CN204185388U - 药液回流装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种药液回流装置，包括：蚀刻槽、缓冲槽、水洗槽和储液槽；所述缓冲槽设置于所述水洗槽和所述蚀刻槽之间，且该蚀刻槽和所述缓冲槽均与所述储液槽贯通连接；以及所述缓冲槽和所述蚀刻槽中均设置有至少一风帘。本实用新型具有如下优点或者有益效果：在蚀刻槽和水洗槽之间增加缓冲槽，并在缓冲槽中设置至少一个风帘，通过蚀刻槽和缓冲槽中的双道风帘，完成对药液吹回的双重动作，减少玻璃基板表面药液的携出量，并进一步减少至水洗槽被置换掉的药液，有效减少机台药液浪费率，提高了药液的循环使用率，在保证正常药液寿命的条件下循环使用；可保证在量产情况下，节省大量药液。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种药液回流装置。
背景技术
由于玻璃基板在现行湿法刻蚀设备中经过蚀刻槽后表面会有大量药液，如图1所示，正常设备机构单元在蚀刻槽1内出口侧会有1道风帘(aircurtain)2，用于将玻璃基板3表面药液吹回蚀刻槽内并回流至储液槽4，但经1道风帘吹过后的玻璃基板3还是存在多余药液，导致玻璃基板3还是会携带大量药液出蚀刻槽1，在后续经过第一道水洗槽5的纯水液刀进行玻璃表面的药液置换，并将多余药液排掉，浪费掉大量药液。
此外，由于风帘的材质为PVC(聚氯乙烯，polyvinylchloride)或PEEK(聚醚醚酮，PolyEtherEtherKetone)，虽然这两种材质耐酸碱，但长时间使用还是容易出现变形、弯曲，导致风帘吹风不均匀，需要花时间人力去覆盖整理，浪费了大量时间。
中国专利(CN202744626U)公开了一种蚀刻装置，所述装置包括蚀刻槽和设于所述蚀刻槽中的喷嘴，其中，所述蚀刻槽用于容置待蚀刻的覆铜板，所述喷嘴用于向所述覆铜板喷淋蚀刻药液，所述蚀刻装置还包括风嘴；所述风嘴朝向蚀刻槽的下方设置，用于向蚀刻槽容置的覆铜板吹出气体；采用该蚀刻装置进行的蚀刻工艺，能够在工艺过程中吹动位于覆铜板上的蚀刻药液，使覆铜板上的蚀刻药液向其两侧流动，使得覆铜板中央区域的蚀刻的线路与周边区域蚀刻的线路更加均匀，提高蚀刻质量，并且能够加快反应速率，减少毛边产生，降低短路可能性，相对于现有技术更容易达到密集电路的线宽和线距的制作要求，生产良率高，从而降低了生产成本。
中国专利(CN102233312A)公开了一种利用各种药液对基板进行处理时，可减少药液损失的基板处理装置，包括：腔室壳体，其具备可容纳基板的腔室；药液供给单元，其构成为可向位于所述腔室壳体的腔室内的基板供给药液；药液回收单元，其包括连接在所述腔室壳体上的回收管，用于回收由所述药液供给单元供给的药液；排气单元，其包括连接在所述腔室壳体上的排气管，可通过吸力对所述腔室壳体的腔室内部进行排气；雾体分离单元，其连接在所述排气单元的排气管一侧，让气体以旋风气流的状态流过的同时过滤出包含在气体中的雾状药液。
上述两个专利并未解决玻璃基板从蚀刻槽进入水洗槽时，由于携带大量药液出蚀刻槽，在后续经过第一道水洗槽的纯水液刀进行玻璃表面的药液置换时排掉多余药液，导致浪费掉大量药液，以及风帘容易出现变形、弯曲的问题。
发明内容
针对上述存在的问题，本实用新型公开一种药液回流装置，以克服现有技术中玻璃基板从蚀刻槽进入水洗槽时，由于携带大量药液出蚀刻槽，在后续经过第一道水洗槽的纯水液刀进行玻璃表面的药液置换时排掉多余药液，导致浪费掉大量药液，以及风帘容易出现变形、弯曲的问题。
为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种药液回流装置，其中，包括：蚀刻槽、缓冲槽、水洗槽和储液槽；
所述缓冲槽设置于所述水洗槽和所述蚀刻槽之间，且该蚀刻槽和所述缓冲槽均与所述储液槽贯通连接；以及
所述缓冲槽和所述蚀刻槽中均设置有至少一风帘。
上述的药液回流装置，其中，所述蚀刻槽内靠近其出口侧设置有所述风帘。
上述的药液回流装置，其中，每个所述风帘的进风口均与风流管路连接；
