331连通，所述液位计量件352设置于容液槽351内，所述称重件353设置于容液槽351底部。

由上述描述可知，液位计量件可以对容液槽中液体的液位进行测定，称重件可以对容液槽中液体的重量进行称量，可通过液位计量件和称重件单独或者一起对容液槽中液体的含量进行测量，从而控制进液量。

进一步的，所述充装室31的侧面设置有透明板343，所述透明板343上设有防酸手套344，所述防酸手套344穿过透明板343并伸入充装室31内。

由上述描述可知，透明板的设置使得充装室内的充装操作的进行实现可视化，便于观察；防酸手套的设置使得操作人员的手可以由此伸入充装室内，便于操作的进行，优选的，防酸手套可为长条状，防酸手套亦可以是卡槽式的防酸手套。

进一步的，所述机械夹具341和充装接头342分别为两个或两个以上。

由上述描述可知，机械夹具和充装接头分别为两个或两个以上，从而可以同时对两个以上的待充装空桶进行充装，可以有效提高充装效率。

请参照图1至图5，本实用新型的实施例一为：

本实施例的电子级溶液的充装系统，包括预处理机构1、风淋机构2和充装机构3，所述预处理机构1包括预处理室11和吹扫装置12，所述吹扫装置12设置于预处理室11内，所述风淋机构2包括风淋室21、干燥空气加热装置22和第一风机23，所述第一风机23的入口朝向风淋室21外设置，所述第一风机23的出口与干燥空气加热装置22的入口连接，所述风淋室21的顶部和侧面分别设有风淋口25，所述干燥空气加热装置22的出口与所述风淋口25连通，所述风淋室的底部设有排风口26，所述充装机构3包括充装室31、进风装置32、进液装置33和充装装置34，所述充装室31的顶部设有进风管道311和充装管道312，所述进风装置32包括第二风机321、初效过滤器322、中效过滤器323和高效过滤器324，所述初效过滤器322、第二风机321、中效过滤器323和高效过滤器324依次连接，所述高效过滤器324的出口与进风管道311连通，所述充装室31的底部设有出风口313，所述进液装置33包括充装管路331、高纯水管路332、导气管路333和废液抽排管路334，所述充装装置34包括机械夹具341和充装接头342，所述机械夹具341可旋转地设置于充装室31顶部且沿充装室31顶部方向可升降设置，所述充装接头342上设有导气口3421和充装口3422，充装接头342的一端与机械夹具341连接，充装接头342的另一端分别与导气口3421和充装口3422连通，所述导气管路333通过充装管道312与导气口3421连接，所述充装管路331、高纯水管路332和废液抽排管路334分别通过充装管道312与充装口3422连接，所述预处理室11、风淋室21和充装室31依次连通设置。还包括传送机构4，所述传送机构4设置于预处理室11的出口处并依次通过风淋室21和充装室31。所述吹扫装置12为高压气枪，所述干燥空气加热装置22为空气加热器。进一步的，所述预处理机构1还包括粘尘装置13，所述粘尘装置13靠近预处理机构的出口设置；所述粘尘装置13为粘尘纸或粘尘布。所述风淋机构2还包括空气过滤装置24，所述空气过滤装置24的一端与第一风机23的入口连接，所述空气过滤装置24的另一端设置于风淋室21外。所述风淋室21和充装室31的入口和出口处分别设置有防尘装置5，所述防尘装置5为防尘帘。所述充装机构3还包括计量装置35，所述计量装置35包括容液槽351、液位计量件352和称重件353，所述容液槽351与充装管路331连通，所述液位计量件352设置于容液槽351内，所述称重件353设置于容液槽351底部。所述充装室31的侧面设置有透明板343，所述透明板343上设有防酸手套344，所述防酸手套344穿过透明板343并伸入充装室31内。所述机械夹具341和充装接头342分别为两个或两个以上。

图1至图5中箭头的方向为传送机构的传送方向。优选的，预处理机构1中的预处理室11可根据需要划分为待充装空桶的卸载区、高压吹扫区、存放区、粘尘区和传送区，待充装空桶进入预处理室11后卸载于卸载区中，吹扫装置12放置于高压吹扫区内，粘尘装置13放置于粘尘区内，传送机构的始发段置于传送区，待充装空桶由卸载区进入高压吹扫区进行高压吹扫，然后进入存放区暂时存在，再由存放区进入粘尘区，进行粘尘处理，然后由传送区的传送机构传送至风淋室。

风淋机构2中，空气经由顶部的空气过滤装置24进入，由第一风机23抽取至风淋室21内，以达到除去空气粉尘颗粒等目的。除尘后，空气经过第一风机23，抵达空气加热干燥装置22，使得空气除湿干燥，再通过顶部的风淋口25和侧面的风淋口25对空桶进行风淋。空桶是预处理判定机构处理完毕的空桶通过传送机构4进入风淋机构2。防尘装置5位于风淋室21的入口和出口处，进而阻隔两机构的空气串通带来的影响。本实施例优选设置控制机构，空桶进入风淋机构2内时，通过控制机构可控制传送机构4调节传送速度，使空桶缓慢通过，以达到充分的风淋效果。最后空气由底部的排风口排出，而空桶则由传送机构送入充装机构。

