CN204503659U - 一种石英钟罩清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型的一种石英钟罩清洗机，包括电气控制部、清洗部和称量配液部，所述电气控制部控制称量配液部配制清洗液，并将配制好的清洗液传送至清洗部；所述称量配液部包括至少两个称量桶，所述称量桶上部通过进液阀与未配制的清洗液相连，下部通过排液阀与清洗部相连。本实用新型采用自动配液补液的称量配液部，可减少人为干预，对操作人员依赖少，减少人为犯错因素，同时对操作人员人身安全起到了极大的保护作用，且配液准确度高。

Description

一种石英钟罩清洗机

技术领域

本实用新型涉及半导体清洗设备技术领域，具体涉及一种石英钟罩清洗机。

背景技术

石英玻璃制品以其优良的物理化学特性被广泛应用于集成电路芯片生产线。由于集成电路芯片的高规格要求，需要对所用的石英钟罩进行严格的清洗。现有的石英钟罩清洗设备人工操作繁琐，不能实现一体化全自动清洗功能。现有技术清洗设备中清洗液一般采用人工配制和手动加入，石英钟罩的清洗液一般采用强酸和强碱配制成一定比例后使用，采用人工操作会对人体健康造成危害，且人工操作会有很多不可控制因素，人体的疲劳程度、观察角度和人员责任心都会影响清洗液的配比是否达到标准。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种自动化控制的、具备多种功能的复合型石英钟罩清洗机，可实现自动配制、补给清洗液的功能；本实用新型的一种石英钟罩清洗机，包括电气控制部、清洗部和称量配液部，所述电气控制部控制称量配液部配制清洗液，并将配制好的清洗液传送至清洗部；所述称量配液部包括至少两个称量桶，所述称量桶上部通过进液阀与未配制的清洗液相连，下部通过排液阀与清洗部相连。

优选的，所述称量桶上设有液位传感器，所述液位传感器通过感应液位的高低控制进液阀和排液阀的开合。

优选的，所述称量桶从上至下依次至少设置三个液位传感器。

优选的，所述清洗部包括清洗腔、储液槽和清洗液回收槽，所述储液槽上部与排液阀相连，下部通过喷液装置与清洗腔连通，所述清洗腔下部连接有清洗液回收槽。

优选的，所述清洗腔下部水平设有网格状石英钟罩承载架，所述石英钟罩承载架一端与清洗腔转动相连，另一端与清洗腔卡接。

优选的，所述清洗液回收槽槽口设有溢流口。

优选的，所述电气控制部包括PLC可编程控制器。

进一步的，还包括钟罩辅助滚入装置，所述钟罩辅助滚入装置为水平方向平行设置的滚轮。

进一步的，还包括排风管，所述排风管通道内设有风量导流板。

进一步的，还包括防护门，所述防护门将清洗部与外部隔开，所述防护门为上下推拉式活动门，所述防护门下部设有氟橡胶密封圈。

本实用新型优选实施例的有益效果为：1、本实用新型采用自动配液补液的称量配液部，可减少人为干预，对操作人员依赖少，减少人为犯错因素，同时对操作人员人身安全起到了极大的保护作用，且配液准确度高；2、本实用新型采用PLC可编程控制器控制配液清洗过程，自动化程度高，方便环保；3、本实用新型设有钟罩辅助滚入装置，将石英钟罩放置于滚轮上，操作人员只需轻轻推动钟罩既可以进入清洗腔，可减少降低劳动强度；4、本实用新型通过设置液位传感器，每个称量桶可设置不同液位，根据工作槽混合液的比例及工作槽内所需混合液的量，按比例设置每种溶液在称量桶中的高液位、中液位的量，初配液时通过程序控制称量桶底部的自动阀门，依靠重力作用流向工作槽，当称量桶流到中间液位时，下部自动阀门关闭，配液完成，整个配液过程采用传感器控制，精确方便。