经干燥压缩后的空气通过该风流管路流入每个所述风帘的进风口。
上述的药液回流装置，其中，所述风流管路上设有用于控制流入每个所述风帘的干燥压缩空气流量的控制阀。
上述的药液回流装置，其中，所述储液槽的顶部设有进液口，所述蚀刻槽和所述缓冲槽的底部均设有回流口，所述储液槽的进液口与所述蚀刻槽和所述缓冲槽的回流口分别通过回流管道连接。
上述的药液回流装置，其中，每个所述风帘均包括上、下挡风板，内部支撑结构；所述上、下挡风板采用螺丝固定，所述上、下挡风板之间形成一风流通道，且固定后的所述上、下挡风板的两侧厚度不同，所述内部支撑结构嵌入所述上、下挡风板之间且位于厚度较厚的一侧。
上述的药液回流装置，其中，所述内部制程结构为若干根铁条，且每根铁条均嵌入所述上、下挡风板之间且位于厚度较厚的一侧。
上述的药液回流装置，其中，所述上、下挡风板采用PVC或者PEEK材料。
上述的药液回流装置，其中，所述水洗槽内靠近入口侧设有液刀。
上述的药液回流装置，其中，所述蚀刻槽和所述水洗槽内近顶部均处均设有喷淋嘴。
本实用新型具有如下优点或者有益效果：
1、在蚀刻槽和水洗槽之间增加缓冲槽，并在缓冲槽中设置至少一个风帘，通过蚀刻槽和缓冲槽中的双道风帘，完成对药液吹回的双重动作，减少玻璃基板表面药液的携出量，并进一步减少至水洗槽被置换掉的药液，有效减少机台药液浪费率，提高了药液的循环使用率，在保证正常药液寿命的条件下循环使用；可保证在量产情况下，节省大量药液。
2、缓冲槽的设置可以通过肉眼进行观察玻璃基板在蚀刻槽后的表面药液分布情况，有效防范蚀刻不均匀等现象产生，为观察设备异常提供保障，为及时解决制程不良提供必要性，从而减少产品异常出现率。
3、改进风帘的结构，在其中增加铁条，铁条从内部支撑风帘，能有效减少变形、弯曲，从而避免风帘吹动不均匀，节约了生产成本和生产时间。
4、由于药液的循环使用及后续排放都与厂务部门密不可分，通过减少药液的异常排放，可以减少厂务对蚀刻部门的异常投诉，避免不必要问题发生，有效减少了跨部门间的问题纠纷。
具体附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未可以按照比例绘制附图，重点在于示出本实用新型的主旨。
图1是本实用新型背景技术的结构示意图；
图2是本实用新型实施例的结构示意图；
图3是本实用新型另一实施例中第一风帘和第二风帘的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体的实施例对本实用新型作进一步的说明，但是不作为本实用新型的限定。
作为本实用新型的一个实施例，本实施例涉及一种药液回流装置，应用于玻璃基板的湿法刻蚀工艺中，下面仅以蚀刻槽和缓冲槽中均设置一风帘为例进行详细说明，但并不局限于该特定实施方式。
如图2所示，一种药液回流装置，包括：蚀刻槽11；设置于蚀刻槽11内靠近出口侧的第一风帘12；水洗槽15；设置于蚀刻槽11和水洗槽15之间的缓冲槽16；设置于缓冲槽16内的第二风帘17；以及储液槽14，储液槽14分别与蚀刻槽11和缓冲槽16连接。玻璃基板13从蚀刻槽11经过缓冲槽16进入水洗槽15中，玻璃基板13在通过蚀刻槽11和缓冲槽16中时，分别由第一风帘12和第二风帘17向玻璃基板13表面吹风，第一风帘12和第二风帘17的出风口吹出干燥压缩空气，其吹风的风流方向均与玻璃基板的传输方向相反。
其中，第一风帘12和第二风帘17的进风口分别连接风流管路19，干燥压缩空气通过风流管路19流入第一风帘12和第二风帘17的进风口。风流管路19上设有用于控制流入第一风帘12和第二风帘17的干燥压缩空气流量的控制阀20。
储液槽14的顶部设有进液口，蚀刻槽11和缓冲槽16的底部均设有回流口，储液槽14的进液口与蚀刻槽11和缓冲槽16的回流口分别通过回流管道18连接。蚀刻槽11和缓冲槽16内底部的药液通过回流管道18流入储液槽14中。
水洗槽15内靠近入口侧设有液刀21。蚀刻槽11和水洗槽15内近顶部均处均设有喷淋嘴22。玻璃基板13通过蚀刻槽11时喷淋嘴22对其进行喷淋蚀刻，而玻璃基板13通过水洗槽15时液刀21和喷淋嘴22对其进行水洗药液置换。
