CN204382306U - 一种具有等离子处理功能的手套箱 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有等离子处理功能的手套箱，包括手套箱箱体，该手套箱箱体上固定设置有腔室，该腔室具有连通外部的至少一外门、以及连通手套箱箱体内部的至少一内门，该腔室的内壁上固定设置至少一等离子源，该腔室上还设置有连通该腔室内部的至少一开口或管路，该开口或管路连接工作气气源，用于向腔室内输入清洗所需的工作气，该腔室还连接真空泵。本实用新型与现有技术相比，其使得清洗过程可以独立于手套箱箱体之外却又可以与手套箱箱体有机结合，在节省手套箱箱体空间的同时还提高了清洗操作的便利性，同时在密闭的腔室内完成清洗后直接进入到手套箱箱体内，避免了与外界的接触，也可以有效地避免样品的二次污染或氧化问题。

Description

一种具有等离子处理功能的手套箱

技术领域

本实用新型涉及一种手套箱，具体涉及一种具有等离子处理功能的手套箱。

背景技术

手套箱广泛应用于锂电、核能、医学以及化学化工等各种行业。现有OLED、或OPV等有机及光伏研究，及一些半导体研究与生产中，很多工艺工程需要在无水、无氧、无尘等环境中进行，也就是在手套箱中或真空设备中进行，这研究中用的很多基材，如ITO玻璃、硅片等，需要多遍清洗或表面处理，包括湿法清洗、干法清洗等，干法清洗主要有等离子清洗和紫外臭氧清洗。而目前没有适合手套箱应用的等离子处理设备，现有的等离子处理设备要么体积大无法放入手套箱，只能在外边使用，无法避免清洗完传递到手套箱过程的二次污染及氧化等；即使有一些小巧的设备能放入手套箱箱体中，在控制等方面也不适合手套箱箱体内部操作，或者无法操作，并且占用了手套箱箱体内部宝贵的利用空间。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种可以避免样品二次污染或氧化、且操作方便又节省手套箱箱体空间的具有等离子处理功能的手套箱。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种具有等离子处理功能的手套箱，包括手套箱箱体，该手套箱箱体上固定设置有腔室，该腔室具有连通外部的至少一外门、以及连通手套箱箱体内部的至少一内门，该腔室的内壁上固定设置至少一等离子源，该腔室上还设置有连通该腔室内部的至少一开口或管路，该开口或管路连接工作气气源，用于向腔室内输入清洗所需的工作气，该腔室还连接真空泵。

本实用新型的手套箱主要对原先的手套箱箱体作出了改进，在手套箱箱体上加入了独立的腔室，该腔室内安装了等离子源，同时连接了工作气气源和真空泵，通过外门将样品放入腔室后，真空泵可以形成腔室的真空环境，此时开启等离子源和工作气气源，便可以完成对样品的清洗，此后再通过腔室的内门将样品放入到手套箱箱体内，完成其他操作。

因此，本实用新型与现有技术相比，其在手套箱箱体上形成了一个独立的空间，使得清洗过程可以独立于手套箱箱体之外却又可以与手套箱箱体有机结合，在腔室内清洗时无需手进入进行操作，在节省手套箱箱体空间的同时还提高了清洗操作的便利性，同时在密闭的腔室内完成清洗后直接进入到手套箱箱体内，避免了与外界的接触，也可以有效地避免样品的二次污染或氧化问题。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以作如下改进：

作为优选的方案，上述的腔室固定设置于手套箱箱体的底部。

采用上述优选的方案，可以便于从手套箱箱体的底部放入样品，也可以便于从手套箱箱体内从腔室内取出样品，同时利用了底部的底座内的空间，也可以最大程度地降低整个手套箱的体积。

作为优选的方案，上述的腔室与手套箱箱体之间通过对接法兰进行连接。

采用上述优选的方案，在便于腔室与手套箱箱体之间的装卸的同时，还可以保证腔室与手套箱箱体之间的无泄漏密封连接，保证腔室内的真空环境。

作为优选的方案，上述的开口或管路设置连接腔室的侧壁。

采用上述优选的方案，可以便于工作气向腔室内的输入。

作为优选的方案，上述的腔室的底部还固定连接有第二腔室。

采用上述优选的方案，可以提供线路、管路及电源匹配器等的排放空间，方便布局，并且外观看上去美观整洁、一体；另外还可以在腔室和外部之间形成一道阻挡屏障，即使腔室出现泄漏，漏气也只会进入到该第二腔室内，从而可以进一步地保持腔室保持持久的真空环境。

附图说明

图1为本实用新型的一种具有等离子处理功能的手套箱的结构示意图。

其中，1.手套箱箱体 11.控制器 12.过渡仓 13.托盘 14.真空泵 2.腔室 21.外门 22.内门 23.开关 3.等离子源 4.管路 41.工作气气源 5.真空泵 51.管路 6.对接法兰 7.第二腔室。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本实用新型的优选实施方式。