充装机构3是整个充装系统的最后环节空桶经风淋处理后，由传送机构4进入充装机构3内，优选的，充装31内部可分为待充装缓冲区和工作区，待充装空桶先进入待充装缓冲区内准备，然后根据具体情况送入工作区内。优选的，所述进液装置33包括充装管路331、高纯水管路332、导气管路333、废液抽排管路334和循环管路335，上述管路上均设有阀门可根据情况开启各管路上的阀门。首先，打开充装管路上的阀门，令得充装管路中溶液循环，使得充装管路中充满溶液，再向容液槽351内加入溶液(例如氢氟酸)，待到液位计量件352或称重件353到达指标时，停止加入溶液。然后进入工作区，按需求开启各管路上的阀门和电源开关，使得充装室31开始自净，最终达到充装空间无尘目的。具体操作为：通过第二风机321抽取空气，一次经初效过滤器322、中效过滤器323、高效过滤器324过滤空气中粉尘、微小颗粒等，达到空间无尘目的，最后空气由底部的出风口313排出。自净达标后，充装人员便可进行充装。充装之前可通过高纯水管路332、循环管路335、导气管路333和废液抽排管路334的配合，实现对空桶的内部进行清洁。充装时，待充装缓冲区内的空桶由传送机构送入，防尘装置5用以格挡两个空间的气体串连。待空桶到达特定位置，可控制传送机构4关停，充装人员通过透明板343观察并将手伸进防酸手套344中进行操作。根据空桶不同规格可选用不同的充装接头342，并调整机械夹具341适应不同高度进行充装，然后通过容液槽351内的液位计量件352的刻度值或称重件353的显示数值减少来确定充装量，待充装完毕，旋紧桶盖，再开启可控制传送机构4将装好溶液的桶样送出充装室。自此，充装结束。

综上所述，本实用新型提供的电子级溶液的充装系统，尤其适用于电子级氢氟酸的充装；具有整体结构合理有效、有效提高待充装的空桶的内部和外部洁净程度、充装方便、以及有效避免溶液污染的有益效果。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims

1.一种电子级溶液的充装系统，其特征在于，包括预处理机构、风淋机构和充装机构，所述预处理机构包括预处理室和吹扫装置，所述吹扫装置设置于预处理室内，所述风淋机构包括风淋室、干燥空气加热装置和第一风机，所述第一风机的入口朝向风淋室外设置，所述第一风机的出口与干燥空气加热装置的入口连接，所述风淋室的顶部和侧面分别设有风淋口，所述干燥空气加热装置的出口与所述风淋口连通，所述风淋室的底部设有排风口，所述充装机构包括充装室、进风装置、进液装置和充装装置，所述充装室的顶部设有进风管道和充装管道，所述进风装置包括第二风机、初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器，所述初效过滤器、第二风机、中效过滤器和高效过滤器依次连接，所述高效过滤器的出口与进风管道连通，所述充装室的底部设有出风口，所述进液装置包括充装管路、高纯水管路、导气管路和废液抽排管路，所述充装装置包括机械夹具和充装接头，所述机械夹具可旋转地设置于充装室顶部且沿充装室顶部方向可升降设置，所述充装接头上设有导气口和充装口，充装接头的一端与机械夹具连接，充装接头的另一端分别与导气口和充装口连通，所述导气管路通过充装管道与导气口连接，所述充装管路、高纯水管路和废液抽排管路分别通过充装管道与充装口连接，所述预处理室、风淋室和充装室依次连通设置。

2.根据权利要求1所述的电子级溶液的充装系统，其特征在于，还包括传送机构，所述传送机构设置于预处理室的出口处并依次通过风淋室和充装室。

3.根据权利要求1所述的电子级溶液的充装系统，其特征在于，所述吹扫装置为高压气枪，所述干燥空气加热装置为空气加热器。

4.根据权利要求1所述的电子级溶液的充装系统，其特征在于，所述预处理机构还包括粘尘装置，所述粘尘装置靠近预处理机构的出口设置。

5.根据权利要求4所述的电子级溶液的充装系统，其特征在于，所述粘尘装置为粘尘纸或粘尘布。

6.根据权利要求1所述的电子级溶液的充装系统，其特征在于，所述风淋机构还包括空气过滤装置，所述空气过滤装置的一端与风机的入口连接，所述空气过滤装置的另一端设置于风淋室外。

7.根据权利要求1所述的电子级溶液的充装系统，其特征在于，所述风淋室和充装室的入口和出口处分别设置有防尘装置，所述防尘装置为防尘帘。

8.根据权利要求1所述的电子级溶液的充装系统，其特征在于，所述进液装置还包括计量装置，所述计量装置包括容液槽、液位计量件和称重件，所述容液槽与充装管路连通，所述液位计量件设置于容液槽内，所述称重件设置于容液槽底部。

9.根据权利要求1所述的电子级溶液的充装系统，其特征在于，所述充装室的侧面设置有透明板，所述透明板上设有防酸手套，所述防酸手套穿过透明板并伸入充装室内。

10.根据权利要求1所述的电子级溶液的充装系统，其特征在于，所述机械夹具和充装接头分别为两个或两个以上。