CN204739337U - 一种新型抽气管路连接件 - Google Patents
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Abstract
一种新型抽气管路连接件，包括双孔法兰盘，锥形法兰管，底部法兰盘和法兰接头。双孔法兰盘固定在锥形法兰管粗的一端，底部法兰盘固定在锥形法兰管细的一端。法兰接头固定在锥形法兰管的外面。本实用新型有两个入口端，一个出口端，采用流线型过渡，减少了气流阻力，减少了零件体积，为设备预留了更多维护空间。
Description
技术领域：本实用新型涉及一种抽气管路的连接件，尤其是一种对等离子增强化学气相沉积腔体进行抽气的新型管路连接件。
背景技术：目前连接PECVD(等离子增强化学气相沉积)腔体和Foreline(前级真空管线)的连接件都是一个入口一个出口的结构，这样势必会增大连接件的体积，对设备的维护空间减小了。
实用新型内容：针对上述现有技术的不足，本实用新型提供了一种新型抽气管路连接件。
为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种新型抽气管路连接件，包括双孔法兰盘，锥形法兰管，底部法兰盘和法兰接头。双孔法兰盘固定在锥形法兰管粗的一端，底部法兰盘固定在锥形法兰管细的一端。法兰接头固定在锥形法兰管的外面。
本实用新型有两个入口端，一个出口端，采用流线型过渡，减少了气流阻力，减少了零件体积，为设备预留了更多维护空间。
附图说明：
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式：
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1所示：一种新型抽气管路连接件，包括双孔法兰盘1，锥形法兰管2，底部法兰盘4和法兰接头4。双孔法兰盘1固定在锥形法兰管2粗的一端，底部法兰盘4固定在锥形法兰管2细的一端。法兰接头4固定在锥形法兰管2的外面。
Claims (1)
1.一种新型抽气管路连接件，其特征在：包括双孔法兰盘，锥形法兰管，底部法兰盘和法兰接头；双孔法兰盘固定在锥形法兰管粗的一端，底部法兰盘固定在锥形法兰管细的一端，法兰接头固定在锥形法兰管的外面。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520329524.5U CN204739337U (zh) | 2015-05-19 | 2015-05-19 | 一种新型抽气管路连接件 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201520329524.5U CN204739337U (zh) | 2015-05-19 | 2015-05-19 | 一种新型抽气管路连接件 |
Publications (1)
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| CN204739337U true CN204739337U (zh) | 2015-11-04 |
Family
ID=54421074
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201520329524.5U Active CN204739337U (zh) | 2015-05-19 | 2015-05-19 | 一种新型抽气管路连接件 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN204739337U (zh) |
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2015
- 2015-05-19 CN CN201520329524.5U patent/CN204739337U/zh active Active
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