另外，第二风帘17至少设有一个，为了进一步减少玻璃基板13表面携带药液的量，第二风帘17可以设有两个、三个或者更多，增强了干燥压缩空气从第二风帘17中吹出的流量及时间，使玻璃基板13表面携带的药液更多地吹至缓冲槽中，更多地节省药液。
作为本实用新型的另一实施例，本实施例涉及一种药液回流装置，本实施例在上述实施例的基础上进行了改进，具体为：如图3所示，第一风帘12和第二风帘17均包括上、下挡风板23、24，铁条(即内部支撑结构)25；上、下挡风板23、24采用螺丝固定，上、下挡风板23、24之间形成一风流通道，且固定后的上、下挡风板的两侧厚度不同，多个铁条25嵌入上、下挡风板之间位于厚度较厚的一侧。上、下挡风板23、24采用PVC或者PEEK材料，耐酸碱腐蚀性能强。而铁条25从内部支撑风帘，能有效减少变形、弯曲，从而避免风帘吹动不均匀。
本领域技术人员应该理解，本领域技术人员在结合现有技术以及上述实施例可以实现变化例，在此不做赘述。这样的变化例并不影响本实用新型的实质内容，在此不予赘述。
以上对本实用新型的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本实用新型并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本实用新型的实质内容。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。
Claims (10)
1.一种药液回流装置，其特征在于，包括：蚀刻槽、缓冲槽、水洗槽和储液槽；
所述缓冲槽设置于所述水洗槽和所述蚀刻槽之间，且该蚀刻槽和所述缓冲槽均与所述储液槽贯通连接；以及
所述缓冲槽和所述蚀刻槽中均设置有至少一风帘。
2.如权利要求1所述的药液回流装置，其特征在于，所述蚀刻槽内靠近其出口侧设置有所述风帘。
3.如权利要求1所述的药液回流装置，其特征在于，每个所述风帘的进风口均与风流管路连接；
经干燥压缩后的空气通过该风流管路流入每个所述风帘的进风口。
4.如权利要求3所述的药液回流装置，其特征在于，所述风流管路上设有用于控制流入每个所述风帘的干燥压缩空气流量的控制阀。
5.如权利要求1所述的药液回流装置，其特征在于，所述储液槽的顶部设有进液口，所述蚀刻槽和所述缓冲槽的底部均设有回流口，所述储液槽的进液口与所述蚀刻槽和所述缓冲槽的回流口分别通过回流管道连接。
6.如权利要求1所述的药液回流装置，其特征在于，每个所述风帘均包括上、下挡风板，内部支撑结构；所述上、下挡风板采用螺丝固定，所述上、下挡风板之间形成一风流通道，且固定后的所述上、下挡风板的两侧厚度不同，所述内部支撑结构嵌入所述上、下挡风板之间且位于厚度较厚的一侧。
7.如权利要求6所述的药液回流装置，其特征在于，所述内部制程结构为若干根铁条，且每根铁条均嵌入所述上、下挡风板之间且位于厚度较厚的一侧。
8.如权利要求6所述的药液回流装置，其特征在于，所述上、下挡风板采用PVC或者PEEK材料。
9.如权利要求1所述的药液回流装置，其特征在于，所述水洗槽内靠近入口侧设有液刀。
10.如权利要求1所述的药液回流装置，其特征在于，所述蚀刻槽和所述水洗槽内近顶部均处均设有喷淋嘴。
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| CN106647164A (zh) * | 2015-11-04 | 2017-05-10 | 常州瑞择微电子科技有限公司 | 一种避免蚀刻液输送管路结晶的方法 |
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2014
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Cited By (2)
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