CN204154997U - 一种激光匀化系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种激光匀化系统，包括镜架、扩束输入镜、扩束输出镜、光阑、均光型衍射光学元件和聚焦镜，所述扩束输入镜和所述聚焦镜分别设置于所述镜架的两端，所述扩束输出镜、所述光阑和所述扩散性衍射光学元件依次设置于所述镜架内。本实用新型通过将一束激光通过扩束镜，经过扩束准直的激光通过光阑形成面积合适的光斑，再通过匀光型衍射光学元件后形成光强匀化的光束，最后通过聚焦镜将光束聚焦成目标面积的光斑。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种光匀化系统，尤其涉及一种激光匀化系统。
背景技术
衍射光学元件(DOE：Diffractive Optical Elements)，是基于光波的衍射理论，利用计算机辅助设计，并通过半导体芯片制造工艺，在基片上(或传统光学器件表面)刻蚀产生台阶型或连续浮雕结构，形成同轴再现、且具有极高衍射效率的一类光学元件，而现阶段的衍射光学元件不能够进行激光匀化，给科学实验带来了不便。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种激光匀化系统。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：
本实用新型包括镜架、扩束输入镜、扩束输出镜、光阑、均光型衍射光学元件和聚焦镜，所述扩束输入镜和所述聚焦镜分别设置于所述镜架的两端，所述扩束输出镜、所述光阑和所述扩散性衍射光学元件依次设置于所述镜架内。
本实用新型的有益效果在于：
本实用新型通过将一束激光通过扩束镜，经过扩束准直的激光通过光阑形成面积合适的光斑，再通过匀光型衍射光学元件后形成光强匀化的光束，最后通过聚焦镜将光束聚焦成目标面积的光斑。
附图说明
图1是本实用新型所述一种激光匀化系统的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明：
如图1所示：本实用新型包括镜架2、扩束输入镜1、扩束输出镜3、光阑4、均光型衍射光学元件5和聚焦镜6，扩束输入镜1和聚焦镜6分别设置于镜架2的两端，扩束输出镜3、光阑4和扩散性衍射光学元件5依次设置于镜架2内。
本实用新型的工作原理如下：
本实用新型包括一组扩束镜，一个光阑，一个匀光型衍射光学元件，一个聚焦镜组成，其中扩束透镜包括扩束输入镜、扩束输出镜。扩束镜的作用是扩束和准直，光阑的作用是获得面积合适的光斑，匀光型衍射光学元件的作用是获得均匀的光强分布，聚焦镜的作用是通过聚焦获得目标光斑大小。
首先根据入射激光的波长，工作距离等参数，通过衍射光学设计出相应的全息结构，然后利用光刻和刻蚀的方法将其转移和制作在石英基材表面上，得到匀光型衍射光学元件。
工作时，一束激光通过扩束镜，经过扩束准直的激光通过光阑形成面积合适的光斑，再通过匀光型衍射光学元件后形成光强匀化的光束，最后通过聚焦镜将光束聚焦成目标面积的光斑。
本领域技术人员不脱离本实用新型的实质和精神，可以有多种变形方案实现本实用新型，以上所述仅为本实用新型较佳可行的实施例而已，并非因此局限本实用新型的权利范围，凡运用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变化，均包含于本实用新型的权利范围之内。
Claims (1)
1.一种激光匀化系统，其特征在于：包括镜架、扩束输入镜、扩束输出镜、光阑、均光型衍射光学元件和聚焦镜，所述扩束输入镜和所述聚焦镜分别设置于所述镜架的两端，所述扩束输出镜、所述光阑和所述平顶型衍射光学元件依次设置于所述镜架内。
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| CN201420635043.2U CN204154997U (zh) | 2014-10-30 | 2014-10-30 | 一种激光匀化系统 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2014
- 2014-10-30 CN CN201420635043.2U patent/CN204154997U/zh not_active Expired - Fee Related
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