附图说明

图1为本实用新型实施例的主视结构示意图；

图2为本实用新型实施例的俯视结构示意图；

图3为本实用新型实施例的立体结构示意图；

图4为本实用新型实施例中称量配液部的连接结构示意图；

图中，1、清洗腔；2、储液槽；3、清洗液回收槽；4、石英钟罩承载架；5、排风管；6、喷管；7、喷头；8、防护门；9、称量桶；10、手动阀；11、气动阀；12、磁力泵；13、液位传感器；14、排气口。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的技术方案作进一步描述。

本实施例的一种石英钟罩清洗机，包括电气控制部、清洗部和称量配液部，电气控制部控制称量配液部配制清洗液，并将配制好的清洗液传送至清洗部；称量配液部包括至少两个不同大小的称量桶，本实施例称量桶个数优选为5个，每个称量桶所能容纳的体积根据配液比例设定。如图4所示，称量桶9上部通过进液阀与未配制的纯的清洗液相连，如常用的双氧水、氨水等，下部通过排液阀与清洗部相连；电气控制部通过PLC可编程控制器控制称量配液部的进液阀进行清洗液补给，通过控制排液阀进行清洗液配制，清洗液在清洗部的储液槽中配制完成后传送至清洗部进行清洗。

如图4所示，称量桶9内壁上设有液位传感器13，液位传感器13通过感应液位的高低控制进液阀和排液阀的开合，进液阀包括气动阀11和手动阀10，排液阀包括气动阀11，且进液阀与称量桶之间还设有磁力泵12，通过磁力泵将清洗液打出。称量桶9内壁从上至下依次至少设置三个液位传感器。每个称量桶上都设有排气口14，方便称量桶进液和排液。

如图1和图2所示，清洗部包括清洗腔1、储液槽2和清洗液回收槽3，储液槽2上部与排液阀相连，下部通过喷液装置与清洗腔1连通，清洗腔1下部连接有清洗液回收槽3，清洗液回收槽3槽口设有溢流口，防止液体溢出，溢流管路直接通入排水管路；喷液装置包括喷管6和喷头7。清洗腔1下部水平设有网格状石英钟罩承载架4，石英钟罩承载架4一端与清洗腔1转动相连，另一端与清洗腔1卡接。本实施例的清洗腔四个角配有喷酸管路和喷水管路，喷酸管路和喷水管路共用一套喷头，通过相应的阀门控制器通断。

进一步的，本实施例的清洗机还包括钟罩辅助滚入装置，钟罩辅助滚入装置为水平方向平行设置的滚轮。将石英钟罩放置于滚轮上，操作人员只需轻轻推动钟罩既可以进入清洗腔，同时这套机构上设置有针对不同尺寸的钟罩的限位结构，以便兼容多种钟罩的清洗。

进一步的，如图1和图3所示，本实施例的清洗机还包括排风管5，排风管通道内设有风量导流板，将设备内挥发的有毒气体抽到车间排风管或者户外，室外排放遵守国家环保要求，避免扩散到室内。

进一步的，如图3所示，本实施例的清洗机还包括防护门8，防护门将清洗部与外部隔开，防护门为上下推拉式活动门，防护门下部设有氟橡胶密封圈，防止喷洒的清洗液或者水外流。

本实施例的电气控制部采用优质PLC可编程控制器控制全操作过程，具有良好的接地装置，既可全自动操作，也可手动操作；电气控制部采用人机界面为触摸屏，接口中有手动操作、故障报警、安全保护等功能，各工作过程完成前提示报警，触摸屏选用进口优质产品，触摸屏加锁定，以防非授权人员修改或设定参数。本实施例储液槽均装液位控制器，液位过低控制均接入PLC控制排液等,异常情况实现紧急停车，并设声光报警；设备电器柜内设有防爆灯，设备其它部位设有低电压灯，根据工作需要可控照明；设备的主机、附件及所有附属设施应采取设备安全防护措施，具有防止意外断气、断电后，维持工作构件正确位置等安全保护措施及装置；设备整体采取人性化设计，方便操作；并装有漏电保护和声光报警提示装置，保证性能安全可靠。设备电控部分导线采用耐高温、耐腐蚀的专用导线，电气控制部分内部还通有压缩空气保护，可防水耐腐蚀；设备所有处于腐蚀腔中的线缆均通过PE管进行保护，免受腐蚀；所有的电控系统均装有漏电保护器，并有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统。