为了达到本实用新型的目的，如图1所示，在本实用新型的一种具有等离子处理功能的手套箱的其中一些实施方式中，其包括手套箱箱体1，该手套箱箱体1上设置有控制器11和过渡仓12，控制器11用以对手套箱进行通电等作业，过渡仓12内设置有托盘13，并连接有真空泵14，对于手套箱的其他部件及结构，都可以从现有技术中获知，在此不再一一赘述；而作为改进，该手套箱箱体1上固定设置有腔室2，该腔室2具有连通外部的外门21、以及连通手套箱箱体1内部的内门22，该腔室2的内壁上固定设置等离子源3，该腔室2上还设置有连通该腔室2内部的管路4，该管路4连接工作气气源41，用于向腔室2内输入清洗所需的工作气，工作气可以是空气、氧气，或者含有氧气的其他气体，该腔室2还连接真空泵5，该真空泵5具体可以通过管路51连通腔室2，该真空泵5将该腔室2进行抽真空处理。

上述的实施方式中，等离子源3还可以根据需要设置为多个，该等离子源3具体可以是发射40KHz、13.56MHz、2.45GHz任一频率的等离子源，及相关的电源匹配器，其可以对基材表面进行清洗、蚀刻、涂层去除等表面处理；工作气气源41还可以通过多路管路4向腔室2内输入，或者管路4也可以取消，直接设置成腔室2上的开口也可；真空泵5可以是独立的真空油泵或干泵，也可以是与手套箱原有真空泵共用，即真空泵5还可以和真空泵14合并为一个使用；外门21和内门22也可以根据需要设置为多个；腔室2上还可以设置有可以在手套箱内部开启、关闭等离子源3等设备的开关23；腔室2内还可以加装高度、位置可调的样品架。

本手套箱主要对原先的手套箱箱体作出了改进，在手套箱箱体上加入了独立的腔室，该腔室内安装了等离子源，同时连接了工作气气源和真空泵，通过外门将样品放入腔室后，真空泵可以形成腔室的真空环境，此时开启等离子源和工作气气源，便可以完成对样品的清洗，此后再通过腔室的内门将样品放入到手套箱箱体内，完成其他操作。因此，本手套箱与现有技术相比，其在手套箱箱体上形成了一个独立的空间，使得清洗过程可以独立于手套箱箱体之外却又可以与手套箱箱体有机结合，在腔室内清洗时无需手进入进行操作，在节省手套箱箱体空间的同时还提高了清洗操作的便利性，同时在密闭的腔室内完成清洗后直接进入到手套箱箱体内，避免了与外界的接触，也可以有效地避免样品的二次污染或氧化问题。

为了进一步地优化本实用新型的实施效果，如图1所示，在本实用新型的一种具有等离子处理功能的手套箱的另一些实施方式中，在前述内容的基础上，上述的腔室2固定设置于手套箱箱体1的底部。采用该实施方式的方案，可以便于从手套箱箱体的底部放入样品，也可以便于从手套箱箱体内从腔室内取出样品，同时利用了底部的底座内的空间，也可以最大程度地降低整个手套箱的体积。

为了进一步地优化本实用新型的实施效果，如图1所示，在本实用新型的一种具有等离子处理功能的手套箱的另一些实施方式中，在前述内容的基础上，上述的腔室2与手套箱箱体1之间通过对接法兰6进行连接。采用该实施方式的方案，在便于腔室与手套箱箱体之间的装卸的同时，还可以保证腔室与手套箱箱体之间的无泄漏密封连接，保证腔室内的真空环境。

为了进一步地优化本实用新型的实施效果，如图1所示，在本实用新型的一种具有等离子处理功能的手套箱的另一些实施方式中，在前述内容的基础上，上述的管路4设置连接腔室2的侧壁。采用上该实施方式的方案，可以便于工作气向腔室内的输入。

为了进一步地优化本实用新型的实施效果，如图1所示，在本实用新型的一种具有等离子处理功能的手套箱的另一些实施方式中，在前述内容的基础上，上述的腔室2的底部还固定连接有第二腔室7。采用该实施方式的方案，可以提供线路、管路及电源匹配器等的排放空间，方便布局，并且外观看上去美观整洁、一体；另外还可以在腔室和外部之间形成一道阻挡屏障，即使腔室出现泄漏，漏气也只会进入到该第二腔室内，从而可以进一步地保持腔室保持持久的真空环境。

下面介绍本实用新型的工作过程：结合图1所示，打开外门21，将样品放入腔室2内，打开等离子源3和工作气气源41，开始对样品进行清洗，其间，真空泵5先对腔室2进行抽真空处理，工作气气源41通过管路4向腔室2内补充工作气，完成清洗后，样品从腔室2直接进入到手套箱箱体1内，继续下一步的操作。

以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (5)

1.一种具有等离子处理功能的手套箱，包括手套箱箱体，其特征在于，所述手套箱箱体上固定设置有腔室，所述腔室具有连通外部的至少一外门、以及连通所述手套箱箱体内部的至少一内门，所述腔室的内壁上固定设置至少一等离子源，所述腔室上还设置有连通所述腔室内部的至少一开口或管路，所述开口或管路连接工作气气源，用于向所述腔室内输入清洗所需的工作气，所述腔室还连接真空泵。

2.根据权利要求1所述的一种具有等离子处理功能的手套箱，其特征在于，所述腔室固定设置于所述手套箱箱体的底部。

3.根据权利要求1或2所述的一种具有等离子处理功能的手套箱，其特征在于，所述腔室与所述手套箱箱体之间通过对接法兰进行连接。

4.根据权利要求1或2所述的一种具有等离子处理功能的手套箱，其特征在于，所述开口或管路设置连接所述腔室的侧壁。

5.根据权利要求1或2所述的一种具有等离子处理功能的手套箱，其特征在于，所述腔室的底部还固定连接有第二腔室。