本实施例清洗机使用称量桶进行初配液、补液，配液补液量精确，误差较小，对工艺制程影响很小，市场反应度较好。以半导体清洗常用的SC1溶液为例，SC1溶液构成为：纯水、氨水、双氧水；初配液根据三种溶液的比例设置不同容积的三个称量桶；工作过程中，伴随着清洗过程的进行，纯水、氨水和双氧水都会有消耗，这样要想稳定不同时间、不同批次的清洗，就要通过电气控制部控制称量配液部补给清洗液。本实施例称量桶的工作原理为：称量桶是根据液位差来实现的。每个称量桶设置有高中低三个液位，根据工作槽混合液的比例及工作槽内所需混合液的量，按比例设置每种溶液在称量桶中的高液位、中液位的量，初配液时通过程序控制称量桶底部的自动阀门，依靠重力作用流向工作槽，当称量桶流到中间液位时，下部自动阀门关闭，配液完成。根据程序控制，称量桶会上端阀门会自动打开，补充溶液到高液位，以备下次初配液使用。补液动作原理与初配液原理相同，根据工艺制程进行补充，整个补充过程是根据工艺制程经验定时定量补充。

在以上的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是以上描述仅是本实用新型的较佳实施例而已，本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，因此本实用新型不受上面公开的具体实施的限制。同时任何熟悉本领域技术人员在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。

Claims (10)

1.一种石英钟罩清洗机，其特征在于，包括电气控制部、清洗部和称量配液部，所述电气控制部控制称量配液部配制清洗液，并将配制好的清洗液传送至清洗部；所述称量配液部包括至少两个称量桶，所述称量桶上部通过进液阀与未配制的清洗液相连，下部通过排液阀与清洗部相连。

2.根据权利要求1所述一种石英钟罩清洗机，其特征在于，所述称量桶上设有液位传感器，所述液位传感器通过感应液位的高低控制进液阀和排液阀的开合。

3.根据权利要求2所述一种石英钟罩清洗机，其特征在于，所述称量桶从上至下依次至少设置三个液位传感器。

4.根据权利要求1所述一种石英钟罩清洗机，其特征在于，所述清洗部包括清洗腔、储液槽和清洗液回收槽，所述储液槽上部与排液阀相连，下部通过喷液装置与清洗腔连通，所述清洗腔下部连接有清洗液回收槽。

5.根据权利要求4所述一种石英钟罩清洗机，其特征在于，所述清洗腔下部水平设有网格状石英钟罩承载架，所述石英钟罩承载架一端与清洗腔转动相连，另一端与清洗腔卡接。

6.根据权利要求4所述一种石英钟罩清洗机，其特征在于，所述清洗液回收槽槽口设有溢流口。

7.根据权利要求1所述一种石英钟罩清洗机，其特征在于，所述电气控制部包括PLC可编程控制器。

8.根据权利要求1所述一种石英钟罩清洗机，其特征在于，还包括钟罩辅助滚入装置，所述钟罩辅助滚入装置为水平方向平行设置的滚轮。

9.根据权利要求1所述一种石英钟罩清洗机，其特征在于，还包括排风管，所述排风管通道内设有风量导流板。

10.根据权利要求1所述一种石英钟罩清洗机，其特征在于，还包括防护门，所述防护门将清洗部与外部隔开，所述防护门为上下推拉式活动门，所述防护门下部设有氟橡胶密封圈。